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高介電常數介電質於金屬-絕緣層-金屬電容之電性研究

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Academic year: 2021

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國

立

交

通

大

學

電子工程學系 電子研究所碩士班

碩

士

論

文

高介電常數介電質於金屬-絕緣層-金屬電容

之電性研究

Study on Electrical Characteristics of High-κ

Metal-Insulator-Metal Capacitors

研 究 生：簡俊全

指導教授：荊鳳德 教授

(2)

高介電常數介電質於金屬-絕緣層-金屬電容之電性研究

Study on Electrical Characteristics of High-κ

Metal-Insulator-Metal Capacitors

研 究 生：簡俊全 Student：Chun-Chuan Chien

指導教授：荊鳳德 Advisor：Dr. Albert Chin

國 立 交 通 大 學

電子工程系 電子研究所碩士班

碩 士 論 文

A Thesis

Submitted to Institute of Electronics

College of Electrical Engineering and Computer Science National Chiao Tung University

in partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of

Master of Science in

Electronics Engineering

June 2007

Hsinchu, Taiwan, Republic of China

參考文獻

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