微機電系統原理與應用微機電系統原理與應用

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台灣師範大學機電工程學系 C. R. Yang, NTNU MT

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微機電系統原理與應用微機電系統原理與應用

Principles and Application of Micro

Principles and Application of Micro- -Electro Electro- -Mechanical System Mechanical System

楊啟榮博士

教授

國立台灣師範大學機電工程學系 Department of Mechatronic Engineering National Taiwan Normal University

Tel: 02-7734-3506; 0955-052-392 E-mail: [email protected]

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微電子微電子 vs. vs. 微機電微機電

3D Optical Scanner

3D Optical Scanner (ADI, USA) Metal-Oxide-Silicon

Field Effect Transistor

MOSFET

金屬氧化半導體場效電晶體

PMOS NMOS

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微電子微電子 + + 微機械微機械 = = 微機電系統微機電系統

(Micro Electro Mechanical System, MEMS)

把玩齒輪的螞蟻(IMT, Germany) 3D Optical Scanner3D Optical Scanner(ADI, USA)

旋轉式微馬達可變聚焦位置透鏡

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課課程程資訊資訊

課 號： MTM0006

名稱：微機電系統原理與應用

英文名稱：Principles and Application of Micro-Electro-

Mechanical System

學 分：3 類別：選修

適修年級：碩/學士生(大碩合開)

對象：具機械、電機工程背景知識之研究生授課老師：楊啟榮博士

課程講義：微機電系統原理與應用講義

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教學目標教學目標

本科目旨在協助機械∕電機∕電子等工程背景學生，

瞭解微機電系統的技術內容，包括基礎IC製程技術、

微機電製程技術、微感測器與微致動器原理與製造技術、系統能源供應、封裝檢測、應用技術及微機電系統技術現況與未來發展趨勢。

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課程預計進度課程預計進度

1. 微機電系統技術簡介 2. 基礎IC製程技術 3. 矽基微加工與應用技術 4. 非矽基微加工與應用技術 5. 微機電接合與封裝技術 6. 微致動器技術

7. 微感測器技術 8. 微機電系統應用技術

9. 奈米科技與其對明日生活的影響

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出席率與上課態度 (20%) 、書面報告

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注意格式要 求)(40%)、筆試測驗(只考基本概念)(40%)。

筆試範圍完全出自於上課內容與補充資料。用功與否，決定分數的高低；若是太混，仍然會難逃被當的命運。

本課程非營養學分，請作好心理準備才選修！！

修課的大三學生中，選擇對MEMS有興趣的學生進行專題 研究。

評分考試評分考試

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書面報告書面報告

1.

翻譯一篇至少五頁之英文國際期刊論文，主題內容以

MEMS技術為主，其需事先經過授課教師認可(E-mail to Yang)，認可時間最晚為兩週內。

請選擇期刊論文，而非會議論文(請注意兩者之不同)。

要有期刊名、卷數、頁數等論文出處標註。

將論文代碼.pdf改成篇名.pdf再寄給老師審閱

2.

國際期刊論文必須找2011年以後之論文。

3.

繳交論文翻譯Pdf檔案、期刊原文Pdf檔，置於姓名+學號(如 楊啟榮99087733)的目錄中，期末再指定同學收集繳交。

4.

繳交之報告格式，需符合授課教師指定之格式，包括不可太多錯字，否則將退回報告不予計分。

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書面報告- 書面報告 -翻譯範圍？翻譯範圍？

1. 篇名

2. 作者直接原文複製，排列整齊即可。

3. 姓名+學號＋台灣師範大學機電工程學系

楊啟榮 99087733

台灣師範大學機電工程學系

4. 內文全部翻譯(意譯而非字譯)，直到結論。

5. 參考文獻原文複製，排列整齊即可。

6. 若有謝誌、作者簡歷自傳不要處理。

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1.

書面報告格式介紹(請認真體會格式的要求)。

2.

如何尋找國際期刊論文？

Google:

http://scholar.google.com/

輸入關鍵字或作者名即可……

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上課原則與配合事項上課原則與配合事項

1.

上課遲到二十分鐘，不准於該節進教室。

2.

事假、病假必須於上課前，以簡訊、E-mail請假，或由可 信賴之同學轉告。

3.

無故曠課

(不定時點名)多次，直接建議期中退選，否則

將嚴重影響期末分數。

4.

上課手機請關機！

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研究室位置：科技與工程學院地下一樓工B03室

課輔時間課輔時間

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影片欣賞- 影片欣賞 -認識認識MEMS MEMS 技術技術

1. Sand to Silicon - the Making of a Chip 2. An Introduction to MEMS

3. Sandia MEMS Videos

http://www.youtube.com/watch?v=GiG5czNvV4A

4. Mirrorcle Technologies MEMS Mirrors in Tip-Tilt-Piston Operation http://www.youtube.com/watch?v=UcT0ZIcL2B4

5. MEMS: Making Micro Machines

http://www.youtube.com/watch?v=n3mbGtTzhpA 6. MEMS LIGA technology

http://www.youtube.com/watch?v=unj23A8br0U

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