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以準分子雷射結晶法製作高載子移動率低溫複晶矽與矽鍺薄膜電晶體之研究

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Academic year: 2021

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(1)國立交通大學 電子工程學系. 電子研究所. 博 士 論 文 以準分子雷射結晶法製作高載子移動率 低溫複晶矽與矽鍺薄膜電晶體之研究 Study on High-Mobility Low-Temperature Polycrystalline Silicon and Silicon-Germanium Thin Film Transistors Fabricated by Excimer Laser Crystallization. 研 究 生:常鼎國. Ting-Kuo Chang. 指導教授:鄭晃忠 博士. Dr. Huang-Chung Cheng. 中 華 民 國 九十三 年 八 月.

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