「奈米國家型科技計畫」研究成果紀錄
限本計畫成果，敬請確實填寫
計畫主持人：羅奕凱教授
執行機關：國立中山大學
計畫名稱：高屏地區奈米核心設施建造服務計畫
計畫全程期限：93.08.01～98.07.31
填表日期：97 年 5 月 26 日
績效指標
初級產出
2008
國外
包含 SCI 篇數
SCI 篇數
49
期刊論文
（篇數）
國內
國外
會議論文
（篇數）
國內
研究報告
（數量）
學術成就
主辦學術活動
（次數）
1. 97.02.21 Francois H. JULIEN
French National Council of Scientific Research
III-nitride Quantum Devices
2. 97.03.06
李佳榮國立成功大學光電所
Effects of Light on Structure of Dye-doped
Cholesteric Liquid Crystals and Their
Applications in Controllable Photonic Elements
3. 97.03.13 謝文峰 國立交通大學光電系
Optical Properties of ZnO Nanostructures
4. 97.03.20 陳俊維 國立台灣大學材料系
From Nanowires to Solar Cells
5. 97.03.27
甘宏志 國立中正大學物理系
Self Organization on Patterned Semiconductor
Surfaces
績效指標
初級產出
2008
6. 97.03.27
孫家彬 國立中山大學物理系 博士班
Superconductivity and Magnetism in Spin
Frustrated Systems
7. 97.04.03
林時彥 中研院應用科學中心
III-V Semiconductor Nanostructures for Infrared
Detection
8. 97.04.10
張志振 工研院機械所
Microwave Physics and Applications
9. 97.04.17
羅光耀 嘉義大學應用物理系
Nonlinear Optics of Semiconductor Thin File
10. 97.04.17 王盟仁 日月光先進封裝技術開發處代
理處處 半導體產業 IC 封測發展趨勢及明光集團簡
介
11. 97.04.24 施敏 國立交通大學電子工程系
Encounter the 20th Century Microelectronics(走
過 20 世紀微電子科技)
12.Julien 題目: III- nitride quantum devices
時間: 2 月 21 日 下午 2:30
地點: 理學院 D2006
形成教材
（名稱及件數）
（製作教材、CD 或自由軟體授權釋出教材）
1. 安全衛生教育訓練
2. FIB 操作手冊
3. CVD 操作手冊
4. ICP 操作手冊
5. Sputter 操作手冊
6. E beam 操作手冊
7. RTA 操作手冊
績效指標
初級產出
2008
8. Laser annealing 操作手冊
9. Laser ablation 操作手冊
10. Mask Aligner 操作手冊
11. N&K 操作手冊
12. 4 point probe 操作手冊
13. 3D Alpha-Step Profilometer 操作手冊
14. Wet bench 操作手冊
國外
國外
專利
【數量（案/件）
，請將清單列於表三】
申請
國內 14
獲得
國內 2
技術報告
（數量）
技術活動
（研討會）/次數
可移轉技術
（項數、家數、金額）
國外
國內
先期技轉
（項數、家數、金額）
國外
國內
釋出軟體執行檔、自由軟體授權
（項數、家數）
技術移轉
引進技術
（名稱、來源、金額）
技術服務
（項數、家數、金額）
技術創新
技術服務
接受委託案
（件數、金額）
1. 計畫名稱: Study of Spin Splitting in GaN/AlGaN
Wells(合約編號：FA4869-07-1-4022)
技術移轉、關鍵技術、產品項目: Spin-FET 新材料之
研發
合作單位名稱: USAF, AFOSR/AOARD
年度金額（仟元）: US$ 39,872
總金額（仟元）:US$ 49,872 (含校配合款 NT$
300,000)
現況說明: Spin-FET 新材料研發進行中
績效指標
初級產出
2008
備註: 2007/9/28 ~ 2008/10/27
2. 計畫名稱: Study of III-nitride semiconductors on
LiAlO2 by molecular beam epitaxy
技術移轉、關鍵技術、產品項目: GaN sample growth
合作單位名稱: University Karlsruhe, Germany
年度金額（仟元）: 歐元 18,000
總金額（仟元）: 歐元 18,000
現況說明: 博士生陳彥良奉派至 University
Karlsruhe, Germany 合作
備註: 2007/12/1 ~ 200810/31
工業服務
（家數、金額）
規範/標準制訂
【參與制訂政府或產業技術規範/標準（件數）
】
促成廠商投資
【研發投資（家數、金額）
】
創新產業或模式建立
【衍生公司（家數/名稱）
】
協助提升我國產業全球地位
(相關產業產品世界排名或世界佔有率)輔導廠商、品質保證、技術標準認證
（件數、家數、配合款）
共通/檢測
技術服務
申請與執行主導性新產品及關鍵性零組件
（件數、家數、配合款）
經濟效益
增加就業
（人數）
A 級儀器
（台數）
無此級機台
計畫內部使用次數與時數
（請註明）
計畫外部使用次數與時數
（請註明）
B 級儀器
（台數）
11 台
計畫內部使用次數與時數
（請註明）
433 次/1,038 小時
核心設施
核 心 設 施 建 置 使
用
計畫外部使用次數與時數
（請註明）
132 次/278.3 小時
績效指標
初級產出
2008
C 級儀器
（台數）
無此級機台
計畫內部使用次數與時數
（請註明）
計畫外部使用次數與時數
（請註明）
K-12 種子教師培訓
（人數）
博士後 1
碩士生 202
助理 4
研究人才培育
（人數/年，請將清單列於表二 ）
博士生 71
大學生
產業奈米技術人才培育
（人數）
17
奈米課程人才訓練
（人數）
130
教育宣導
60
人才培育
社會教育
資訊服務
（設立網站、提供客服）
http://www2.nsysu.edu.tw/Physics/ncf/
14,128 上網人次
國際能見度
國際研討會參與
時間/參與形式（□一般論文發表 人、□專題演講 人、
【國際研討會名稱/主辦國家/機構/會議舉辦
□擔任與談人 人、□其他）/本計畫人員參與人數/是否有
博碩士生參與（□有 人/□無）
】
1. 參加國際光電會議 97.01.19-26 加州矽谷 杜立偉
2. 參加 2008 美國物理學會 3 月年會 3/8-24 徐鈺淇
是否有博碩士生參與（ 有 1 人）
3. 參加發光二極體國際研討會 97.4.27-5.4 洛杉磯鳳凰城 周
明奇
4. 國際電機電子工程師學會頻率控制年會(IFCS 2008)/美
國，夏威夷/國際電機電子工程師學會/2008.05.18/參與
形式（
一般論文發表 2 人、 專題演講 1 人/是否
有博碩士生參與（
有 3 人）
5. 第 四 屆 薄 膜 與 表 面 披 覆 先 進 技 術 國 際 研 討 會
(ThinFilms 2008)/ 新 加 坡 / 新 加 坡 南 洋 理 工 大 學
/2008.07.13/參與形式（ 一般論文發表 1 人、 專
題演講 1 人/是否有博碩士生參與（ 有 2 人）
績效指標
初級產出
2008
Conference (MNHT08) (2008 微奈米熱流國際研討
會)/台灣/國立成功大學工程科學系/2008 年一月六
至九日/論文發表與邀請六位知名國內外學者做專
題講演（□一般論文發表318人、□專題演講36人、□
擔任與談人0人、□其他）/本計畫人員參與人數/是否
有博碩士生參與（□有5人/□有）】
國際合作執行
【合作國家單位/開始時間/雙方參與人數/合作
形式（□共同研究、□人員互訪、□研討會舉辦、□技術移
轉、□其他）
】
1. 2008.02.01~2008.12.31 Quark Yung-Sung Chen
陳永松
University of Houston, Texas, USA
國際獎項獲得
【獲得國外獎項名稱/授獎單位/獲獎時間】
表一、論文發表清單
「請註明作者中文姓名，選定期刊資料庫類別(SCI、SSCI、EI…)後請填寫 impact factor，「屬性」請填國內或國外期刊論文、國內或國外研討會論文。」
No. 論文名稱 作者 期刊(2008) 卷數/期數/頁次 SSCI SCI EI 屬性
1
Reliability characteristics of NiSi nanocrystals embedded in oxide and nitride layers for
nonvolatile memory application
張鼎張 APPLIED PHYSICS
LETTERS 92(15) 3.977 國外期刊論文
2
Formation of cobalt-silicide nanocrystals in Ge-doped dielectric layer for the application on
nonvolatile memory
張鼎張 APPLIED PHYSICS
LETTERS 92(15) 3.977 國外期刊論文
3
Reduction of photoleakage current in polycrystalline silicon thin-film transistor using
NH3 plasma treatment on buffer layer
張鼎張 APPLIED PHYSICS
4 InN nanotips as excellent field emitters 杜立偉 APPLIED PHYSICS
LETTERS 92(12) 3.977 國外期刊論文
5 Interfacial reactions of Pt-based Schottky
contacts on nGaP 黃志青
APPLIED PHYSICS
LETTERS 92(8) 3.977 國外期刊論文
6 Enhanced mechanical performance of Mg
metallic glass with porous Mo particles 黃志青
APPLIED PHYSICS
LETTERS 92(1) 3.977 國外期刊論文
7 Tungsten oxide/tungsten nanocrystals for
nonvolatile memory devices 張鼎張
APPLIED PHYSICS
LETTERS 92(1) 3.977 國外期刊論文
8
Particular strain relaxation for La0.8Ba0.2MnO3 films on SrTiO3(100)
substrates
周雄 APPLIED PHYSICS
LETTERS 91(24) 3.977 國外期刊論文
9 Tungsten nanocrystal memory devices
improved by supercritical fluid treatment 張鼎張
APPLIED PHYSICS
LETTERS 91(23) 3.977 國外期刊論文
10 Formation and nonvolatile memory effect of
nickel-oxygen-silicon nanoparticles 張鼎張
APPLIED PHYSICS
LETTERS 91(22) 3.977 國外期刊論文
11
Investigation of the adsorption mechanism of water nanocluster on the substrate: The size
and interaction strength effect
朱訓鵬 APPLIED SURFACE
SCIENCE 254/11/3606-3612 1.436 國外期刊論文
12 New criterion in predicting glass forming
ability of various glass-forming systems 黃志青 CHINESE PHYSICS B 17/1/249-254 國外期刊論文
13 Elimination of photoleakage current in poly-Si
TFTs using a metal-shielding structure 張鼎張
ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE
LETTERS
11/5/J34-J36 2.009 國外期刊論文
14 Pyrolytic study of cyclic 2-azidoketones HETEROCYCLES 75/3/577-582 1.077 國外期刊論文 15 Fluorinated diarylamido complexes of lithium,
zirconium, and hafnium 梁蘭昌
INORGANIC
16
Nickel(II) complexes containing bidentate amido phosphine ligands derived from alpha-iminophosphorus ylides: Synthesis and
structural characterization
梁蘭昌 INORGANIC
CHEMISTRY 47/2/749-758 3.911 國外期刊論文
17
Self-assembled c-plane GaN nanopillars on gamma-LiAlO2 substrate grown by plasma-assisted molecular-beam epitaxy
羅奕凱 JAPANESE JOURNAL
OF APPLIED PHYSICS 47/2/891-895 1.222 國外期刊論文
18 A low temperature fabrication of HfO2 films
with supercritical CO2 fluid treatment 張鼎張
JOURNAL OF
APPLIED PHYSICS 103/7/074108 2.316 國外期刊論文 19 The dynamic magnetic transitions in
LaxHo1-xMn2O5 (x=0-0.2) compounds
JOURNAL OF
APPLIED PHYSICS 103/7/07E310 2.316 國外期刊論文 20 Adsorption mechanism of water molecules
surrounding Au nanoparticles of different sizes 楊台發
JOURNAL OF
CHEMICAL PHYSICS 128/15/154703 3.166 國外期刊論文
21
Self-assembled-monolayer-modified silicon substrate to enhance the sensitivity of peptide
detection for AP-MALDI mass spectrometry
JOURNAL OF MASS
SPECTROMETRY 42/12/1628-1636 2.945 國外期刊論文
22
Experiment and simulation of hot embossing of a bulk metallic glass with low pressure and
temperature 潘正堂 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 18/2/025010 2.321 國外期刊論文
23 Fabrication of high fill factor optical film using
two-layer photoresists 潘正堂
JOURNAL OF
MODERN OPTICS 55/1/33-42 1.189 國外期刊論文
24
Supramolecular micellization of diblock copolymer mixtures mediated by hydrogen bonding for the observation of separated coil
and chain aggregation in common solvents
MACROMOLECULAR RAPID COMMUNICATIONS
25
Fabrication of superhydrophobic and superoleophilic polystyrene surfaces by a facile
one-step method MACROMOLECULAR RAPID COMMUNICATIONS 28/23/2262-2266 3.164 國外期刊論文 26
Self-assembly through competitive interactions of miscible diblock copolymer/homopolymer
blends: Poly(vinylphenol-b-methyl methacrylate)/poly(vinylpyrrolidone) blend
MACROMOLECULES 41/4/1401-1410 4.277 國外期刊論文
27
Simulation and fabrication of magnetic rotary microgenerator with multipolar Nd/Fe/B
magnet
潘正堂 MICROELECTRONICS
RELIABILITY 47/12/2129-2134 0.815 國外期刊論文
28 Fabrication of optical disk mastering using
electron beam and embossing process 潘正堂
OPTICAL AND QUANTUM ELECTRONICS
39/8/693-705 0.644 國外期刊論文
29
Micromodulating the electronic coupling across redox-active ferrocenyl Spacer in binuclear ruthenium(II) terpyridine complexes: Synthesis,
electrochemistry, and photophysical properties
董騰元 ORGANOMETALLICS 27/4/555-562 3.632 國外期刊論文
30
Experimental evidence for a two-gap structure of superconducting NbSe2: A specific-heat
study in external magnetic fields
楊弘敦 PHYSICAL REVIEW B 76/21/212504 3.107 國外期刊論文
31
Neutron diffraction and specific heat studies on the magnetic ordering in the
[Fe-II(Delta)Fe-II(Lambda)(ox)(2)(Phen)(2)](n) molecular magnet
楊弘敦 PHYSICAL REVIEW B 76/22/224417 3.107 國外期刊論文
32 Giant optical anisotropy in R-plane
band mixing effect
33 Bulk and microscale compressive behavior of a
Zr-based metallic glass 黃志青
SCRIPTA
MATERIALIA 58/10/890-893 2.161 國外期刊論文
34 Hot embossing of micro-lens array on bulk
metallic glass 潘正堂
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
141/2/422-431 1.434 國外期刊論文
35 Study of deep X-ray lithography behaviour for
microstructures 潘正堂 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 141/2/703-711 1.434 國外期刊論文 36
Fabrication and thermal analysis of a copper/diamond/copper thermal spreading
device 楊台發 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 202/4-7/1208-1213 1.559 國外期刊論文 37
Characteristics of poly-Si TFT combined with nonvolatile SONOS memory and nanowire
channels structure 張鼎張 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 202/4-7/1287-1291 1.559 國外期刊論文 38
Fort-nation of stacked nickel-silicide nanocrystals by using a co-mixed target for
nonvolatile memory application
張鼎張 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 202/4-7/1292-1296 1.559 國外期刊論文 39
Formation of germanium nanocrystals by rapid thermal oxidizing SiGeO layer for nonvolatile
memory application 張鼎張 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 202/4-7/1333-1337 1.559 國外期刊論文 40
Performance enhancement of excimer laser crystallized poly-Si thin film transistors with
fluorine implantation technology
張鼎張 THIN SOLID FILMS 516/10/3128-3132 1.666 國外期刊論文
41 Nickel silicide nanocrystals embedded in SiO2
42
Investigation of the low dielectric siloxane-based hydrogen silsesquioxane (HSQ)
as passivation layer on TFT-LCD
張鼎張 THIN SOLID FILMS 516/2-4/374-377 1.666 國外期刊論文
43
Source-drain barrier height engineering for suppressing the a-Si : H TFTs photo leakage
current
張鼎張 THIN SOLID FILMS 516/2-4/470-474 1.666 國外期刊論文
44
Fabrication of Nanopillars Comprised of InGaN/GaN Multiple Quantum Wells by Focused Ion Beam Milling
劉全璞
Japanese Journal of
Applied Physics
1.222
國外期刊論文
45 Focused Ion Beam Milled InGaN/GaN
Multiple Quantum Well Nanopillars 劉全璞
Japanese Journal of
Applied Physics
p3130-31331.222
國外期刊論文
46
Line defects of M-plane GaN grown on γ -LiAlO2 by plasma-assisted molecular beam epitaxy
羅奕凱 APPLIED PHYSICS
LETTERS 92
3.977
國外期刊論文
47
Mechanical Buckling of Multi-Walled Carbon Nanotubes: the Effects of Slenderness Ratio 黃吉川 Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures (2008) 40/5/1305-1308 IF:1.084 國外期刊論文 48
Molecular-dynamic investigation of buckling of double-walled carbon nanotubes under uniaxial compression
黃吉川 Journal of the Physical
Society of Japan (2008) 77/4/044603-1~7 IF:1.926 國外期刊論文
49
Robust chaos synchronization of noise-perturbed chaotic systems with multiple time-delays
黃吉川
Physica A: Statistical Mechanics and its Applications (2008)
表二、人才培育清單 「人才清單中，「碩士/博士」請以勾選方式填報，「屬性」請填培育或培訓，培育定義為長期參與此計畫，培訓定義為短期參加課程訓練。」
NO.
姓名
學校
系所
碩士 博士屬性
1 范純聖 聯誠光電 股份有限公司 培訓 2 許瓊文 AST 培訓 3 Priya V Chinta Houston 培訓 4 賴新枝 中山大學 物理系 培育 5 陳建翰 TFT1INT 培訓 6 paritosh wadekar Univ 培訓 7 宋長泰 大同大學 材料所 培訓 8 賴幼仙 工研院南 分 院 培育 9 劉俊平 中山大 學 材料所 培訓 10 鍾明翰 中山大學 機電系 培訓 11 林儀倡 青雲科大 培訓 12 張冠張 中山大學 機電系 培育 13 陳奕凡 中山大學 機電系 培訓 14 黃惠君 中山大學 材料所 培訓 15 謝瓊雯 中山大學 化學系 培訓 16 王靜雯 中山大學 化學系 培訓 17 柯耀棠 中山大學 化學系 培訓 18 馬徽齡 中山大學 化學所 培訓19 謝志尚 中山大學 光電所 培訓 20 戴志豪 中山大學 光電所 培育 21 蘇煊翔 中山大學 光電所 培訓 22 江征晏 中山大學 光電所 培訓 23 林孟璁 中山大學 光電所 培訓 24 柯仲隆 中山大學 光電所 培訓 25 曹書瑋 中山大學 光電所 培育 26 郭原瑞 中山大學 光電所 培育 27 陳ㄧ帆 中山大學 光電所 培訓 28 陳侑廷 中山大學 光電所 培訓 29 陳春陽 中山大學 光電所 培訓 30 黃敬哲 中山大學 光電所 培訓 31 楊伯鈞 中山大學 光電所 培育 32 鄭百騰 中山大學 光電所 培訓 33 賴建智 中山大學 光電所 培訓 34 張睿達 中山大學 光電所 培訓 35 呂嘉銘 中山大學 材料所 培訓 36 李世偉 中山大學 材料所 培訓 37 李敬仁 中山大學 材料所 培訓 38 宋大豪 中山大學 材料所 培訓 39 周鴻昇 中山大學 材料所 培訓 40 施政宏 中山大學 材料所 培訓 41 楊凱勛 中山大學 材料所 培訓 42 劉名哲 中山大學 材料所 培訓 43 鄭仁信 中山大學 材料所 培訓
44 黃鐙興 中山大學 材料所 培訓 45 徐詠恩 中山大學 物研所 培訓 46 魏翊峰 中山大學 物理系 培訓 47 龔志豪 中山大學 物理系 培訓 48 于淳正 中山大學 物理系 培育 49 何彥勳 中山大學 物理系 培訓 50 吳宗軒 中山大學 物理系 培訓 51 李俊賢 中山大學 物理系 培訓 52 林佳盛 中山大學 物理系 培育 53 林政邦 中山大學 物理系 培育 54 林書慶 中山大學 物理系 培訓 55 施景仁 中山大學 物理系 培訓 56 員鳳屏 中山大學 物理系 培訓 57 翁崎峰 中山大學 物理系 培育 58 陳禹鈞 中山大學 物理系 培訓 59 陳敏甄 中山大學 物理系 培育 60 彭進詮 中山大學 物理系 培育 61 曾中政 中山大學 物理系 培訓 62 曾柏倫 中山大學 物理系 培訓 63 黃正杰 中山大學 物理系 培育 64 楊富明 中山大學 物理系 培育 65 詹承濂 中山大學 物理系 培訓 66 鄭永鑫 中山大學 物理系 培育 67 盧一精 中山大學 物理系 培育 68 蕭博文 中山大學 物理系 培訓
69 周志杰 中山大學 物理系 培訓 70 吳宜修 中山大學 物理所 培訓 71 蔡心邕 中山大學 物理所 培訓 73 吳俊斌 中山大學 物理所 培育 74 李宗霖 中山大學 物理所 培訓 75 汪長剛 中山大學 物理所 培訓 76 林佑松 中山大學 物理所 培訓 77 林佳慧 中山大學 物理所 培訓 78 林瑋歆 中山大學 物理所 培訓 79 孫家彬 中山大學 物理所 培訓 80 康繼中 中山大學 物理所 培訓 81 莊士弘 中山大學 物理所 培訓 82 許瑋哲 中山大學 物理所 培訓 83 郭志銘 中山大學 物理所 培訓 84 陳玉娉 中山大學 物理所 培訓 85 陳彥良 中山大學 物理所 培訓 86 陳柏君 中山大學 物理所 培育 87 陳盈伶 中山大學 物理所 培訓 88 陳昱豪 中山大學 物理所 培訓 89 陳郁壬 中山大學 物理所 培訓 90 楊佳慶 中山大學 物理所 培訓 92 吳俊逸 中山大學 物理所 培訓 93 吳岳霖 中山大學 資工所 培訓 94 張原銘 中山大學 資工系 培訓 95 謝伯宗 中山大學 電機系 培訓
96 江宗南 中山大學 電機系 培訓 97 李明逵 中山大學 電機系 培訓 98 黃國棟 中山大學 電機系 培育 99 李榕峻 中山大學 電機所 培訓 100 鄭寶堂 中山大學 電機所 培訓 101 楊士儀 中山大學 機電系 培訓 102 蕭府岳 中山大學 機電系 培訓 103 吳志榮 中山大學 機電所 培訓 104 林伯軒 中山大學 機電所 培訓 105 翁齊脩 中山大學 機電所 培訓 106 陳明發 中山大學 機電所 培訓 107 陳昭宇 中山大學 機電所 培訓 108 黃冠龍 中山大學 光電所 培訓 109 楊啟璋 中山大學 光電所 培訓 110 楊陸翔 中山大學 光電所 培訓 111 簡唯倫 中山大學 材料所 培訓 112 黃俊傑 中山大學 材料所 培訓 113 黃常寧 中山大學 材料所 培訓 114 葉炳宏 清華大學 材料所 培育 115 蔣儒賢 中山大學 物理系 培訓 116 陳德智 中山大學 物理系 培訓 117 龐文淵 中山大學 物理所 培訓 118 蘇瑞揚 中山大學 物理所 培訓 119 王映傑 中山大學 物理所 培訓 120 胡嘉軒 中山大學 物理所 培訓
121 張詠翕 中山大學 物理所 培訓 122 陳昱志 中山大學 物理所 培訓 123 吳秉融 中山大學 電機所 培訓 124 陳慶謨 中山大學 機電所 培訓 125 謝奇勳 中央大學 光電所 培訓 126 陳輝憲 中正大學 機械工程研究所 培訓 127 魏正弘 中研院 原分所 培訓 128 侯孟助 中興大學 機械工程系 培訓 129 嚴國瑋 中興大學 精密所 培訓 130 曾泓傑 中興大學 機械系 培訓 131 鄭貴元 元智大學 化學工程與材料科學 系 培訓 132 蘇晉鋒 中山大學 光電所 培訓 133 陳一仁 中山大學 光電所 培訓 134 龎楷翃 台灣大學 物理系 培育 135 吳昆寰 台北醫學 大學 培育 136 史珊琦 台住電子 培訓 137 張洪銓 交通大學 奈米所 培育 138 柯廷育 交通大學 應化系 培訓 139 鄭逸立 交通大學 顯示科技所 培訓 140 劉士豪 竹路應用 材料股份有限公司 培訓 141 吳伊旎 成功大學 化工所 培訓 142 方信喬 成功大學 材料所 培訓
143 洪飛義 成功大學 材料所 培訓 144 吳尚恩 成功大學 材料所 培訓 145 李昇頤 成功大學 材料所 培訓 146 黃雅鈴 成功大學 材料所 培訓 147 林文楨 成功大學 材料所 培訓 148 陳博彥 成功大學 材料所 培訓 149 王志欽 成功大學 材料所 培訓 150 朱紋慧 成功大學 材料所 培訓 151 邱琮傑 成功大學 材料所 培訓 152 梁譽瀚 成功大學 材料所 培訓 153 許廣元 成功大學 材料所 培訓 154 陳淑芳 成功大學 材料所 培訓 155 溫騰億 成功大學 材料所 培訓 156 張清河 成功大學 航太所 培訓 157 李杰穎 成功大學 微電子所 培訓 158 黃健峻 成功大學 微電子所 培訓 159 王建鈞 成功大學 光電所 培訓 160 白宜婷 成功大學 材料所 培訓 161 施孟甫 成功大學 航太系 培訓 162 郭世明 成功大學 材料所 培訓 163 郭光揚 成功大學 物理所 培訓 164 陳姿伶 成功大學 材料所 培訓 165 李建宏 成功大學 材料所 培訓 166 陳致丞 成功大學 材料所 培訓 167 譚中雄 成功大學 材料系 培訓
168 宋人豪 成功大學 材料系 培訓 169 姜定良 成功大學 材料系 培訓 170 鍾喬斌 成功大學 材料所 培訓 171 王瑞琪 成功大學 材料所 培訓 172 高子軒 成功大學 材料所 培訓 173 陳宏道 成功大學 材料所 培訓 174 管琪芸 成功大學 材料所 培訓 175 蔡家弘 成功大學 材料所 培訓 176 李淇彰 成功大學 材料所 培訓 177 高光廷 成功大學 物理系 培訓 178 呂維倫 成功大學 微電子所 培訓 179 陳威廷 成功大學 電機所 培訓 180 陳俊宏 成功大學 機械所 培訓 181 黃獻慶 成功大學 機械所 培訓 182 張源孝 旭明光電 股份有限公司 培訓 183 鄭筱萍 旭明光電 股份有限公司 培訓 184 陳奇宏 中山大學 材料所 培訓 185 湯振緯 中山大學 材料所 培訓 186 賴炎暉 中山大學 材料所 培訓 187 wang chih cheng 奇美電子 奇美電子 培訓 188 陳彥文 核心設施 培育 189 洪典裕 虎尾 科大 電子工程系 培訓
190 陳開煌 東方技術 學院 培訓 191 鄭承恩 東海大學 物理系 培訓 192 劉建億 東華大學 材料所 培訓 193 王中原 中山大學 物理系 培訓 194 蔡振凱 中山大學 物理系 培育 195 賴新枝 中山大學 物理系 培育 196 何承穎 中山大學 物理所 培訓 197 林員梃 中山大學 物理所 培訓 198 陳奇鴻 中山大學 物理所 培訓 199 黃獻頤 中山大學 物理所 培訓 200 黃勇勳 長庚大學 光電工程研究所 培訓 201 蔡秉宏 長庚大學 光電工程實驗室 培訓 202 蔡宗志 長庚大學 光電所 培訓 203 莊桂芬 信安高新 科技股份有限公司 培訓 204 陳偉修 屏東科技 大學材料系 培訓 205 林友仁 屏東科技 大學機械工程系 培訓 206 陳添丁 恆碩科技 股份有限公司 培訓 207 蔡宗倫 南台科大 培訓 208 鍾慎修 南台科技 大學 電子系 培訓 209 張志嘉 南台科技 大 學 培訓
210 閭錦 南京大學 物理系 培訓 211 張漢茂 律勝科技 公司研發部 培訓 212 許國賢 科毅科技 公 司 培訓 213 李佳根 飛信半導 體 飛信半導 體 培訓 214 楊明財 飛信半導 體 飛信半導 體 培訓 215 陳韋銘 核心設施 培育 216 張評款 中山 大學 材料所 培訓 217 邱婉婷 中山 大學 物理所 培訓 218 徐鈺淇 中山 大學 物理所 培訓 219 葉宇哲 中興 大學 電機所 培訓 220 蔡明諺 台灣 大學 材料科學與工程學 系 培訓 221 吳宛玉 成功 大學 材料所 培訓 222 邱正宇 成功 大學 航太系 培訓 223 張若蘋 成功 大學 微電子所 培訓 224 許國忠 成功 大學 微電子所 培訓 225 郭建麟 成功 大學 培訓 226 陳威呈 成功 大學 培訓 227 葉嘉斌 成功 大學 微電子所 培訓 228 蔡淑儀 成功 大學 材料所 培訓 229 余隆佑 成功 大學 工程科學系 培訓 230 陳德源 成功 大學 材料系 培訓 231 陳柏偉 成功 大學 材料所 培訓 232 陳韋宇 成功 大學 材料所 培訓
233 楊奇達 高雄 海洋科技大 學 微電子系 培訓 234 吳宜翰 高雄 第一科技大 學 光電所 培訓 235 高宗達 高雄 第一科技大 學 光電所 培訓 236 曾柏凱 高雄 第一科技大 學 光電所 培訓 237 楊清鎮 高雄 第一科技大 學 光電所 培訓 238 蔡盷成 高雄 第一科技大 學 光電所 培訓 239 劉同凱 嘉義 大學 光電暨固態電子研 究 所 培訓 240 劉建惟 國家奈米 元件實驗室 培訓 241 田偉辰 國家實驗 研究院 培訓 242 張榮威 高苑科技 大學 電子 所 培訓 243 王秉勳 高苑科技 大學電子所 培訓 244 楊博丞 高雄應用 科技大 學 培訓 245 沈尚宏 高雄應用 科技大 學 光電所 培訓 246 吳冠宏 高雄大學 應化系 培訓 247 陳麒麟 高雄大學 應化系 培訓 249 顏懷威 崑山科技 大學 機械系 培訓
250 萬建志 統懋半導 體 股份有限公司 培訓 251 陳偉鑫 清華大學 材料所 培訓 252 彭鈺仁 清華大學 材料系 培訓 253 羅元駿 清華大學 光電工程所 培訓 254 曾子純 清華大學 材料系 培訓 255 王致傑 清華大學 材料所 培訓 256 蔡宗閔 清華大學 材料所 培訓 257 岑尚仁 清華大學 奈微與材料科技中心 培訓 258 葉松瑋 陸軍官校 材料所 培訓 259 黃興祿 陸軍官校 機械系 培訓 260 戴煜暐 新日光能 源科技 培訓 261 吳仲卿 彰化師大 物理系 培訓 262 曾駿宇 嘉義大學 光電所 培訓 263 羅嘉翎 嘉義大學 光電所 培訓 264 曹永昌 嘉義大學 光電所 培訓 265 彭宗盈 中山大學 機電系 培訓 266 李政樺 中山大學 機電系 培訓 267 李婉綺 中山大學 機電系 培訓 268 胡誌傑 中山大學 機電系 培訓 269 楊舜傑 中山大學 機電系 培訓 270 謝東融 中山大學 機電系 培訓 271 吳宗典 中山大學 機電系 培訓 272 姚杰良 中山大學 機電系 培訓
273 陳惠華 核心設施 物理系 培育 274 陳權 成功大學 工程科學系 培育 275 吳盈清 成功大學 工程科學系 培育 276 林宏昌 成功大學 工程科學系 培育 277 邱家軍 成功大學 工程科學系 培育 278 歐天凡 中山大學 電機所 培育 279 張家豪 中山大學 電機所 培育 280 郭益男 中山大學 電機所 培育 281 葉宇寰 中山大學 電機所 培育 282 魏清梁 中山大學 電機所 培育 283 陳聯祥 中山大學 電機所 培育 284 胡竣傑 中山大學 電機所 培育 285 蕭義鴻 中山大學 電機所 培育 286 徐茂協 中山大學 電機所 培育 287 劉吉卿 中山大學 電機所 培育 288 蔡政宏 中山大學 電機所 培育 289 張瑋才 中山大學 電機所 培育 290 陳志聖 中山大學 電機所 培育 291 張良全 中山大學 電機所 培育 292 吳東庭 中山大學 電機所 培育 293 秦懷山 中山大學 電機所 培育 294 鄧智文 中山大學 電機所 培育 295 李怡志 中山大學 電機所 培育
表三、專利獲得清單(含申請中案件) 「專利清單中，「核准與否」請填申請中或已核准，未正確填寫將無法計算。」 No. 專利名稱 申請人 申請日期 專利申請國 法律事務所 獲得專利年度 申覆紀錄 專利申請案號 核准與否 備註 1 半導體元件的製 造方法 張鼎張 2003.01.15 中華民國 將群 2008 I292928 核准 2 奈米生化感測元 件及其製造方法 張鼎張 2004.12.22 中華民國 將群 2008 I293685 核准 3 晶圓構造及其製 造方法 張鼎張 2006.6.21 中華民國 將群 200802546 申請中 4 雙閘極電晶體及 應用此雙閘極電 晶體之畫素結構 張鼎張 2006.12.1 中華民國 聖島 200802848 申請中 5 非揮發性記憶體 及其電荷儲存層 的製造方法 張鼎張 2006.6.8 中華民國 將群 200802895 申請中 6 薄膜電晶體及其 製造方法 張鼎張 2006.7.11 中華民國 將群 200805668 申請中 7 具三元成分之電 荷儲存層的非揮 發性記憶體 張鼎張 2006.7.24 中華民國 聖島 200807724 申請中 8 具非揮發性記憶 功能之薄膜電晶 體裝置 張鼎張 2006.8.2 中華民國 聖島 200810116 申請中 9 一種基於異質奈 米晶體的非揮發 性浮閘記憶體其 張鼎張 20080515 中華民國 五州 申請中
製造方法 10 腐蝕性流體處理 裝置 張鼎張 中華民國 五州 申請中 11 電阻式隨機存取 記憶體之新穎低 溫製作方法 張鼎張 中華民國 五州 申請中 12 密封環 張鼎張 中華民國 五州 申請中 13 電阻式隨機存取 記憶體之新穎低 溫製作方法 張鼎張 中華民國 五州 申請中 14 壓電發電機之複 合壓電構造 陳英忠 97/3/13 中華民國 世豐專利商標事 務所 97108610 申請中 15 具四分之一諧振 模態之堆疊型薄 膜體聲波共振器 之製造方法及其 結構 陳英忠 97/2/12 中華民國 寬霖專利商標事 務所 97104755 申請中 16 具光子晶體結構 之表面聲波元件 及其製造方法 陳英忠 97/2/27 中華民國 寬霖專利商標事 務所 97106917 申請中 表四、技術移轉清單 繳庫金額(單位：元) 產出 年度 技術移轉項目 移轉 年度 廠商名稱 先期技術授權金 技術移轉授權金 合計 現況說明
表五、促進民間投資清單(含技術移轉、產學合作等) 產出 年度 技術移轉、關鍵技術、 產品、產學合作名稱 移轉 年度 廠商名稱 廠商投入金額(元) 此計畫投入經費(元) 現況說明 備註 表六、產學研合作列表 年度 推動計畫名稱 計畫投入經費 （仟元） 執行單位名稱 計畫主持人 合作廠商/研究單位/學 術單位名稱 廠商/研究單位/學術單位連 絡窗口名稱 (姓名、電話、職稱) 合作單位投入金額 （仟元） 備註 2008 友達-前瞻顯示器技 術開發研究 中山大學物理系 張鼎張 友達光電(股)公司 李明賢(03)5008800-1438 高級工程師 6,000 93.11.01~ 97.10.31 2008 台灣薄膜電晶協會-無光罩製程技術材 料合成與製程研究-元件製程整合 中山大學物理系 張鼎張 台灣薄膜電晶協會 240 96.11.01~ 97.10.30 2008 財團法人工業技術 研究院 (太陽光電)-矽薄膜品質分析與 電性研究 中山大學物理系 張鼎張 財團法人工業技術研究 院 陳頤承(03)591-4086 副經理 495 97.03.01~ 97.11.30 2008 工研院-微晶矽薄膜 特性量測技術研究 中山大學物理系 張鼎張 財團法人工業技術研究 院 黃振榮(03)591-8626 研究員 250 97.04.01~ 97.11.30 2008 利用分子動力學方 法模擬導光板上隨 機網點分佈與實驗 驗證 國立成功大學 工程科學所 黃吉川 奇美電子 高級工程師 陳煒森 06-5051891-4746 780
表七、國際合作
計畫名稱 技術移轉、關鍵技
術、產品項目 合作單位名稱 年度金額（仟元）
總金額
（仟元） 現況說明 備註
Study of Spin Splitting in GaN/AlGaN Wells(合約編 號：FA4869-07-1-4022) Spin-FET 新材料之 研發 USAF, AFOSR/AOARD US$ 39,872 US$ 49,872 (含校配合款 NT$ 300,000) Spin-FET 新材料研發進行中 計畫主持人(羅奕凱) 2007/9/28 ~ 2008/10/27 Study of III-nitride semiconductors on LiAlO2 by molecular beam epitaxy
GaN sample growth
University Karlsruhe, Germany 歐元 18,000 歐元 18,000 博士生陳彥良奉派至 University Karlsruhe, Germany 合作 計畫主持人(羅奕凱) 2007/12/1 ~ 200810/31 國科會千里馬計畫-黃建龍 University of Tokyo 台幣 600,000 楊弘敦教授 博士生至日本東京大學研究 2007/09~ 2008/07 國科會千里馬計畫-高銘宏 KTH, Royal Institute of Technology, Sweden 台幣600,000 羅奕凱教授 博士生至瑞典皇家技術學院 研究 2008/02/1 ~ 2009/1/31 表八、奈米國家型計畫所培育博碩士就業情形 「碩士/博士」以勾選方式填報，為了解主持人及共同主持人培育博碩士情形，請於備註欄註明。請務必填寫此表。 姓名 學校 系所 碩士 博士 就業單位/職稱 聯絡方式（電話、E-mail) 備註 （請註明主持人或共同 主持人姓名） 郭桂冠 中山大學 物理系 飛利浦/工程師 05-2764031； 羅奕凱（計畫主持人） 翁鴻銘 中山大學 物理系 豪威科技(OVT) 0968332833；hmweng@gmail.com 羅奕凱（計畫主持人） 陳詩哲 中山大學 物理系 奇美電子/工程師 06-2148658；0932-988931； shihche0906@hotmail.com 羅奕凱（計畫主持人） 吳文中 中山大學 物理系 卓蘭實驗高中/老師 037-263420；0928-650992； 羅奕凱（計畫主持人）
wcwu0@yahoo.com.tw 劉逸民 中山大學 物理系 台積電/工程師 ；0958126816； 羅奕凱（計畫主持人） 尤崇茵 中山大學 物理系 奇美電子/工程師 04-7555176；0915-671289； candice@cmo.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 周君郁 中山大學 物理系 奇景光電/工程師 04-7615891；0982198578； cy_chou@himax.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 洪健翔 中山大學 物理系 群創光電/工程師 02-29142054；0952190856； jeson37@yahoo.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 姚文醮 中山大學 物理系 旺宏電子/工程師 03-5635964；0952338880； m8923604@student.nsysu.edu.tw 羅奕凱（計畫主持人） 何佩綺 中山大學 物理系 台積電/工程師 05-3748110；0958281223； pchod@tsmc.com 羅奕凱（計畫主持人） 蔡振凱 中山大學 物理系 虎尾科技大學 通識中心/助理教授 07-3552792；0933261584； tsaijk@nfu.edu.tw 羅奕凱（計畫主持人） 莊耿林 中山大學 物理系 統新光訊/鍍模工程師 06-6333640；0989320152； janson@nexttech.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 李彥其 中山大學 物理系 中山大學電機系博士班 0960055567；juge.juge@msa.hinet.net 羅奕凱（計畫主持人） 高鳴宏 中山大學 物理系 中山大學物理系博士班 04-22051213；0938198889； m9123610@student.nsysu.edu.tw 羅奕凱（計畫主持人） 王慧瑀 中山大學 物理系 群創光電/工程師 0935-885404；why68125@hotmail.com 羅奕凱（計畫主持人） 連昭榮 中山大學 物理系 晶豪科技 0920-486821；cjlian@esmt.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 陳光耀 中山大學 物理系 台大博士班 0911-896735；bbjjno@yahoo.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 陳俊帆 中山大學 物理系 旺弘 0918-186801；hy_bood@hotmail.com 羅奕凱（計畫主持人） 余建邦 中山大學 物理系 群創光電 0961-182901；yuusix@yahoo.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 張智傑 中山大學 物理系 聯華電子 0939-907365； ncyuk7123@yahoo.com.tw 羅奕凱（計畫主持人）
梁翔越 中山大學 物理系 茂德科技 0952-852059； b8923039@student.nsysu.edu.tw 羅奕凱（計畫主持人） 張憲政 中山大學 物理系 國防儲訓-瀚宇彩晶研 發/工程師 0960-024004； b8823019@student.nsysu.edu.tw 羅奕凱（計畫主持人） 張燿一 中山大學 物理系 服役中 0922-417853； jassoncha@yahoo.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 沈孟緯 中山大學 物理系 服役中 0911-150007； monlu222@hotmail.com 羅奕凱（計畫主持人） 徐鈺琪 中山大學 物理系 中山大學物理系博士班 06-3368807；0919788696； chery0104@yahoo.com.tw 羅奕凱（計畫主持人） 龐文淵 中山大學 物理系 中山大學物理系博士班 03-4825715；0963252242； m942030014@student.nsysu.edu.tw 羅奕凱（計畫主持人） 林書慶 中山大學 光電所 華亞科技/工程師 0921-050075.adft70@hotmail.com 張鼎張（共同主持人） 謝漢博 中山大學 光電所 奇美電子/工程師 0935-553642.welsonpo@hotmail.com 張鼎張（共同主持人） 黃靜美 中山大學 光電所 全台晶相/工程師 0970-016277.usa@edt.com.tw 張鼎張（共同主持人） 楊富明 交通大學 電子所 台積電/工程師 0968653766.fmyang.ee92g@nctu.edu.tw 張鼎張（共同主持人） 陳世青 清華大學 電子所 中山大學/博士後 0925316806.scchen0921@gmail.com 張鼎張（共同主持人） 葉睿龍 交通大學 電子所 聯華電子/工程師 0963151210.b9031125@student.nsysu.edu.tw 張鼎張（共同主持人） 張俐婷 交通大學 電子所 台積電/工程師 0937338034.litingfranca@yahoo.com.tw 張鼎張（共同主持人） 李亞諭 清華大學 電子所 奇美電子/工程師 0919084655.g945028@oz.nthu.edu.tw 張鼎張（共同主持人） 黃柏鈞 中山大學 物理所 台積電/工程師 0936170687.m922030014@student.nsysu.edu.tw 張鼎張（共同主持人） 林怡萍 中山大學 物理所 聯華電子/工程師 0932813296.peng31245@yahoo.com.tw 張鼎張（共同主持人） 秦靖怡 中山大學 物理所 台積電/工程師 0911180194.kk514100@yahoo.com.tw 張鼎張（共同主持人） 趙彩倫 中山大學 光電所 聯華電子/工程師 0910833698.olan002002@yahoo.com.tw 張鼎張（共同主持人） 翁麗雯 中山大學 光電所 台積電/工程師 0912487808.m943050033@student.nsysu.edu.tw 張鼎張（共同主持人） 陳開煌 中山大學 電機所 東方技術學院/助理教 0925318061/u8613319@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人）
授 謝伯宗 中山大學 電機所 成大微奈米中心/博士 後研究 0929725271/dkoolo@edirect168.com 陳英忠（共同主持人） 歐天凡 中山大學 電機所 旺宏電子/工程師 0922839902/otfloveelle@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 張家豪 中山大學 電機所 國家儀器/工程師 0958980016/siegfrie@ms4.url.com.tw 陳英忠（共同主持人） 郭益男 中山大學 電機所 台積電/工程師 0929757656/kyn1117@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 葉宇寰 中山大學 電機所 聯電/工程師 0919538457/m9131605@student.nsysu.edu.tw 陳英忠（共同主持人） 魏清梁 中山大學 電機所 中山博士班 0972000675/D943010002@student.nsysu.edu.tw 陳英忠（共同主持人） 陳聯祥 中山大學 電機所 聯電/工程師 0912702903/m923010095@alumni.nsysu.edu.tw 陳英忠（共同主持人） 胡竣傑 中山大學 電機所 聯電/工程師 0911606176/m923010091@alumni.nsysu.edu.tw 陳英忠（共同主持人） 蕭義鴻 中山大學 電機所 華亞科技/工程師 0937292688/Jason.hyh@msa.hinet.net 陳英忠（共同主持人） 徐茂協 中山大學 電機所 華亞科技/工程師 0963497865/allen6130@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 張評款 中山大學 電機所 成大博士班 0921559056/u8913006@yuntech.edu.tw 陳英忠（共同主持人） 劉吉卿 中山大學 電機所 茂德/工程師 0915007094/Ziziliu1203@hotmail.com 陳英忠（共同主持人） 蔡政宏 中山大學 電機所 聯電/工程師 0932862676/Tasi1330@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 張瑋才 中山大學 電機所 中山博士班 0955561013/Rabbit.871254@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 陳志聖 中山大學 電機所 聯電/工程師 0939905821/fett324@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 張良全 中山大學 電機所 服役中 0911809289/string29133007@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 吳東庭 中山大學 電機所 服役中 0963412855/m943010023@student.nsysu.edu.tw 陳英忠（共同主持人） 秦懷山 中山大學 電機所 金屬中心 0963412855/0937630902@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 鄧智文 中山大學 電機所 聯電/工程師 0928392412/M943010025@student.nsysu.eud.tw 陳英忠（共同主持人） 李怡志 中山大學 電機所 日月光/工程師 0937570545/lij570545@yahoo.com.tw 陳英忠（共同主持人） 劉俊平 中山大學 材料所 日月光(服國防役) 曾百亨（共同主持人） 施政宏 中山大學 材料所 服役中 曾百亨（共同主持人） 李世偉 中山大學 材料所 中山博士班 0932799583.P923060010@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 蔡向卉 中山大學 材料所 台積電工程師 0963732851.9136611@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人）
謝勝輝 中山大學 材料所 旺宏電子/工程師 0929788869.9136605@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 李俊賢 中山大學 材料所 奇美/工程師 0932459563.9136607@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 林雅淑 中山大學 材料所 聯電/工程師 0929509538.9136608@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 黃淑綺 中山大學 材料所 聯電/工程師 0937399366.M923060001@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 何佳泰 中山大學 材料所 服役中 0953037202.M943060015@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 楊舜傑 中山大學 材料所 遠茂工程師 0939869732.9136625@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 洪春芳 中山大學 材料所 日月光/工程師 0955285365.M943060035@student.nsysu.edu.tw 曾百亨（共同主持人） 方育斌 成功大學 工程科學系 國家高速網路與計算中心/研究人員 0937399172; ybfang@nchc.org.tw 黃吉川（共同主持人） 陳鴻滄 成功大學 工程科學系 友達光電/助理 0938806065 黃吉川（共同主持人） 李世宏 成功大學 工程科學系 廣達電子/助理 0937728211 黃吉川（共同主持人） 李承泰 成功大學 工程科學系 奇美電子/助理 0935494529 黃吉川（共同主持人） 黃閔義 成功大學 工程科學系 奇美電子/助理 0933244888 黃吉川（共同主持人） 林宏昌 成功大學 工程科學系 成功大學工程科學系/博士後研究員 0963024035; n9892120@ccmail.ncku.edu.tw 黃吉川（共同主持人） 吳盈清 成功大學 工程科學系 成功大學生物資源中心 /博士後研究員 0910773095; n9891116@ccmail.ncku.edu.tw 黃吉川（共同主持人） 盧建銘 成功大學 工程科學系 國家高速網路與計算中心/研究人員 0922991007; n00ljm00@nchc.org.tw 黃吉川（共同主持人）
奈米國家型科技計畫
核心設施重要成果表
限本計畫成果，敬請確實填寫
1. 計畫背景－
計畫主持人及共同主持人：
計畫主持人 (PI)：羅奕凱教授(Ikai Lo)-
國立
中山大學物理系
共同主持人 (Co-PIs)：張鼎張教授(T. C. Chang )-
國立
中山大學物理系、
曾百亨教授(B. H. Tseng )-
國立中山大學材料科學研究所
、
陳英忠教授(Y. C. Chen )-
國立中山大學電機工程學系
、
黃吉川教授(C. C. Huang )-
國立成功大學工程科學系
研究題目：高屏地區奈米核心設施建造服務計畫(Nano-laboratory for Kaohsiung and Ping-Tong)
主持人執行機構：國立中山大學 (National Sun Yat-Sen University)
全程計畫執行期限：93.08.01～98.07.31
分年經費：
年度
93 年度 (2004) 94 年度 (2005) 95 年度 (2006) 96 年度 (2007) 97 年度 (2008)
金額(Amount) NT$30,000,000 NT$30,000,000 NT$23,000,000 NT$6,000,000 NT$4,000,000
2. 計畫目標（
內容以 300 字為限
）：
中山大學一直以來，即為高屏地區之學術重鎮，為了因應世界科技發展之趨勢，並配合國家重點產業之發展，投入了大量的
人力與物力，結合物理、化學、材料、光電、電機機械等學門之專家學者，依據高屏地區各研究單位及生產單位的特色，進
行奈米科技之整合與研發工作。並於 2001 年，由教育部(重點研究型大學)支援，建立「奈米科技研發中心」
，並完成了以“奈
米材料製程＂、“奈米材料鑑定＂與“奈米材料應用＂為重點之整合型研究計畫。配合奈米中心之成立，由國科會(奈米國家
型研究計畫)支援，於中山大學內籌建「高屏地區奈米核心設施共同實驗室」
。第一期(93～95 年度)之主要工作包括，80 坪高
品質無塵室之建立，基礎關鍵儀器之採購及研究方向之擬定。第二期(96～97 年度)之主要工作，將完成「高屏地區奈米核心
設施共用實驗室」之建立，並採購相關週邊設備，使之成為具有特色且完備之奈米研究之實驗室，並整合高屏地區奈米科技
重點研究計畫，提昇高屏地區奈米科技之研究與特色。計畫進行至今已將近四年。工作進度亦依次完成。高品質無塵室正常
運轉，所採購之奈米材料製程與分析機台也已經就定位。除了要架構一個完整的高效能計算模擬環境外，設施的另一個發展
重點放於建立一個完整的薄膜沉積分析，甚而提供元件製作電性研究部分。本計畫設定之目標已依序完成，成果亦逐漸呈現，
為高屏地區高科技研發環境建立堅實的基礎，並為國內相關研究提供服務。
儀器設備與相關研究關係圖
樣品成長(Sample Growth)：
MBE, CVD
電性分析
(Electronic properties)：
Hall, SdH, SQUID, I-V
光學分析
(Optical properties)：
FTIR, PL, Raman
結構分析
(Structural analysis)：
SEM, TEM, X-ray, FIB, SPM
元件製程(Clean Room, Device Process)：
HDP-CVD, ICP-RIE, E-beam Evap., FIB
理論計算
(Theoretical Calculations)：
PC Cluster
3. 參與計畫之系所及人數：
系所
物理系
化學系
機電系
電機工程系
材料科學研
究所
工程科學系
光電所
其他
總計
顧問人數
1 1 1 1 4
老師人數
15 4 5 3 16 1 6 2 52
學生人數
70 13 12 21 75 14 18 7 189
助理
9 9
合計
95 18 17 24 92 15 24 10 295
人數
4.
藉由此設施達成重大之科學成果、發表論文（
至多 6 篇
）、聘用/培養高能力之技術人員（
內容以 500 字為限
）
：
[1] 重大之科學成果、發表論文： In the year of 2008, the researchers in the Kaohsiung-Pingtung area have made several significant contributions, which
covered distinct fields by different research groups. The researchers have published 46 SCI papers (till 2008/5/19) in the international scientific journals
using the core facilities in National Sun Yat-Sen University. For example, Prof. T. C. Chang (
張鼎張
) designed and characterized the nonvolatile memory
device with imbedded nanocrystals and varied dielectric materials, to enhance the performance and applications of the memory device [Ref.(1)]. In the field
of nanometer-scaled device materials, Prof. L. W. Tu (
杜立偉
) grew and analyzed the InN nanotips as excellent field emitters [Ref.(2)], Prof. J.C. Huang (
黃
志青
) studied material properties of metallic contacts [Ref.(3)], Prof. H. Chou (
周雄
) studied the magnetic properties of La0.8Ba0.2MnO3 films on
SrTiO3(100) substrates [Ref.(4)]. Prof. L.C. Liang (
梁蘭昌
) studied and analyzed the properties of fluorinated diarylamido complexes and Nickel(II)
complexes containing bidentate amido phosphine ligands [Ref.(5)]. Prof. F.C. Chang (
莊豐志
) fabricated and investigated the superhydrophobic and
superoleophilic polystyrene related materials [Ref.(6)]. Prof. T.Y. Dong (
董騰元
) studied the electronic properties of binuclear ruthenium(II) terpyridine
complexes [Ref.(7)]. Prof. H. D. Yang (
楊弘敦
) investigated the magnetic properties of superconducting NbSe2 and molecular magnets [Ref.(8)]. Prof. Ikai
Lo (
羅奕凱
) grew and analyzed the lattice properties of M-plane GaN grown on γ-LiAlO2 by plasma-assisted molecular beam epitaxy [Ref.(9)].
[2] 培養高能力之技術人員：計畫進行至今將邁入第五年，本計畫採購之多項核心設施儀器都已就緒，高品質無塵室亦已正常運轉，奈米材料製程
與分析機台也已經就定位，參與儀器使用訓練課程之人數眾多，培養高能力技術人員之績效卓著。其中值得稱讚的技術人員除了聚焦離子束Focus
Ion Beam專任助理陳彥文先生之外，負責廠物安全與無塵室製程機台的專任助理陳韋銘與賴新枝，積極參與無塵室之建造並訓練研究生，使元
件製作與製程皆能順利進行，並獲得很好的成果，且多數發表在APPLIED PHYSICS LETTERS 等著名期刊。
References (2008年重要論文發表):
(1) Prof. T.T. Chang (
張鼎張
): “Tungsten Oxide/Tungsten Nanocrystals for Nonvolatile Memory Devices”, Applied Physics Letters 92, 013114 (2008);
“Nonvolatile memory characteristics influenced by the different crystallization of Ni–Si and Ni–N nanocrystals”, Applied Physics Letters 92, 062112
(2008); “Formation of Cobalt-Silicide Nanocrystals in Ge-doped dielectric layer for the Application on Nonvolatile Memory”, Applied Physics Letters 92,
152115 (2008); “Reliability characteristics of NiSi nanocrystals embedded in oxide and nitride layer for nonvolatile memory application”, Applied
Physics Letters 92, 152114 (2008); “Reduction of photoleakage current in polycrystalline silicon thin-film transistor using NH3 plasma treatment on
buffer layer”, APPLIED PHYSICS LETTERS 92, 153507 (2008); “Tungsten nanocrystal memory devices improved by supercritical fluid treatment”,
APPLIED PHYSICS LETTERS 91, 232104 (2008); “Formation and nonvolatile memory effect of nickel-oxygen-silicon nanoparticles”, APPLIED
PHYSICS LETTERS 91, 222105 (2008).
本研究團隊(張鼎張)已經成功利用Sputter共鍍SiGe與Co靶材，再利用RTO退火方式形成CoSi2金屬奈米點記憶體，其記憶體製作流程圖、TEM
圖、及電容電壓儲存特性如圖一所示，由於CoSi2奈米點與氧化鍺的缺陷可同時提供儲存能力，因此此奈米點記憶體可具有良好的記憶特性，
此成果也已經被發表於Appl. Phys. Lett. 92, 152115 (2008)。
圖一: CoSi 奈米點結構記憶體之製程流程圖,TEM圖,與記憶特性。
本研究團隊(張鼎張)亦利用Sputter濺鍍NiSi薄膜，再以RTA在氮氣下退火，形成NiSi2金屬奈米點包覆於SiN介電質的結構。由於增加SiN介電層
的缺陷能態，因此可大幅改善記憶體的窗口，其TEM圖及電容電壓儲存特性如圖二所示，其成果發表於Appl. Phys. Lett., 92, p.152114 (2008)。
圖二: NiSi 奈米點埋於SiN介電層結構記憶體之TEM 圖與記憶特性。
(2) Prof. L.W. Tu (
杜立偉
) : “InN nanotips as excellent field emitters”,
APPLIED PHYSICS LETTERS 92, 123105 (2008) .
(3) Prof. J.C. Huang (
黃志青
): “Interfacial reactions of Pt-based Schottky contacts on nGaP”, APPLIED PHYSICS LETTERS 92, 82108 (2008); “Enhanced
mechanical performance of Mg metallic glass with porous Mo particles”, APPLIED PHYSICS LETTERS 92, 11930 (2008).
(4) Prof. H. Chou (
周雄
): “Particular strain relaxation for La0.8Ba0.2MnO3 films on SrTiO3(100) substrates”, APPLIED PHYSICS LETTERS 91, 242505
(2008).
(5) Prof. L.C. Liang (
梁蘭昌
): “Fluorinated diarylamido complexes of lithium, zirconium, and hafnium”, INORGANIC CHEMISTRY 47, 3298-3306 (2008);
“Nickel(II) complexes containing bidentate amido phosphine ligands derived from alpha-iminophosphorus ylides: Synthesis and structural
characterization”, INORGANIC CHEMISTRY 47, 749-758 (2008).
(6) Prof. F.C. Chang (
莊 豐 志
): “Fabrication of superhydrophobic and superoleophilic polystyrene surfaces by a facile one-step method”,
MACROMOLECULAR RAPID COMMUNICATIONS 28, 2262-2266(2008); “Self-assembly through competitive interactions of miscible diblock
copolymer/homopolymer blends: Poly(vinylphenol-b-methyl methacrylate)/poly(vinylpyrrolidone) blend”, MACROMOLECULES 41, 1401-1410(2008).
(7) Prof. T.Y. Dong (
董騰元
); “Micromodulating the electronic coupling across redox-active ferrocenyl Spacer in binuclear ruthenium(II) terpyridine
complexes: Synthesis, electrochemistry, and photophysical properties”, ORGANOMETALLICS 27,555-562 (2008).
(8) Prof. H. D. Yang (
楊弘敦
): “Experimental evidence for a two-gap structure of superconducting NbSe2: A specific-heat study in external magnetic fields”,
PHYSICAL REVIEW B 76, 212504 (2008); “Neutron diffraction and specific heat studies on the magnetic ordering in the
[Fe-II(Delta)Fe-II(Lambda)(ox)(2)(Phen)(2)](n) molecular magnet”, PHYSICAL REVIEW B 76, 224417 (2008).
(9) Prof. Ikai Lo (
羅奕凱
): “Line defects of M-plane GaN grown on γ-LiAlO2 by plasma-assisted molecular beam epitaxy”, APPLIED PHYSICS LETTERS
5. 核心設施儀器基本資料：
購 買 年 度 儀 器 等 級 儀器中文名稱 儀器英文全名與簡稱 儀器型號 儀器功能 採購預算 實際採購經費 採購日期 儀器裝機 日期 試運轉日 期 正式對外 服務日期 放置 地點 管理負責人及聯絡方式 （電話及 e-mail）93
☐
A
■
B
☐
C
電腦叢集集高 效能工作站PC-cluster and
Software
HyperCluster IIIe P4-G 計算物理、 化學、電磁 電機、半導 體元件、流/ 固體力學、 計算應用力 學等研究1,500,000
2,218,000
(核心支付
1,268,000)
93.11.17 94.01.05 94.01.15 94.02.15
物理 館 5009 室電 腦室 蔡秀芬教授 (07)5252000 ext 3728 tsaysf@mail.nsysu.edu.tw93
☐
A
■
B
☐
C
聚焦離子束
Focus Ion Beam
(FIB)
SMI 3050 定點切割 選擇性的材 料蒸鍍等10,000,000
21,297,300 94.04.05 94.09.15 94.10.01 94.11.15
理學 院 1006 室奈 米中 心 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw93
☐
A
■
B
☐
C
高速運算電腦 叢集系統(控制 系統周邊儀器)The PC cluster system
of high-computing
(Modification
equipments)
計算物理、 化學、電磁 電機、半導 體元件、流/ 固體力學、 計算應用力 學等研究3,000,000 958,000
94.09.09 95.12.01 95.12.15 95.02.01
成大 黃吉川教授(06)275-7575 ext 63348 chchwang@mail.ncku.edu.tw93
☐
A
■
(水:DI、冷卻水; 氣:氦氣回收、廢 棄處理系、毒性Supporting system
8,500,000 3,320,700
94.10.15 95.12.02 95.12.10 95.12.15
理學 院 1012 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.twB
☐
C
氣瓶、全區低真 空系統等等) 室 1013 室 周 雄教授(07)5252000 ext 3722 hchou@mail.nsysu.edu.tw93
☐
A
■
B
☐
C
光罩對準機Lithography
system(Mask_Aligner)
AG350 -6B 處理微影及 曝光項目13,500,000
2,986,750
(核心支付
1,486,750)
93.12.31 94.08.15 94.09.10 95.03.27
理學 院 1013 室 黃光 室 周 雄教授(07)5252000 ext 3722 hchou@mail.nsysu.edu.tw94
☐
A
■
B
☐
C
雷射退火及濺 鍍系統Laser Annealing and
Ablation system
雷射退火 WA12 濺鍍系統 WA11 本電子鎗真 空蒸鍍機用 於半導體鍍 膜，用以提 昇半導體的 元件特性。 可進行金屬 Ti、Pt、Au 及介電質 SiO2、 Al2O3 沉積11,000,000 6,000,000
94.10.31 95.07.10 95.09.10 95.12.10
理學 院 1013 周 雄教授(07)5252000 ext 3722 hchou@mail.nsysu.edu.tw94
☐
A
■
B
☐
C
高濃度電漿蝕 刻及化學氣相 蒸鍍系統ICP-etcher and CVD
system
Cirie-200 Ciede-200 數位式金屬 密封式 (metal-seal) 氣體質量流 量控制器11,000,000
14,995,000
(核心支付
12,195,000)
94.10.31 95.07.10 95.09.10 95.12.10
理學 院 1012 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw94
☐
A
■
B
半導體量測製 程周邊系統Modification
equipments
2,500,000 5,272,000
94.04.07
95.09.15
理學 院 1012 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw 周 雄教授(07)5252000☐
C
1013 室 ext 3722 hchou@mail.nsysu.edu.tw94
☐
A
■
B
☐
C
物理性質量測 系統(貴儀中心)Low-temperature and
High-field
Measurement system
PPMS
7,000,000 0
95.12.01
96.03.01
物理 館 郭建成教授(07)52520000ext 3735 cckuo@mail.nsysu.edu.tw95
☐
A
■
B
☐
C
高真空蒸鍍及 真空快速退火 系統(
製程週邊 設備)Equipments for the
Device Process
E-beam/RTA E-beam： Peva-600E RTA: FA04 乃是針對功 率IC元件、 砷化鎵晶圓 及次微米精 密線寬要求 的Lift-Off製 程所設計的 整批式量產 設備，6,500,000 5,650,050
95.10.30 96.5.24 96.05.28 96.06.30
理學 院 1012 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw95
☐
A
■
B
☐
C
雷射退火系統 週邊設備Laser annealing and
ablation system
可進行金屬 Ti、Pt、Au 及介電質 SiO2、 Al2O3 沉積6,000,000 $5,794,620 95.08.01 96.05.15 96.09.15 96.12.31
理學 院 1013 室 周 雄教授(07)5252000 ext 3722 hchou@mail.nsysu.edu.tw95
☐
A
■
B
☐
C
氣瓶櫃供應系 統(量測週邊設 備)Equipments for the device
characterization
5,500,000 5,500,000
95.08.24 95.10.21 95.11.20 95.12.10
理學 院 1012 室 1013 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw 周 雄教授(07)5252000 ext 3722 hchou@mail.nsysu.edu.tw95
☐
A
■
B
☐
C
電腦叢集及高 效能工作站
PC-cluster and
Software
1,000,000 500,000
96.06.07 96.07.05 96.07.20 96.08.01
物理 館電 腦室 蔡秀芬教授(07)5252000 ext 3728 tsaysf@mail.nsysu.edu.tw95
☐
A
■
B
☐
C
多靶磁控濺鍍 系統(奈米中心)Sputter Psur-100HB
製程溫度最 高可至 400 ℃。2,400,000
0
96.04.26 96.05.26 96.06.20 96.08.01
理學 院 1012 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw96
☐
A
■
B
☐
C
薄膜特性分析 儀N & K analyzer
n&k Analyzer
1280
反射光譜 與 透射光 譜 量測2,500,000
0
96.09.01 96.11.16 96.11.17 96.12.17
理學 院 1012 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw96
☐
A
■
B
☐
C
三維輪廓儀3DAlpha-Step
Profilometer
Dektak 150
Stylus Profiler
測量膜厚 1,400,000
0
96.09.01 96.11.16 96.11.17 96.12.17
理學 院 1012 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw96
☐
A
■
B
☐
C
4 點探針4 Point Probe
5601Y
SHEET
RESISTIVITY
METER
量測電阻
120,000
0
96.09.01 96.11.16 96.11.17 96.12.17
理學 院 1012 室 張鼎張教授(07)5252000 ext 3708 tcchang@mail.nsysu.edu.tw6. 參與儀器使用訓練課程人數及通過檢定人數（List the number of personnel trained by the training courses and the number of
certificates granted）：94.10.15-97.4.30
儀器名稱 參與儀器使用訓練課人數 訓練時數 認證通過總人數
聚焦離子束 Focus Ion Beam
23
920
23
光罩對準機 MASK Aligner
61
91.5
55
高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High Density Plasma
Chemical Vapor Deposition
41
123
41
感應耦合式電漿蝕刻系統(ICP-Etcher),Inductive Couple Plasma
Etcher
49
147
49
多靶磁控濺鍍系統, Multi-Target Sputter
46
138
46
雙電子束蒸鍍系統, Dual E-Beam Evaporator
37
111
37
快速退火系統(RTA),Rapid Thermal Annealing System
54
54
53
薄膜特性分析儀 N & K analyzer
17
17
14
三維輪廓儀 3D Alpha-Step Profilometer
34
34
32
四點探針 4 Point Probe
2
2
2
雷射退火系統 Laser Annealing system
4
12
3
The PC cluster system (GROMACS)
10 36 10
7. 核心設施服務績效（請將因執行本計畫所新增之儀器逐項填寫，內容包括儀器名稱、儀器等級、申請者/指導教授、申請使
用單位、使用時數等）
：
機台名稱 儀器等級 申請使用者/指導教授 申請使用單位 申請使用時數
高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 魏翊峰/張鼎張 中山大學物理系 2.5 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 戴志豪/張鼎張 中山大學光電所 23.5 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 田偉辰/ 國家實驗研究院 5
高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 李宗霖/杜立偉 中山大學物理所 7.25 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 張冠張/張鼎張 中山大學 10.5 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 陳侑廷/張鼎張 中山大學光電所 4.25 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 陳昱志/羅奕凱 中山物理所 5.5 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 陳偉修/楊茹媛 屏東科技大學材料系 14.5 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD),High
Density Plasma Chemical Vapor Deposition □A ■B □C 楊伯鈞/張鼎張 中山大學光電所 4
