鈷/鉑垂直磁化多層膜中結構對磁耦合及電性的影響 - 政大學術集成
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(2) 中文摘要. 本論文主要在研究多層膜之垂直異向性結構組成及其介面特質,本實驗多層 膜選取的材料為鐵磁性的鈷(Co)以及貴重金屬的鉑(Pt),並利用濺鍍(Sputtering) 系統來製作(鈷/鉑)多層膜樣品,最初的實驗為尋找(鈷/鉑)多層膜結構組成最佳垂 直易性發生之條件,所以分別變化鐵磁層鈷之厚度、一般金屬層鉑之厚度、(鈷/ 鉑)雙層層數及緩衝 buffer layer 層鉑之厚度,並利用震動樣品磁度儀(VSM)及超. 政 治 大 H 的關係,再由 M-H 圖進行判別其垂直異向性的程度。 立. 導量子干涉儀(SQUIDE)分別量測垂直及平行磁場方向之磁化強度 M 對磁場 field. ‧ 國. 學. 在最初的實驗部分可了解如何得到最佳(鈷/鉑)垂直異向性多層膜之結構,並. ‧. 從中可得不同緩衝層鉑之厚度、(鈷/鉑)雙層層數及雙層內鉑之厚度的矯頑場有一. sit. y. Nat. 趨勢存在,於第二部分的實驗即利用這些矯頑場之趨勢來製作一系列產生巨磁效. al. er. io. 應之三層膜結構,其中的鐵磁層由(鈷/鉑)垂直異向性多層膜取代,並對此結構做. v. n. 一系列量測,利用震動樣品磁度儀(VSM)量測其磁化強度對磁場的關係、利用. Ch. engchi. i n U. LR700 系統及物理低溫量測系統(PPMS)量測其異常 Hall effect 霍爾效應(EHE)現 象和電阻對磁場的關係,再將這一系列的量測結果分析其中被一般金屬層鉑所隔 開的上下(鈷/鉑)垂直異向性多層膜之間耦合程度。. I.
(3) Abstract The topic of this thesis is about the property of the interface and structure in the multilayers with perpendicular anisotropy. The materials of this multilayers are ferromagnetic cobalt and platinum. We use sputtering system to fabricate cobalt/platinum multilayer with various thicknesses. The initial experiment is to search for the optimum condition that develop cobalt/platinum multilayer with perpendicular anisotropy. Then, the influenceof the buffer layer of platinum is studied.. 政 治 大 magnetometer to measure. We use Vibrating sample magnetometer (VSM) and superconducting quantum. 立. interference device (SQUID). the magnetization vs.. ‧ 國. 學. magnetic field relation by applied magnetic fields in both out of plane and in plane directions to distinguishe the degree of perpendicular anisotropy from the M-H. ‧. figures.. sit. y. Nat. From the initial experiments we can understand how to get the optimum structure. al. er. io. of cobalt/platinum perpendicular anisotrpy multilayer. There is a tendency exists in. v. n. the coercivity depending on different thicknesses of the ferromagnetic layer cobalt,. Ch. engchi. i n U. the normal noble platinum, the number of bilayers of cobalt/platinum, and the buffer layer of platinum. In the second part of this experiment we used the difference of coercivities to fabricate a series of trilayers structures that produce giant magnetoresistance effect. The individual ferromagnetic layer was cobalt/platinum perpendicular anisotropy multilayer. The structures was measured by VSM to study magnetization vs. field relation. A LR700 resistance bridge and a physical properties measurement system (PPMS) were used to measure the Anomalous Hall Effect (AHE) and resistant vs. field relation.. II.
(4) 目錄 中文摘要........................................................................................................................ I 英文摘要...................................................................................................................... II 目錄...............................................................................................................................V 圖目錄..........................................................................................................................VI 表目錄.......................................................................................................................XIV 第一章 緒論..................................................................................................................1 1-1 實驗動機...................................................................................................1. 政 治 大 第二章 原理介紹..........................................................................................................7 立. 1-2 垂直異向性發展.......................................................................................4. ‧ 國. 學. 2-1 磁性物質簡介...........................................................................................7 2-2 磁異向性簡介.........................................................................................18. ‧. 2-3 垂直異向性機制.....................................................................................29. sit. y. Nat. 2-4 巨磁阻效應..............................................................................................32. al. er. io. 第三章 儀器設備與實驗原理....................................................................................39. v. n. 3-1 薄膜形成物理機制.................................................................................39. Ch. engchi. i n U. 3-2 濺鍍原理與技術.....................................................................................41 3-3 濺鍍製程設備系統.................................................................................47 3-4 膜後粗鍍儀(Alpha step profilometer)....................................................49 3-5 震動樣品磁度儀(Vibrating sample magnetometer)..............................50 3-6 四點量測法.............................................................................................51 第四章 實驗數據與分析............................................................................................53 4-1 Bilayer 中 Co 厚度變化對(Co/Pt)多層膜之垂直異向性結構影響........55 4-2 Bilayer 中 Pt 厚度變化對(Co/Pt)多層膜之垂直異向性結構影響.........69 4-3 Bilayer(Co/Pt)層數變化對(Co/Pt)多層膜之垂直異向性結構影響......80 III.
(5) 4-4 Buffer layer Pt 厚度變化對(Co/Pt)多層膜之垂直異向性結構影響......96 4-5 Spacer Pt 厚度變化對(Co/Pt)多層膜之垂直式巨磁阻結構影響........108 4-6 Bilayer(Co/Pt)層數變化對(Co/Pt)多層膜之垂直式巨磁阻結構影響.... ................................................................................................................115 4-7 Bilayer(Co/Pt)中之 Pt 厚度對(Co/Pt)多層膜之垂直式巨磁阻結構影響.. ................................................................................................................120 4-8 Buffer layer Pt 厚度對(Co/Pt)多層膜之垂直式巨磁阻結構影響........123 第五章 討論..............................................................................................................132. 政 治 大. 參考文獻:.................................................................................................................134. 立. ‧. ‧ 國. 學. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. IV. i n U. v.
(6) 圖目錄 圖2-1-1. (a)為NiFe薄膜翻轉時所產生vortex structure的MFM影像圖;(b)為不同 尺寸Gd/FeCo垂直異向性薄膜反翻轉的MFM影像圖,圖中並沒有產生 vortex structure.............................................................................................3. 圖 1-2-1 不同 Co 層厚度之 Co/Pd 多層膜 VSM 量測結果,其中實線部分為垂直 膜面加磁場,虛線部分為平行膜面加磁場................................................5 圖 1-2-2 圖 2-1-1. 政 治 大 一軌道電子和一自旋電子之磁力矩...........................................................8 立 垂直式自旋閥結構.......................................................................................5. 順磁性物質在無外加磁場與有外加磁場下之原子磁雙極組態...............9. 圖 2-1-3. 順磁性物質之磁化率與絕對溫度的關係...................................................9. ‧. ‧ 國. 學. 圖 2-1-2. 圖 2-1-4 反磁性物質再有無加磁場和有外加磁場下之原子磁雙極組態,在無外. sit. y. Nat. 加磁場,無雙極存在;再出現外加磁場,雙極產生並與外加磁場方向. er. al. v. 反性物質之磁化率與絕對溫度的關係.....................................................10. n. 圖 2-1-5. io. 排列成相反方向........................................................................................10. Ch. engchi. i n U. 圖 2-1-6 鐵磁物質其原子磁雙極共同排列之示意圖,此種排列即使在無外加磁 場之下亦將存在........................................................................................11 圖 2-1-7 在鐵磁性物質中磁區示意圖。在每個磁區內,所有磁矩排成列,而其 排列方向由一磁區到另外磁域會有變化................................................12 圖 2-1-8. 通過磁區壁磁磁矩方為連續變化.............................................................13. 圖 2-1-9. 鐵性物質之磁化率與絕對溫度的關係.....................................................14. 圖 2-1-10. 鐵磁性物質之磁滯曲線...........................................................................14. 圖 2-1-11. 反鐵磁氧化之磁矩反平行排列示意圖...................................................15. 圖 2-1-12. 反鐵性物質之磁化率與絕對溫度的關係...............................................16 V.
(7) 圖 2-1-13. 亞鐵磁物質之磁矩排列示意圖...............................................................17. 圖 2-1-14. 亞鐵性物質之磁化率與絕對溫度的關係...............................................17. 圖 2-2-1 磁場由零至飽和磁化 Ms 所做之功..........................................................19 圖 2-2-2 自旋-晶格-軌道作用關係示意圖..............................................................20 圖 2-2-3 單晶之 Fe 於不晶軸之磁化曲線...............................................................21 圖 2-2-4 單晶之 Ni 於不晶軸之磁化曲線...............................................................22 圖 2-2-5. Co 的單晶晶體在不同晶軸方向之磁化曲線............................................23. 圖 2-2-6. 單軸晶體之磁區結構.................................................................................24. 治 政 大 移除外加磁場後,棒狀磁鐵內部與外部的磁力線分佈.........................26 立. 圖 2-2-7 所有可能之 K1 和 K2 值與易磁化方向關係圖..........................................25 圖 2-2-8. 橢圓球體.....................................................................................................27. 圖 2-2-9. 等向磁致伸縮單位立方體.........................................................................28. ‧ 國. 學. 圖 2-2-9. ‧. 圖 2-3-1 此圖為多層膜 Co/Pd,取自於 den Broeder et al (1991).........................29. y. Nat. 圖 2-3-2 磁性層 Co 之平均應力與其厚度關係圖...................................................30. 圖 2-4-3. er. Fe/Cr 多層膜於 4.2K 中其磁阻變化率.....................................................32. al. v i n 鐵磁性金屬與一般金屬再負米能階之電子密度圖.................................33 Ch engchi U n. 圖 2-4-2. io. 圖 2-4-1. sit. 圖 2-3-3 磁性層 Co 之應變量 λ111 與其厚度關係圖................................................30. (a)電流通過磁化方向呈平行態時;(b) 電流通過磁化方向呈反平行態. 時................................................................................................................34 圖 2-4-4. 自旋閥基本薄膜結構.................................................................................35. 圖 2-4-5 隨著 Cu 的厚度變化而呈現鐵磁耦合與反鐵磁耦合之交互震盪...........36 圖 2-4-6 自旋閥之 M-H 與 R-H 曲線.......................................................................37 圖 2-4-7. 自旋極化電流對自由層磁化方向的影響.................................................38. 圖 3-1-1. 薄膜成長之過程示意圖.............................................................................40. 圖3-1-2 成核過程,左圖剛開始有原子到達表面,還在遷移或是吸解;右圖來 越多原子抵達基板,成核機制開始形成................................................41 VI.
(8) 圖 3-1-3 薄膜成長方式,(a)層狀成長;(b)層狀與島狀混合形態;(c)島嶼成長.....42 圖 3-2-1. 一般濺鍍與磁控濺鍍示意圖.....................................................................45. 圖 3-2-2. 磁性靶材與一般靶材濺鍍鎗差異.............................................................45. 圖 3-3-1 濺鍍製程設備系統(I)圖.............................................................................46 圖 3-3-2 濺鍍製程設備系統(II)圖...........................................................................47 圖 3-5-1. Laser 定位,Profilometer 原理示意圖....................................................49. 圖 3-6-1 VSM 之示意圖...........................................................................................50 圖 3-7-1. 四點量測之導線黏接方式.........................................................................51. 圖 3-7-2. 治 政 大 Co/Pt 多層膜結構示意圖..............................................................................53 立. 圖 4-2. 利用 Co/Pt 多層膜製作三明治結構示意圖..................................................54. 學. ‧ 國. 圖 4-1. 四點量測電路接線圖.................................................................................51. 圖 4-1-1 垂直異向性(Co/Pt)多層膜結構中 Co 層厚度變化...................................55 (a) Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(3.6Å)/Pt(24Å)/Co(3.6Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測. ‧. 圖 4-1-2. y. Nat. M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水. er. io. (a) Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(4.8Å)/Pt(24Å)/Co(4.8Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測. al. v i n M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水 Ch engchi U n. 圖 4-1-3. sit. 平磁場下量測;(b)為左圖之放大............................................................56. 平磁場下量測;(b)為左圖之放大.............................................................57 圖 4-1-4. (a) Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(6Å)/Pt(24Å)/Co(6Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水 平磁場下量測;(b)為左圖之放大.............................................................58. 圖 4-1-5. (a) Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(7.2Å)/Pt(24Å)/Co(7.2Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水 平磁場下量測;(b)為左圖之放大.............................................................59. 圖 4-1-6. (a) Pt(276Å) /Pt(24Å)/Co(8.4Å)/Pt(24Å)/Co(8.4Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水 VII.
(9) 平磁場下量測;(b)為左圖之放大.............................................................60 圖 4-1-7. (a) Pt(276Å) /Pt(24Å)/Co(9.6Å)/Pt(24Å)/Co(9.6Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水 平磁場下量測;(b)為左圖之放大.............................................................61. 圖 4-1-8. (a) Pt(276Å) /Pt(24Å)/Co(10.8Å)/Pt(24Å)/Co(10.8Å)/Pt(54Å)之 VSM 量 測 M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外 加水平磁場下量測;(b)為左圖之放大.....................................................62. 圖 4-1-9. (a) Pt(276Å) /Pt(24Å)/Co(12Å)/Pt(24Å)/Co(12Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測. 治 政 大 平磁場下量測;(b)為左圖之放大.............................................................63 立 M-H curve,藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水. 圖 4-1-10 當 Co 層厚度越大,其磁化易軸傾向於平行膜面方向...........................64. ‧ 國. 學. 圖 4-1-11 (a) Pt(300Å)/Co(XÅ)/Pt(24Å)/Co(XÅ)/Pt(54Å)在外加垂直磁場量測下. ‧. 之 M-H curve;(b)則為左圖之放大.........................................................65. y. Nat. 圖 4-1-12 (a) Pt(300Å)/Co(XÅ)/Pt(24 Å)/Co(XÅ)/Pt(54Å)在外加水平磁場量測下. er. io. sit. 之 M-H curve;(b)則為左圖之放大.........................................................65 圖 4-1-13 Pt(300Å)/Co(XÅ)/Pt(24Å)/Co(XÅ)/Pt(54Å)在外加垂直磁場下,Co 層. al. n. v i n 厚度對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖....................................66 Ch engchi U. 圖 4-1-14 Pt(300Å)/Co(XÅ)/Pt(24 Å)/Co(XÅ)/Pt(54Å)在外加水平磁場下,Co 層 厚度對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖....................................67 圖 4-2-1. Pt 層厚度變化之垂直異向性結構............................................................69. 圖 4-2-2. (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(6Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測(b)則為左圖之放大...................................................................70. 圖 4-2-3. (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(12Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測(b)則為左圖之放大...................................................................71 VIII.
(10) 圖 4-2-4. (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(18Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測(b)則為左圖之放大...................................................................72. 圖 4-2-5. (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測(b)則為左圖之放大...................................................................73. 圖 4-2-6. (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(30Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁. 治 政 大 (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(36Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H 立. 場下量測(b)則為左圖之放大...................................................................74. 圖 4-2-7. curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁. ‧ 國. 學. 場下量測(b)則為左圖之放大...................................................................75 (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(ρPt)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加垂直場下之. ‧. 圖 4-2-8. io. sit. (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(ρPt)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加平行磁場下之. er. 圖 4-2-9. y. Nat. M-H curve; (b)則為左圖之放大.............................................................76. M-H curve; (b)則為左圖之放大.............................................................76. al. n. v i n Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(ρ C h )/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加垂直磁場下, engchi U. 圖 4-2-10. Pt. 厚度 ρPt 對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖.................................77 圖 4-2-11 Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(ρPt)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加水平磁場下, 厚度 ρPt 對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖.................................78 圖 4-2-12 外加垂直場量測[Co/Pt]N 多層膜之 FMR 圖...........................................79 圖 4-3-1. Bilayer(Co/Pt)層數變化之垂直異向性結構.............................................80. 圖 4-3-2. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測 ;(b)則為左圖之放大...................................................................................81. 圖 4-3-3. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*3/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍 IX.
(11) 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測 ;(b)則為左圖之放大...................................................................................82 圖 4-3-4. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*4/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測 ;(b)則為左圖之放大...................................................................................83. 圖 4-2-5. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*5/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測 ;(b)則為左圖之放大...................................................................................84. 圖 4-3-6. 治 政 大 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測 立. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*6/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍. ;(b)則為左圖之放大...................................................................................85. ‧ 國. 學. 圖 4-3-7. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*7/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍. ‧. 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測. io. y. sit. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*8/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍. er. 圖 4-3-8. Nat. ;(b)則為左圖之放大...................................................................................86. 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測. al. n. v i n ;(b)則為左圖之放大..................................................................................87 Ch engchi U. 圖 4-3-9. (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*9/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍 色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量測. ;(b)則為左圖之放大..................................................................................88 圖 4-3-10 (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*10/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve; 藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量 測;(b)則為左圖之放大.............................................................................89 圖 4-2-11 (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*11/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve; 藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁場下量 測;(b)則為左圖之放大............................................................................90 X.
(12) 圖 4-3-12 (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*N/Pt(54Å)在外加垂直磁場下之 M-H curve; (b)則為左圖之放大...........................................................91 圖 4-3-13 (a) Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*N/Pt(54Å)在外加水平磁場下之 M-H curve; (b)則為左圖之放大...........................................................91 圖 4-3-14 Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*N/Pt(54Å)在外加垂直磁場下,Bilayer 層數對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖......................................92 圖 4-3-15 Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*N/Pt(54Å)在外加水平磁場下,Bilayer 層數對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖......................................93. 治 政 大 緩衝層(Buffer layer) 厚度變化之垂直異向性結構.................................96 立. 圖 4-3-16 Bilayer 層數變化與內部磁區結構關係圖..............................................94. 圖 4-4-2. (a) Pt(0Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. 學. ‧ 國. 圖 4-4-1. curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁. (a) Pt(30Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. y. Nat. 圖 4-4-3. ‧. 場下量測;(b)則為左圖之放大.................................................................97. er. io. sit. curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測;(b)則為左圖之放大.................................................................98. al. n. v i n (a) Pt(60Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H Ch engchi U. 圖 4-4-4. curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測;(b)則為左圖之放大.................................................................99. 圖 4-4-5. (a) Pt(120Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測;(b)則為左圖之放大...............................................................100. 圖 4-4-6. (a) Pt(240Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測;(b)則為左圖之放大...............................................................101. 圖 4-4-7. (a) Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H XI.
(13) curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測;(b)則為左圖之放大...............................................................102 圖 4-4-8. (a) Pt(480Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve;藍色曲線為在外加垂直磁場下量測,黑色曲線則為外加水平磁 場下量測;(b)則為左圖之放大...............................................................103. 圖 4-4-9. (a) Pt(XÅ)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加垂直磁場下 之 M-H curve; (b)則為左圖之放大.......................................................104. 圖 4-4-10 (a) Pt(XÅ)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加水平磁場下. 治 政 大 Pt(XÅ)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加垂直磁場下, 立. 之 M-H curve; (b)則為左圖之放大.....................................................104. 圖 4-4-11. 緩衝層 Pt 厚度變化對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖..........105. ‧ 國. 學. 圖 4-4-12 Pt(XÅ)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)在外加水平磁場下,. ‧. 緩衝層 Pt 厚度變化對(a)矯頑場(b)飽和磁化量(c)方正性作圖..........106. y. Nat. 圖 4-5-1 間隔層(Spacer)厚度變化之垂直異向性巨磁阻結構.............................108. 圖 4-5-3. (a) Spacer 為 48 Å 時,M-H curve 與 R-H curve 之比較;. 圖 4-6-1. Bilayer(Co/Pt)層數變化之垂直式巨磁阻結構.......................................115. 圖 4-6-2. (a) 量測 R-H curve 之接法;(b) 量測 EHE 之接法...............................116. 圖 4-6-3. Pt(180A)/[Pt(6A)/Co(5A)]1/Pt(60A)/[Pt(6A)/Co(5A)]N/Pt(30A), (a)-(d)為. er. sit. (a)-(k)為不同 Spacer 厚度之 M-H curve..................................................112. io. 圖 4-5-2. al. n. v i n (b) Spacer 為 78 Å 時C ,M-H curve 與 R-H curve 之比較..........................113 hengchi U. M-H curve;(e)-(h)為 EHE 量測結果......................................................117 圖 4-6-4. (a) Pt(180A)/[Pt(6A)/Co(5A)]1/Pt(60A)/[Pt(6A)/Co(5A)]N/Pt(30A)於外加 垂直磁場量測下之 M-H curve; (b)則為左圖之放大...........................118. 圖 4-6-5. (a) Pt(180A)/[Pt(6A)/Co(5A)]1/Pt(60A)/[Pt(6A)/Co(5A)]N/Pt(30A) 於外 加垂直磁場量測下之 EHE curve; (b)則為左圖之放大.......................118. 圖 4-6-6. Pt(180A)/[Pt(6A)/Co(5A)]1/Pt(60A)/[Pt(6A)/Co(5A)]3/Pt(30A)於外加垂 XII.
(14) 直磁場量測下之 M-H curve 與 R-H curve..............................................119 圖 4-7-1. Pt(180Å)/[Pt(48 Å)/Co(4.8Å)]3/Pt(60 Å)/[Pt(XÅ)/Co(4.8Å)]3, (a)-(d)為 M-H curve;(e)-(h)為 EHE 量測結果......................................................122. 圖 4-8-1 Buffer 厚度變化之垂直式巨磁阻結構....................................................123 圖 4-8-2 Buffer 厚度變化之垂直式巨磁阻結構....................................................124 圖 4-8-3. Pt(XÅ)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]1/Pt(60Å)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]3/Pt(30Å) 在外加垂直 磁場量測下之 M-H curve. ......................................................................125. 圖 4-8-4. Pt(XÅ)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]1/Pt(60Å)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]3/Pt(30Å) 在外加垂直. 圖 4-8-5. 治 政 大 /Pt(30Å) 在外加垂直 Pt(XÅ)/[Pt(6Å)/Co(5Å)] /Pt(60Å)/[Pt(6Å)/Co(5Å)] 立. 磁場量測下之 EHE curve. ......................................................................126 3. 1. 磁場量測下之 M-H curve. ......................................................................128. ‧ 國. 學. 圖 4-8-6. Pt(XÅ)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]3/Pt(60Å)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]1/Pt(30Å) 在外加垂直. Pt(60Å)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]1/Pt(60Å)/[Pt(6Å)/Co(5Å)]3/Pt(30Å)之 R-H 關. y. Nat. io. sit. 係. ............................................................................................................130. n. al. er. 圖 4-8-7. ‧. 磁場量測下之 EHE curve. ......................................................................129. Ch. engchi. XIII. i n U. v.
(15) 表目錄 表 2-2-1 於立方晶體中,不同方向上之磁晶異向能.............................................21 表 2-2-2 立方晶磁化難易方向與 K1、K2 之關係...................................................23 表 4-1-1. Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(3.6Å)/Pt(24Å)/Co(3.6Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品 尺寸大小資料............................................................................................56. 表 4-1-2. 政 治 大 curve 的矯頑場立 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品. Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(4.8Å)/Pt(24Å)/Co(4.8Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. ‧ 國. 表 4-1-3. 學. 尺寸大小資料............................................................................................57 Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(6Å)/Pt(24Å)/Co(6Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. ‧. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品. y. sit. al. er. Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(7.2Å)/Pt(24Å)/Co(7.2Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. io. 表 4-1-4. Nat. 尺寸大小資料............................................................................................58. v. n. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品. Ch. engchi. i n U. 尺寸大小資料............................................................................................59 表 4-1-5. Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(8.4Å)/Pt(24Å)/Co(8.4Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品 尺寸大小資料............................................................................................60. 表 4-1-6. Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(9.6Å)/Pt(24Å)/Co(9.6Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品 尺寸大小資料............................................................................................61. 表 4-1-7. Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(10.8Å)/Pt(24Å)/Co(10.8Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms XIV.
(16) 及樣品尺寸大小資料................................................................................62 表 4-1-8. Pt(276Å)/Pt(24Å)/Co(12Å)/Pt(24Å)/Co(12Å)/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品 尺寸大小資料............................................................................................63. 表 4-2-1. Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(6Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣 品尺寸大小資料........................................................................................70. 表 4-2-2. Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(12Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. 治 政 大 品尺寸大小資料........................................................................................71 立. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣. Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(18Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. 學. ‧ 國. 表 4-2-3. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣. Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. y. Nat. 表 4-2-4. ‧. 品尺寸大小資料........................................................................................72. er. io. sit. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣 品尺寸大小資料........................................................................................73. al. n. v i n Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(30Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H Ch engchi U. 表 4-2-5. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣 品尺寸大小資料........................................................................................74. 表 4-2-6. Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(36Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣 品尺寸大小資料........................................................................................75. 表 4-3-1. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資 料................................................................................................................81. 表 4-3-2. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*3/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑 XV.
(17) 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資 料.. .............................................................................................................82 表 4-3-3. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*4/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資 料................................................................................................................83. 表 4-2-4. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*5/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資 料................................................................................................................84. 表 4-3-5. 治 政 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ大 = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資 立. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*6/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑. 料................................................................................................................85. ‧ 國. 學. 表 4-3-6. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*7/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑. ‧. 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資. io. y. sit. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*8/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑. er. 表 4-3-7. Nat. 料................................................................................................................86. 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資. al. n. v i n 料................................................................................................................87 Ch engchi U. 表 4-3-8. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*9/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑 場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小資 料................................................................................................................88. 表 4-3-9. Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*10/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯 頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小 資料............................................................................................................89. 表 4-2-10 Pt(276Å) /[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*11/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯 頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸大小 資料............................................................................................................90 XVI.
(18) 表 4-4-1. Pt(0Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸 大小資料....................................................................................................97. 表 4-4-2. Pt(30Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸 大小資料....................................................................................................98. 表 4-4-3. Pt(60Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣品尺寸. 治 政 大 VSM 量測 M-H Pt(120Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 立. 大小資料....................................................................................................99. 表 4-4-4. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣. ‧ 國. 學. 品尺寸大小資料......................................................................................100 Pt(240Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. ‧. 表 4-4-5. y. Nat. curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣. er. io. Pt(300Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H. al. v i n curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣 Ch engchi U n. 表 4-4-6. sit. 品尺寸大小資料......................................................................................101. 品尺寸大小資料......................................................................................102 表 4-4-7. Pt(480Å)/Co(4.8Å)/[Pt(24Å)/Co(4.8Å)]*2/Pt(54Å)之 VSM 量測 M-H curve 的矯頑場 Hc、飽和磁化量 Ms、殘磁化量 Mr、γ = Mr/Ms 及樣 品尺寸大小資料......................................................................................103. XVII.
(19) ಃക ᆣፕ 1-1 ჴᡍᐒ. ΒΜШइаٰࣽזޑמೲᆶႝတၗૻࣽᏢวԖஏόёϩϐᜢ߯Ǵҗ ࢂځӧၗᓯӸ൞ϟޔόᘐԖख़εϐँઇǴ೭٤ख़εँઇёᘜфܭᅶ܄ ޑวǴ܌аࣴวଯஏࡋЪᛙۓϐᓯӸ൞ϟࢂѸฅޑঁᖿ༈Ƕӣ៝а۳ޑᅶ܄ ޑวўǴёவന߃ޑᅶߔਏᔈ(Magneto-resistance, MR )วᇥଆǴᅶߔ. 政 治 大 ᢀჸ៓ᙻکߎឦޑႝߔॶǴวӵ݀ࢬၸ៓ޑᙻکႝࢬБӛᆶᅶБӛठޑ 立. ೭Ӝຒࢂܭ1987ԃम୯ޑ໒ᅟЎᏌᕄ(চӜ࠶༹·෯ۅහ)ӧԖѦуᅶᡂϯΠǴ. ‧ 國. 學. ၉Ǵ៓ᙻکϐႝߔॶᡂλǹӵ݀ႝࢬБӛᆶᅶࠟޑޔ၉Ǵٗሶႝߔ൩ቚεǴ Ⴝ೭ᅿᒿࡼуᅶБӛԶᡂϯځႝߔॶޑຝᆀࣁ౦ӛ܄ᅶߔȐAnisotropic. ‧. magnetoresistance, AMRȑǶႽࢂа۳܌٬Ҕᒵॣࢂ܈եஏࡋᅶइᒵ൞ᡏޑ᠐. sit. y. Nat. ڗགᔈԄᅶᓐаϷR. P. HuntΓ[1]ܭ1971ԃճҔ៓ᙻӝߎ(Permalloy)рᅶ. al. er. io. ߔ᠐ڗᓐȐMagneto-resistive HeadȑǴ֡௦Ҕ౦ӛ܄ᅶߔਏᔈǴՠӢࣁӧᅶբ. v. n. ҔΠځႝߔॶޑᡂϯ೯தϟӧ1%ډ3%ϐ໔Ǵ܌аज़ڋΑ۳ၨଯஏࡋᅶइᒵ᠐ ޑڗวǶ. Ch. engchi. i n U. ډޔ1988ԃҗݤ୯ނᏢৎߓᅟنǷᅟ(Albert Fert)ᆶቺ୯ނᏢৎ۶ளǷ ݅نᅟ(Peter Gruenberg)ϩձӧեྕᕉნΠϐ៓/ሐӭቫጢسኬࠔύวΑ Ѯᅶߔ(Giant magnetoresistance, GMR)ਏᔈ[2][3]ǴԜຝޑวΨསҢԾႝ ηᏢٰډޑǶԶߓᅟنǷᅟਔวޑѮᅶߔਏᔈຝǴᗨฅڀԖଯၲ50%ޑ ᅶߔᡂϯǴόၸࢂӧᇻեޑྕ࠻ܭեྕᕉნΠωૈᢀჸளډǴԶ҅ᏤठѮᅶ ߔँޑઇ܄ᔈҔǴ߾ᔈӣਝܭ1994ԃǴ୯ሞᐒᏔԖज़ϦȐInternationalBusiness Machines CorporationǴIBMȑޑՏπำৣǴථკᅟ·(ߎۦStuart Parkin)วΑ ᇙբೌמǴྕ࠻ܭΠჴΑѮᅶߔਏᔈǴЪёӧၨλᅶΠ൩ૈڀഢଯ௵ 1.
(20) གᅶߔᡂϯǴ٬ளѮᅶߔਏᔈၮҔܭଯஏࡋᅶᒵ᠐ڗᅶᓐǴԜࡕߡԖ׳ӭޑ ࣴزΕܭᅶߔޑᔈҔǴ٠ܭ1997 ԃIBM҅ԄрϯౢࠔࡕǴճҔѮᅶ ߔਏᔈᇙբޑ᠐ቪᓐΨࡐזӦᡂԋࣁฯᅷسޑྗଛഢǴѮᅶߔ᠐ڗᓐε൯ග ϲฯᅷޑᓯӸૈ܄ǴӵϞฯᅷໆςၲډԭGbit/in2аǶ வന߃ޑѮᅶߔޑวډParkinΓࣴزӚᅿόӕ៓ᅶߎ܄ឦᆶځд ߎឦϐፄӝ[4][5]کว߄ޑԾሚ่ᄬǴࢂࣁΑගଯځᔈҔ܄Ǵ܌аӧׯ ่ؼᄬಔԋ໒ۈᡉளख़ाǴࢂܭӧ1995ԃMooderaΓගрёε൯ගϲᅶߔᡂ ϯޑᅶऀᒾϟय़(MagneticTunneling JunctionǴMTJ)่ᄬǴЬाஒѮᅶߔਏᔈϐ. 治 政 大 TMR)ਏᔈ[6]ǶࣗԿډவচӃሡाճҔᅶٰᙌᙯᅶޑ᠐ڗᐒڋǴԶᄽᡂࣁ 立. ่ᄬύߚᅶߎ܄ឦቫҗ๊ጔቫжඹǴԶౢғऀᒾᅶߔ(Tunnel MagnetoresistanceǴ. ޔௗаႝࢬБԄٰ០ᅶᙌᙯǴ೭൩ࢂ܌ᒏޑԾᒡᙌᙯᐒ(ڋspin-transfer. ‧ 國. 學. switch)ǴՠԜᐒڋҞۘԖٿεᜤᚒँઇǴϩձࢂቪΕႝࢬஏࡋ(Current density). ‧. ሡफ़Կ1x106A/cm2аΠکගଯ᠐ૻڗဦаቚу᠐ڗೲࡋǶࣁΑլܺаϐᜤᚒǴ. io. er. ගଯǴӢԶၲԋफ़եᙌᙯႝࢬஏࡋҞ[ޑ7]Ƕ. sit. y. Nat. ςԖࣴزი໗ගрճҔΓπϸ៓ᅶቫжඹԾҗቫǴஒё٬ԾႝηࢬཱུϯК. а௶܌ॊϐճҔѮᅶߔਏᔈ܌ளޑډϡҹϣϐ៓ᅶቫᅶϯБӛࣣࣁѳՉ. al. n. v i n ጢय़(In plane)Ǵ٠ӧᒿਔ໔ว߈යΨၶډঁख़εޑᓍǴϡҹЁκຫຫ Ch engchi U λਔܰԋ࠾ഈᅶϐຝǴջϡҹϣϐ៓ᅶቫԋ෮ރᅶ(Vortex. structure)Ǵӵკ2-1-1܌ҢǴԋόᛙޑۓϸᙯǴԜୢᚒޑౢғߡԖࣴزი໗ග рճҔރ౦ӛࢂ܈܄ᙖҗRKKYਏᔈᇙբΓπϸ៓ᅶቫٰլܺԜୢᚒǴΨԖࣴ زი໗གྷᙖׯᡂᖓጢ่ᄬکᅶ܄ϩǴႽࢂHideaki Fukuzawa[8]ǵ Chunghee Nam[9]کXilin Peng[10]Γࣣගраႝࢬ߳ज़ٰۺཷޑගϲᅶߔᡂϯ ǹՠׯ๓ำࡋ٠ߚӵႣය܌གྷǶ җ߈ܭ൳ԃٰǴӭࣴزი໗วӧႃ/⑵(Co/Pd)ǵႃ/ႌ(Co/Pt)Ϸ⯐/៓ (Tb/Fe)ǴڀഢΑόᒱޔࠟޑ౦ӛ(܄Perpendicular anositropy)ϐ܄Ǵ܌аᆶ ځी٤ፄᚇ่ޑᄬБݤှ،࠾ഈᅶୢᚒǴډόӵஒа۳ᒧҔϐᅶϯБӛࣁ 2.
(21) ѳՉጢय़៓ޑᅶቫׯҔᅶϯБӛࣁࠟޔጢय़(Out of plane)៓ޑᅶቫٰڗжǴԜό ёֹׯӄׯ๓࠾ഈᅶୢᚒǴӢࠟޔ౦ӛ܄ϐ៓ᅶቫܭԛ༾ԯЁࡋΠࣁൂᅶ (Single domain)Ǵӵკ2-1-1܌ҢǹЪӧԾᒡᙌᙯᐒڋǴΨ൩ࢂԖշܭफ़ եаႝࢬБԄٰ០ᅶᙌᙯϐႝࢬஏࡋǶ. 政 治 大. 立. ‧. ‧ 國. 學. n. er. io. sit. y. Nat. al. კ2-1-1. Ch. engchi. i n U. v. (a)ࣁNiFeᖓጢᙌᙯਔ܌ౢғvortex structureޑMFMቹႽკǹ(b)ࣁόӕ ЁκGd/FeCoࠟޔ౦ӛ܄ᖓጢϸᙌᙯޑMFMቹႽკǴკύ٠ؒԖౢғ vortex structure [11]. 3.
(22) 1-2 ࠟޔ౦ӛ܄ᐕўᙁϟ. ߈൳ΜԃٰҗܭຬଯזޑೌמޜೲวϷԋዕǴ٬ளᖓጢࠆࡋёຫຫᖓǴ ܌аӧᅶ܄ӭቫጢ่ᄬزࣴޑΨຫٰຫӭǴځύԖঁߐϐࣴزჹຝǴջࣁ Co/Pt ӭቫጢ่ᄬǴӢࣁԜ่ᄬڀԖࡐӳޔࠟޑ౦ӛ܄ϐނ܄፦Ǵ٠ЪԜނ ܄፦ԖࡐଯޑᔈҔሽॶӸӧǴ܌аӧԜӃჹԜނ܄፦ޑᐕўวբঁᙁൂޑ ϟಏǶ ܭӧ 1954 ԃ N’eel ගрΑᅿ܌҂Ԗޑᢀ[ۺ12]Ǵࡰрᖓጢ໔ϐ߄य़ࢂ܈. 治 政 大 όӕޑᅶ౦ӛ܄ӸӧǴ٠ஒ߄य़ࢂ܈ϟय़ߕ߈ౢғϐᅶ౦ӛ܄ᆀϟय़౦ӛ܄ 立 ϟय़ߕ߈ޑჹᆀ܄ᇻեܭ༧ϣǴ܌аᇡࣁ߄य़ࢂ܈ϟय़ߕ߈ᔈ၀Ԗᆶ༧. (Interface anisotropy)߄ࢂޣ܈य़౦ӛ(܄Surface anisotropy)ǴਔԜᅿᢀۺ٠҂ӧ. ‧ 國. 學. ჴᡍࢂ܈ԾฅࣚύวǶ. ‧. Զ҅ܭჴᡍวǴਔ໔ࢂӧ N’eel ගр 14 ԃࡕǴҗ Gradmann کMullern. y. Nat. ܭБӛࣁ(111)ޑልԋߏ NiFe ᖓጢ[13]Ǵдॺว NiFe ᖓጢᖓԿ 1.8 ঁ. er. io. sit. চηࠆࡋਔǴᖓጢϐܰືவচٰѳՉጢय़Бӛᙯԋࠟޔጢय़ޑБӛǴ٠ෳрԖ ᅿᅶ౦ӛ܄ᆶᖓጢࠆࡋԖ࣬ϕޑᜢ߯Ƕ ډޔ1985 ԃࠟޔ౦ӛ܄ωܭӭቫጢ. al. n. v i n ύวǴࢂҗ Carcia ճҔᘢᗓБԄ܌ԋߏسӈ Co/Pd ϐӭቫጢ[14]Ǵ٠ൂᐱ Ch engchi U. ᡂϯ Co ϐࠆࡋ Ǵ٠ว Co ࠆࡋࡐᖓ(λ ܭ8)ਔǴCo/Pd ӭቫጢϐᅶϯܰື வচҁޑѳՉጢय़(In plane)Бӛᙯᡂԋࠟޔጢय़Бӛ(Out of plane)ǴԜຝᆶ Gradmann کMullern ӧ 1968 ԃϐෳόᒉԶӝǴკ 1-2-1 ԜკڗԾ ܭCarcia ፕ ЎǴёమཱҗ VSM ໆෳϐ M-H ղᘐືܰځϐБӛǴ٠ှញԜຝϐচ. ёૈࢂ៓ᅶቫᆶߚᅶ܄ቫޑϟय़ԋჹᆀ܄ઇᚯǴ߄य़౦ӛૈ٬ளᅶંӛ ޔࠟܭБӛǴ کN’eel ܭ1954 ԃ܌ගᢀۺႜӕǶ٠ӧᒿࡕ൳ԃ໔Ǵഌុӧӭ όӕޑӭቫጢύΨวΑࠟޔ౦ӛ܄ǴႽࢂ 1988 ԃ Carcia ܭCo/Pt ӭቫጢ ύ[15]ǵden Broeder ܭCo/Au ӭቫጢύϷ 1991 ԃ Sakurai ܭCo/Ru ӭቫጢύǵ den Broeder ܭCo/Ir ӭቫጢύǶ 4.
(23) 立. 政 治 大. ‧ 國. 學. კ 1-2-1 όӕ Co ቫࠆࡋϐ Co/Pd ӭቫጢ VSM ໆෳ่݀Ǵځύჴጕϩࣁࠟޔ ጢय़уᅶǴጕϩࣁѳՉጢय़уᅶ[14]. ‧ y. Nat. sit. ܭӭቫጢύวࠟޔ౦ӛࡕ܄ǴΜ൳ԃ໔٠҂ӆჹԜ܄፦рձϐࣴزǴ. n. al. er. io. ډޔ2006 ԃǴS. Mangin[16]ΓрಃঁڀԖࠟܰޔӛ܄ϐ GMR ٠ว߄ܭ. i n U. v. Nature Materials යтǴ ځGMR ่ᄬࢂЬाҗ Co/Ni ӭቫጢ کCo/Pt ӭቫጢǴ. Ch. engchi. ӵკ 1-1-3 ܌ҢǴᙖҗᡂϯጢቫࠆࡋϷ Bilayer ኧҞԋᕖႤϐৡ౦Ǵϩձۓ ကрᜪԾሚύ(Pseudo-spin valve)ϐԾҗቫۓڰکቫǶ. კ 1-2-2 ࠟޔԄԾሚ่ᄬ[16] 5.
(24) ନΑॊϐӭቫጢࠟޔ౦ӛ܄Ǵ߈ԃٰΨԖӭჴᡍი໗ճҔ CoPt ӝߎٰ ڗж Co/Pt ϐӭቫጢ่ᄬǴЬाӢ CoPt ӝߎڀӭᡂޑᡏ่ᄬǴԖׇϐ CoPt ӝ ߎᖓጢӧࢌ٤य़БӛڀԖ ABAB ࢂ܈ABCABC ϐԾฅຬ่ᄬǴԶЪຬ ຼයϣϐ៓ᅶቫ Co ࠆࡋёၲډঁচηቫࡋࠆޑǴӢԜႣයԖߚதӳޑ ࠟޔ౦ӛ܄ǴԶ CoPt ӝߎЬाԋ L10 ϐ่࣬ᄬǶ. 立. 政 治 大. ‧. ‧ 國. 學. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. 6. i n U. v.
(25) ಃΒക চϟಏᆶЎӣ៝ 2-1 ᅶނ܄፦ᙁϟ[17,18]. ނ፦ϐ܌аԖᅶ܄ǴவѮᢀٰ࣮ࢂҗނܭ፦ϣϐᅶં௨ӈϷځҬϕբҔ ่݀ޑǴԶவ༾ᢀٰ߾ࡋفԾܭႝηᆶচηਡ໔ϐ࣬ჹၮ܌ԋޑǴᅶٰޑ܄ ྍЬाࢂҗᅶં܌ԋǴЪᅶંёж߄ࢂނ፦ޑᅶ܄ம১ǶԶᅶંԖΟঁЬा ྍٰޑϩձࣁ:. 立. (1)ႝηჹԾືޑԾၮ. 政 治 大. ‧ 國. 學. ԜᅿӢԾౢғϐᅶં൩ᆀࣁႝηԾંǴࡼаѦуᅶբҔ ਔǴ ႝηԾંѝёૈᆶॉၰᅶંБӛԋѳՉࢂ܈ϸѳՉǶܭკ 2-1-1. ‧. ܌ҢǶ. sit. y. Nat. (2)ႝηᙅচηਡޑॉၰၮ. al. er. io. চηύႝηᙅځচηਡॉၰၮǴΨౢғॉၰᅶંǴკ 2-1-1. v. n. ǴႝηԾંाКႝηॉၰᅶંٰளεǴЬा ܌ҢǶӧӭڰᄊނ፦ύǴ. Ch. engchi. i n U. ӢનࢂҗܭႝηᙅচηਡॉၰၮډڙᡏϣޑբҔቹៜǴ ځᅶંБӛࢂׯډڙᡂޑǴӢԶคݤԋᅶંǴᏤठჹѦؒԖᅶ ંǹ܌аჹڰܭᄊނ፦ϐᅶંٰྍǴЬाޑଅࣁႝηޑԾǶ (3)ډڙѦуᅶགᔈࡕޑॉၰંޑᡂϯ ႝηᙅځচηਡၮѿډڙѦуᅶբҔਔǴჹচӃ҂уᅶ ϐၮޑႝηౢғϸӛΚǴ٬ளႝηᙅচηਡॉၰၮᓎஒ ׯډڙᡂǴջႝηޑᙯೲΠफ़٠ځᅶଽཱུᡂλǹ܌аԖѦуᅶϟ ΕႝηॉၰၮسਔǴౢғϸӛᅶંǶ. 7.
(26) 政 治 大. კ 2-1--1 ॉၰ ၰႝηکԾ Ծႝηϐ ϐᅶΚં. 立. ‧ 國. 學. ނ፦ܭѦуᅶ H ਔǴځ ځᅶϯமࡋ M ᒿѦ Ѧуᅶ H วғᡂϯǶҗ ޣϐ໔ޑᜢ߯ёа߄Ң Ңԋ =M/H H ϐԄ Ǵځύ ࣁނ ނ፦ൂՏ Տᡏᑈޑᅶϯ ϯ ޣٿ. ‧. (maagnetic suscceptibility)Ǵж߄ނࢂޑ ނ፦ᅶϯᜤ ᜤܰޑำࡋǶஒނ፦٩ ٩ྣځᅶϯ ޑ. sit. y. Nat. ελ λϷ಄ဦόӕٰуа ϩǴεཷ ཷёϩԋΠӈ ӈ൳ᜪǺᅶ(܄param magnetism)ǵϸ. al. n. ٥៓ ៓ᅶ(܄ferriimagnetism m)Ƕ. er. io. ᅶ܄ (܄diamagneetism)ǵ៓ᅶ ᅶ(܄ferrom magnetism)ǵϸ៓ᅶ܄ (܄antiferrom magnetism)а аϷ. Ch. engchi. i n U. v. ᅶ܄ (1) ނ፦ܭѦуᅶբ բҔΠਔǴނ ނ፦ϣᅶ ᅶંරѦуᅶБ Бӛ௨ӈǴ ԋ р༾ ༾১҅ޑᅶϯޣǴᆀ ᆀࣁᅶނ܄ ނ፦(param magnetic)Ǵ೭ ೭ᅿᅶϯਏ ਏᔈᆀࣁᅶ ᅶ܄ (parramagnetism m)Ǵӵკ 2-1-2 2 ܌ҢǶ Ƕނ፦ᅶ܄ਏᔈܭѦ Ѧуᅶ౽ ౽ନࡕǴਏᔈ ᔈ൩ ѨǶᅶ܄ ނ܄፦ӧ࠻ ࠻ྕਔϐᅶϯ ϯጄൎࣚ ࣚӧ 10-2~100-6 ϐ໔Ƕ ᅶࢂྍٰ܄ ࢂڙ ډѦ ѦуᅶբҔޑচη܈ ܈ϩηޑᅶ ᅶଽཱུંǴԖ Ԗೕࡓ௨ӈԶౢғǴฅ ฅԶᅶଽཱུં ંޑ Бӛ ӛठ܄ ډڙᘋ ቹៜǴ܌аྕࡋග ගଯਔǴᅶϯ ϯ Ȥ ൩ຫ ຫեǴᜢ߯ё ё߄ Ңԋ ԋ 8.
(27) F. C T. (Ԅ 2-1-1). ԜԄ Ԅࣁۚᘶ(ࡓۓCuries law)ǴC l ࣁۚٚதኧǴ Ǵӵკ 2-1-33Ƕ. 立. 政 治 大. ‧. ‧ 國. 學. ނ፦ӧคѦу уᅶᆶԖ ԖѦуᅶΠ Πϐচηᅶ ᅶᚈཱུಔᄊ კ 2-1-2 ᅶނ܄. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-1-3 ᅶނ܄ ނ፦ϐᅶϯ ᆶ๊ჹྕ ྕࡋޑᜢ߯. (2) ϸᅶ܄ ԛ(Lens)ࡓۓ ࡓӢѦуᅶ ޑբҔ٬ ٬ளচηϣ ॉၰၮ ޑႝηډڙ ډ ٩Ᏽհԛ ༾ޑቹៜǴӢԶӧচη ηϣགᔈрঁБӛ ӛᆶѦуᅶ ࣬ϸޑλ λᅶଽཱུǴ೭ ೭ᅿ ᇸ༾ ౢғ ғ࣬ϸᅶ ޑਏᔈᆀࣁ ࣁϸᅶ(܄diiamagnetism m)Ǵკ 2-1--4 ܌ҢǶϸ ϸᅶ܄ౢғॄ ॄϐ 9.
(28) ᅶϯ ϯ ऊࣁ 10-6Ǵҭឦ ឦܭᅿ১ᅶ ᅶ܄Ǵϸᅶ ᅶ܄วғӧ܌ ܌Ԗނ፦ύ ύǴόၸεӭ ӭኧ ނ፦ ፦҅ޑᅶϯ ϯਏᔈਏεܭ ځܭϸᅶϯ ϯਏᔈǶϸᅶ ᅶނ܄፦ޑᅶ ᅶϯό ᒿ๊ჹྕࡋ ࡋ ϲ܈ ܈Πफ़ԶᡂϯǴӵკ 2-1-5Ƕ 2. 立. 政 治 大. ‧ 國. 學. 2 ϸᅶ ᅶނ܄፦ӆԖคуᅶ کԖѦуᅶΠϐচ চηᅶᚈཱུ ཱུಔᄊǴӧค คѦ კ 2-1-4. ‧. уᅶ ᅶǴคᚈ ᚈཱུӸӧǹӆ ӆрѦу уᅶǴᚈཱུ ཱུౢғ٠ᆶ ᆶѦуᅶБ Бӛ. n. al. er. io. sit. y. Nat. ௨ӈ ӈԋ࣬ϸБ Бӛ. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-1-55 ϸނ܄፦ ፦ϐᅶϯ ᆶ๊ჹྕࡋ ࡋޑᜢ߯. 10.
(29) (3) ៓ᅶ(܄ferrromagnetissm) ࢌ٤ߎឦӧคѦуᅶ ᅶϐΠڀ ڀԖԾว܄ᅶ ᅶંǴ೭٤ ٤ࢂ៓ᅶ(܄ferromagneetism m)ቻǴڀ ڀԖ៓ᅶ܄ ቻނޑ፦ ፦Ԗၸߎឦ ឦ ޑFeǵCo C ǵNi ีک ีβߎឦ ޑGd Ǵ Ǵځᅶϯ ελऊӧ ӧ 105~106 ኧໆભǴځ ኧ ځኧॶᇻεځ ځдᜪᅶ܄ ܄Ƕ. 立. 政 治 大. ‧ 國. 學. 2 ៓ᅶ ᅶނ፦ځচηᅶᚈཱུӅ Ӆӕ௨ӈϐ ϐҢཀკǴԜ Ԝᅿ௨ӈջ٬ӧคѦу уᅶ კ 2-1-6. ‧. ϐ ϐΠҭஒӸ Ӹӧ. sit. y. Nat. al. er. io. ܄ᅶંٰԾܭচηᅶં ંǴԶᅶંޑ ៓ࣁྍٰޑ ៓ᅶނ܄፦ϣ ϣႝ ៓ᅶނ܄፦ϐԾว܄. v. n. η่ ่ᄬԋ҂ ҂ܢϐႝ ႝηԾં ંޑଅکॉ ॉၰᅶંޑ ޑଅǴՠॉ ॉၰᅶંޑଅ ଅ. Ch. engchi. i n U. ࣬ၨ ၨႝηԾ ંޑଅࢂ ࢂλࡐӭޑǶନԜϐѦ ѦǴӧ៓ᅶ܄ ނ܄፦ύǴႝηౢғޑ ޑԾ ว܄ ܄ᅶં໔ڀ ڀԖҬඤΚ(E Exchange force) fo բҔǴ٬۶Ԝϐ໔ ໔࣬ϕ״ᑛ ᑛЪරӛӕ Б ӛ௨ ௨ӈǴӵკ 2-1-6 ܌Ң ҢǴ೭٤࣬ϕ ϕጠӝբҔ Ҕϐނᐒڋ ڋԾϞۘ҂ ҂ֹӄܴᕕǴՠ ᇡࣁଆӢྍԾ៓ܭᅶ ᅶނ܄፦ϣޑႝη่ ่ᄬԖᜢǶ Զ܌ᒏҬඤΚૈځໆ ໆᆶ࣬ᎃႝ ႝηԾБӛ ӛ֨فԖᜢǴёа߄Ң ҢࣁΠӈኧ ኧᏢ Ԅ: Eex e. 2¦ JijjSiSj. 2 JexxS 2 ¦ cos Iijj. (Ԅ 2-1 1-2). ύ Jex ࣁҬඤ ඤᑈϩதኧ((Exchange integral)ǴS ࣁႝηԾ ԾفໆǴ I ij ࣁ࣬ٿ ࣬ᎃ ځύ 11.
(30) ႝη ηԾفໆϐ֨فǴ࣬ٿᎃႝ ႝηԾБ Бӛ֨ فI ij ࣁ 90°ள ளډനᛙޑۓ ރޑ ᄊǴ Ǵ܌аҬඤ ඤૈ០٬ٿ ࣬ٿᎃႝη ηԾБӛѳ ѳՉ௨ӈǶ. 立. 政 治 大. ‧. ‧ 國. 學. კ 2-1-7 2 ӧ៓ ៓ᅶނ܄፦ύᅶҢཀ ཀკǶӧঁᅶϣǴ Ǵ܌Ԗᅶં ં௨ԋӈǴԶ Զځ. y. Nat. n. er. io. al. sit. ௨ӈ ӈБӛҗᅶډќѦ ѦᅶୱԖᡂϯ. i n U. v. җ៓ܭᅶނ܄፦ҁي يϣԖѐ ѐᅶૈ(Demaagnetized energy) e ޑӸ ӸӧǴࣁΑ෧ ෧Ͽ. Ch. engchi. ځѐ ѐᅶૈϣ ԋӭঁ ঁᅶ(Dom main)Ǵ࣬ᎃ ᎃᅶᅶ ᅶᏛ(Dom main wall)܌ϩ ܌ ໒ Ǵӵკ 2-1-7 کკ 2-11-8 ܌ҢǴԶ Զӭঁᅶ ஒаคׇϩ ϩթ٬ᕴᅶ ᅶંࣁ႟Ǵࡺ ࡺ ៓ᅶ܄ ނ܄፦ࣁѐᅶ ᅶރᄊǶᒿޣ ޣѦуᅶ ᡂεਔǴ ঁᅶ ޑᅶં ᅌ ᙯԿ ԿᆶѦуᅶϐБӛЪ ЪᆶѦуᅶ ᅶӕБӛޑ ޑᅶΨᒿ ᒿϐቚεǴӧ ӧ೭ᅶϯၸำ ำύ ᕴᡏ ᡏᅶϯமࡋ ࡋ(Magnetizaation)ຫᡂ ᡂຫεǴޔ ډޔࡕॶۓ ࡕ൩όӧׯ ׯᡂǴԜॶջ ջࣁ Ⴋک کᅶϯໆ(Saaturation magnetization m n)ǶႫکᅶ ᅶϯໆܭ চηృ ృᅶં܌کр р চη ηঁኧ४ᑈǴჹ៓ঁ ៓ǵႃᙻکԶ ԶقǴঁ ঁচηృᅶં ંϩձࣁ 2.22 , 1.72 , 0.60 Bohhr ᅶηǶ. 12.
(31) 立. 政 治 大. ‧. ‧ 國. 學 er. io. sit. y. Nat. კ 2-1-8 ೯ၸᅶᏛᅶᅶંБࣁೱុᡂϯ[17]. ៓ᅶނ܄፦ޑࡋྕکᜢ߯ǴྕࡋϲଯԿࢌ ॶۓTc ࡕǴӵკ 2-1-9Ǵҗ. al. n. v i n ܭᘋᡂளߚதቃਗ਼Ъςεܭচη໔ϐҬϕբҔǴԜਔނ፦வ៓ᅶ܄ᙯ Ch engchi U. ᡂࣁᅶ܄Ǵځᅶϯᆶ๊ჹྕࡋԋϸКǴ٠ᒥӺ Curie-Weiss lawǴԜਔᅶϯ ஒё߄ҢࣁаΠԄ:. F. NM 2 3K (T 4). ځύ 4 ࣁۚٚྕࡋ(Curie temperature , Tc)Ƕ. 13. (Ԅ 2-1-3).
(32) კ 2-1-99 ៓ނ܄፦ ፦ϐᅶϯ ᆶ๊ჹྕࡋ ࡋޑᜢ߯. 治 政 大کᅶϯໆ M (ᆘՅᗺ)ރޑ ໒ ໒ۈӃࡼуঁىε εϐᅶǴ٬៓ᅶނ܄ ٬ ނ፦ၲډႫک ޑ 立. კ 2-1-7 ջࣁ៓ᅶ܄ ջ ނ܄፦ϐᅶᅉ ᅉԔጕǴᙖԜ ԜᅶᅉԔጕ ጕკٰᇥܴ ٤ख़ाޑ ޑᗺǶ s. ᄊǴ Ǵӆஒᅶ۳ ۳ॄБӛଏ ଏԿࣁ႟Ǵ ளډঁ ঁӢᅶં໔ޑ ޑҬඤΚ܌ ܌ԋϐූᅶ ᅶϯ. ‧ 國. 學. ໆ Mr(ᐊՅᗺ)ǴԜූᅶϯ ϯໆ Mr ሡԿ Կۓελ λϐॄБӛϐ ϐᅶω ֹӄѨ٠ ٠໒. ‧. ۈ۳ ۳߇ӛᙌᙯ ᙯǴ೭ঁᙌᙯ ᙯᅶ൩ࢂ ࢂ܌ᒏޑᕖႤ Ⴄ(Coerciivity)Hc(आՅᗺ)Ƕ. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-1-10 ៓ᅶނ܄፦ ៓ ፦ϐᅶᅉԔጕ ጕ. 14.
(33) (4)ϸ៓ᅶ܄ ϸ. ϸ៓ᅶ܄ (܄antiferrom magnetism)Ψࣁ১ᅶ Ψ ᅶ܄Ǵ٠ک ᅶ࣬܄ӕ ӕࣁࡐλϐ҅ ҅ᅶ ϯ Ǵՠϸ៓ᅶ ᅶ܄ϐᅶϯ ϯჹྕࡋϐ ϐ໔ᜢ߯Ԗ Ԗܴᡉᆶځд дᅶ܄όӕ ӕޑӦБǴٗ ٗ൩ ࢂӭ ӭΑ Neel ྕࡋ ྕ (TN)р Ǵྕࡋ ࡋե ܭTN ਔǴϸ៓ᅶ܄ ਔ ܄ϣᅶં ંБӛևϸѳ ѳՉ ௨ӈ ӈǴЪٿϕ࣬ϸѳՉϐ ϐᅶં۶Ԝ ԜܢǴკ 2-1-8 2 ܌ҢǴ܌аѦу уᅶჹϸ៓ ៓ᅶ ނ܄ ނ፦ϐᅶϯ ϯำࡋډڙ ډԜϸѳՉ Չ௨ӈᅶં໔ ໔ॄޑҬϕ ϕբΚ(Negaative exchan nge forcce)ቹៜǴՠ ՠᒿྕࡋϲଯ(T<TN)ǴԜॄҬϕբΚ࣬ ࣬ჹ෧λǴӢԶගϲᅶ ᅶϯ. ૈΚ ΚǴ܌аᅶϯᒿྕ ྕࡋޑϲ ϲԶᡂεǴک کᅶ܄খ খӳ࣬ϸǶ ྕࡋଯܭ ܭTN. 治 政 大 s lawǴკ 22-1-9 ܌ҢǴ ӈǴ ǴԜਔΞᆶ ᆶᅶ܄܄፦ ፦ႜӕǴ܌ ܌аΨᅈ ىCurie-Weis C 立. ਔǴ Ǵҗܭᅶં ૈቚуԶ Զᘍಥ௨ ௨ӈᆶᅶં ં໔ϐ״ᑛǴԋᅶં ંаණࣁ ࣁ௨. F. 學. ‧ 國. Ԝਔ ਔᅶϯ ޑԄࣁ. C (T TN ). ‧. ځύ ύ C ࣁۚᘶ ᘶதኧǶ. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-1-111 ϸ៓ᅶ਼ ਼ϯϐᅶં ંϸѳՉ௨ӈҢཀკ. 15. (Ԅ 2-1 1-4).
(34) კ 2-1-12 ϸ៓ނ܄ ނ፦ϐᅶϯ ᆶ๊ჹྕ ྕࡋޑᜢ߯. 立. ‧ 國. 學. (5) ٥៓ᅶ܄. 政 治 大. ៓਼ᡏӭڀԖ٥៓ᅶ ᅶ(܄ferrimaagnetism)ǴЬाҗ៓ک ځکдᅿ ᅿ܈ӭᅿߎឦ ឦӵ. ‧. ᙻᎋ ᎋǵ᎕…ಔԋϐ਼ϯ ϯނǴځፕ ፕှញճ ճҔϸ៓ᅶ܄ ܄ԛኳ ኳࠠǶ٥៓ᅶ ᅶ܄. y. Nat. sit. ނ፦ ፦ύόӕᅶ܄ᚆηϩ ϩձэᏵӧ ӧόӕϐ ՏǴЪ Ъ࣬ӕᅶ܄ ܄ᚆηϐᅶં ં. n. al. er. io. ևϕ ϕ࣬ѳՉ௨ӈǴԶόӕ ӕᅶ܄ᚆηϐ ϐᅶંӢ ӢॄҬϕբҔԋϸѳ ѳՉ௨ӈǴӵ ӵკ. i n U. v. 2-1--13Ƕҗܭό όӕᅶ܄ᚆ ᚆηϐኧҞک کᅶંελ λࣣόӕǴ܌ ܌а៓ک ៓ᅶ܄ኬό όሡ. Ch. engchi. Ѧу уᅶբҔǴջҁي൩ ൩ڀԖԾวᅶ ᅶϯຝΨ Ψឦܭமᅶޑ܄ᅿǴՠԜᅿமᅶ ᅶ܄ ࢂٰ ٰԾܭόӕᅶ܄ᚆηϐ ϐБӛ࣬ϸ ϸǵᅶંελ λϐৡǴᆶ ᆶ៓ᅶ܄Ԗࡐ ࡐεޑόӕ ӕǶ ځᅶϯᆶྕࡋᜢ߯ ߯Ǵёவკ 2-1-14 ளޕ ޕᒿࡋྕޣ ࡋϲǴᅶં ંӢၮ ၮ ᜢ߯ ߯ᅌ໒ۈᡂளషǴ ǴᏤठԾวᅶ ᅶϯຝ෧ ෧λֹډޔӄѨǴԜ Ԝਔࡋྕޑջ ջࣁ ۚᘶ ᘶྕࡋ(TC)Ǵᒿྕࡋ ࡋၸΑ TC ϐࡕᝩុӛ ϐ ቚуǴว 1/ ᆶ ᆶྕࡋᜢ߯Ԕ Ԕጕ ܭଯ ଯྕਔևрࡐӳϐ ϐጕ܄ᜢ߯ ߯Ǵ೭کᅶ ᅶ ܄1/ ᆶྕ ྕࡋᜢ߯Ԕ Ԕጕᜪ՟Ǵՠ ՠӢ җό όӕނ፦ಔ ಔԋǴࡺ T TC ϐ໔٠ ٠ό಄ӝ Cu urie-Weiss lawǶ. 16.
(35) 立. 政 治 大. ‧ 國. 學. კ 2-1-13 ٥៓ ៓ᅶނ፦ϐᅶ ᅶં௨ӈҢ Ңཀკ. ‧. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-1-14 ٥៓ނ܄ ނ፦ϐᅶϯ ᆶ๊ჹྕ ྕࡋޑᜢ߯. 17.
(36) 2-2. ᅶ౦ӛ܄ᙁϟ[17] ៓ܭᅶނ܄፦ύǴᅶ౦ӛ(܄magnetic anisotropy)ࣁቹៜᅶᅉԔጕևрόӕ. ރനख़ाޑӢનϐǴԶ܌ᒏᅶ౦ӛ៓ࡰࢂ܄ᅶނ܄፦ϣӧૈໆᒿԾวᅶ ϯБӛׯᡂԶᡂϯǴ೭ኬૈޑໆᆀᅶ౦ӛૈ(magnetic energy)Ƕ៓ᅶނ፦ࡼ аޑۓڰѦуᅶܭӚঁБӛǴёளډӧঁБӛ܌ளޑډᅶϯᜤܰࡋԖ܌ όӕǴӧ೭ϐύёวԖБӛၨܰၲډႫکᅶϯќБӛၨᜤၲډႫکᅶ ϯǴӢԜϩձۓကࣁᅶϯܰື(easy axis)Ϸᜤື(hard axis)ǴᙁൂٰᇥǴᅶ౦ӛ܄ ջނ፦ᅶϯᜤܰࡋᆶځໆෳБӛԖᜢǶԶॺךقஒᅶ౦ӛ܄ǴεཷϩԋаΠ. 政 治 大. ൳ᜪ:. 立. ‧ 國. 學. (1)ᅶ౦ӛ(܄Magnetocrystalline anisotropy) (2)ރ౦ӛ(܄Shape anisotropy). ‧. (3)ᔈΚᅶ౦ӛ(܄Stress anisotropy). sit. y. Nat. (4)ᇨᏤ౦ӛ(܄Induced anisotropy). al. n. annealing). er. io. (a)ᅶଏОЇठᅶ౦ӛ(܄Magnetic anisotropy induced by magnetic. Ch. engchi. i n U. v. (b)༟܄ᡂЇठᅶ౦ӛ(܄Magnetic anisotropy induced by plastic deformation) (c)ᒟྣᡂЇठᅶ౦ӛ(܄Magnetic anisotropy induced by magnetic irradiation) (7)Ҭඤᅶ౦ӛ(܄Exchange anisotropy). аନΑᅶ౦ӛނࣁ܄፦ϣ(intrinsic)܄፦ѦǴځᎩࣣឦѦ(extrinsic) ࢂ܈ᇨᏤ(induce)܌ౢғϐ܄፦Ƕ൩ҁჴᡍࣴ܌زሡϐጄൎǴаΠஒϩձ௶ॊ ᅶ౦ӛ܄ǵރ౦ӛ܄ǵᔈΚᅶ౦ӛ܄ϷҬඤᅶ౦ӛ܄Ƕ 18.
(37) ()) ᅶ౦ӛ ӛ(܄Magneetocrystallin ne anisotro opy) ᅶ౦ӛ܄ԖਔΨᆀ ᆀᡏ౦ӛ(܄Crysttal anisotroppy)Ǵ៝Ӝࡘ ࡘက൩ࢂࡰᅶ ᅶ౦ ܄ᆶނ፦ϣӧҁيᡏ ᡏ่ᄬԖᜢǶ٩ૈໆޑ ޑᢀᗺǴ៓ᅶ ᅶނ܄፦җ җѐᅶރᄊډ ډႫ ӛ܄ ރک ރᄊϐ M-H H Ԕጕ کM ື܌хൎୱय़ᑈջ ջࣁᅶϯၸำ܌ϐф фǴӵკ 2--2-1 ܌Ң ҢǶӧᅶϯ៓ ៓ᅶނ፦Կ ԿႫکၸำύݮځό όӕືБӛǴளډ ډόӕϐૈໆ ໆǴ ځύ ύືܰݮБӛᅶϯ܌ሡ ሡૈໆനλǴ࣬ϸݮޑ ݮᜤືБӛᅶ ᅶϯ܌ሡૈ ૈໆനεǶҭ ҭջ ౦ ౦ӛΚ(Anissotropy forcce)ׯᡂܰື ືޑᅶϯБ БӛǴΨ൩ࢂ ࢂႫکᅶϯໆ ໆ M ӧߚܰ ܰື Бӛ ӛਔǴ߾ԖૈໆӸӧܭ ܭᡏύǴԜૈໆջࣁ ࣁᡏ౦ӛૈ(crystal aanisotropy enee rgy))Ƕ. 立. 政 治 大. ‧. ‧ 國. 學. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-2--1 ᅶҗ җ႟ԿႫکᅶ ᅶϯ Ms ܌ϐф. Զᅶނ܄፦ϣЬाԖΟ ΟᅿҬϕጠ ጠӝբҔǴӵ ӵკ 2-2-2Ǵ Ǵϩձࣁ: ฅԶ. ԾᆶԾ ϐጠӝբҔ Ҕ(Spin–spiin coupling)): (1)Ծ җ࣬ٿᎃԾႝηҬ ҬඤբҔ(E Exchange co oupling)Ǵឦ ឦࡐܭமϐጠӝբҔǴ ǴЪ ځՔ ՔᒿҬඤૈ((Exchangee energy)ࣁӛ܄ᆶБ БӛคᜢǴѝ ѝ࣬ٿکᎃ ᎃԾࡋفԖ ԖᜢǴ 19.
(38) ӵ(Ԅ 2.1.1)Ǵ܌аԜբҔ٠όԋᅶ౦ӛ܄Ƕ. Eex. 2 JexSiSj. 2 JSiSj cos T. (Ԅ 2.1.1). (2)ॉၰᆶϐጠӝբҔ(Orbit-lattice coupling) ॉၰᆶϐጠӝΨឦܭமբҔΚǴջ٬ࢂӧமᅶբҔΠΨόׯᡂǴӢ ӧᅶϯၸำύॉၰӵӕѨǴ܌аԜጠӝբҔҭόԋᅶ౦ӛ܄Ƕ. 治 政 大 Ԝጠӝឦܭ১բҔΚǴᇡࣁᅶ౦ӛྍٰޑ܄ᔈٰԾܭԜᅿጠӝǴԶ౦ 立. (3)ԾᆶॉၰϐጠӝբҔ(Spin-orbit coupling). ӛૈ(anisotropy energy)߾ࣁլܺԾॉၰጠӝբҔ܌ሡૈޑໆǶᗨฅӧ܄ۓࣣ. ‧ 國. 學. ᇡࣁԾᆶॉၰϐ໔ޑጠӝΏࢂԋᡏ౦ӛྍٰޑ܄Ǵՠࢂځಒ٠ߚֹӄమ. ‧. ཱǴԶЪӧፕޑᆉΨᗋόૈ҅ዴޑीᆉрᅶ౦ӛ܄தኧॶǶ. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-2-2 Ծ--ॉၰբҔᜢ߯Ңཀკ. аΠ൩а FeǵNi ޑҥБᡏ(Cubic crystal) کCo ޑϤБᡏ(Hexagonal crystal) ٰჹᅶ౦ӛ܄ᇥܴǶ 20.
(39) (a)ҥБᡏϐᅶ౦ӛ܄ ܭՋϡ1929ԃ߮୯ނᏢৎAkulovஒᅶ౦ӛૈEǴ߄ҢࣁаΠኧᏢભኧ Ԅ: K 0 K 1 (D 12D 22 D 22D 32 D 12D 32 ) K 2 (D 12D 22D 32 ) . E. (Ԅ 2-2-1). ځύ K0ǵK1ǵK2 ࣣࣁதኧکࡋྕۓǵԖᜢǴ1ǵ2ǵ3 ϩձࣁᅶϯ БӛᆶΟঁືϐ֨فϐᎩ۰ǹځύಃ K0 ᆶࡋفคᜢǴ೯தё۹ౣǴӢࣁ གᑫ፪ࢂޑᅶ౦ӛૈ E ܭόӕႫکᅶϯБӛޑᡂϯ E ॶǶ߄ 2-2-1ǴᡉҢႫ کᅶϯϐۓБӛ[ u v w ]Ƕ. 立. 政 治 大. ‧. ‧ 國. 學. ߄ 2-2-1 ܭҥБᡏύǴόӕБӛϐᅶ౦ӛૈ. er. io. sit. y. Nat. ჴᡍჹൂܭϐ Fe ᆶ Ni ܌ໆளόӕືБӛϐᅶϯԔጕǴϩձӵკ 2-2-3. n. al. کკ 2-2-4 ܌ҢǶ. Ch. engchi. 21. i n U. v.
(40) კ 2-2-3 ൂϐ Fe ܭόືϐᅶϯԔጕ. வკ 2-2-3 ࡐమཱᡉҢ Fe ܰᅶϯБӛԿᜤᅶϯБӛϐ<ࣁׇ100>ǵ<111>ǵ. <110>ǴځύܰᅶϯБӛ<100>Ǵѝሡ൳Μ oersteds ൩ёၲډႫکᅶϯރᄊǹᜤᅶ ϯБӛ<110>Ǵ߾ाኧԭঁ oersteds ωёၲډႫکᅶϯރᄊǶ. 立. 政 治 大. ‧. ‧ 國. 學. n. er. io. sit. y. Nat. al. i n U. v. კ 2-2-4 ൂϐ Ni ܭόືϐᅶϯԔጕ. Ch. engchi. ӕவკ 2-2-4 Ψёࡐమཱ࣮ ډNi ܰᅶϯБӛԿᜤᅶϯБӛϐ<ࣁׇ111>ǵ. <110>ǵ<100>ǴځύܰᅶϯБӛ<111>Ǵѝሡ൳Μ oersteds ൩ёၲډႫکᅶϯރ ᄊǹᜤᅶϯБӛ<100>Ǵ߾ाኧԭঁ oersteds ωёၲډႫکᅶϯރᄊǶ. ӕឦҥБ ޑسFe کNiǴவय़௶ॊёܰځޕᅶϯБӛکᜤᅶϯБӛখӳ ࣬ϸǴԋԜৡ౦ޑচӢࣁځᅶ౦ӛ܄தኧ K1 ᆶ K2 ॶޑόӕǴ೯தҗ ܭK2 ࣁ ଯԛॶၨλǴ܌аനЬाڗ، ܭK1 ॄ҅ޑဦǶӵ߄ 2-2-2 ܌ҢǶ. 22.
(41) ߄ 2-2-2 ҥБᅶϯᜤܰБӛᆶ K1ǵK2 ϐᜢ߯. (b)ϤБᡏϐᅶ౦ӛ܄ Co ྕ࠻ܭਔǴځᡏ่ᄬࣁϤБനஏ୴ᑈ(hexagonal close-packed)่ᄬǴځ. 政 治 大. ᅶϯԔጕࣁკ 2-2-5 ܌ҢǴ ځc ື[0001]ࣁܰᅶϯБӛǴԶѳՉ୷य़(0001)ϐ܌ ԖБӛࣣࣁᜤᅶϯБӛǶ. 立. ‧. ‧ 國. 學. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-2-5 Co ൂޑᡏӧόӕືБӛϐᅶϯԔጕ. ჹܭϤБᡏϐᅶ౦ӛૈǴ೯தаԄ 2-2-2 ٰ߄Ңϐ E. K 0 K 1 sin T K 2 sin 4 T . 23. (Ԅ 2-2-2).
(42) ځύ K0ǵK1ǵK2 ࣣࣁᅶ౦ӛ܄தኧǴ ࣁႫکᅶϯБӛᆶ c ືϐ֨فǶ K1ǵK2 ࣣࣁ҅ॶਔǴᅶ౦ӛૈाࣁനλॶѸӧ ࣁ 0°ǴԜਔ c ືࣁ ܰᅶϯБӛǴҗܭԜਔᡏࣁൂܰືǴځᅶϯБӛόࢂӛջӛΠǴΨᆀࣁൂ ືᡏǹځᅶ่ᄬӧѐᅶރᄊΠǴӵკ 2-2-6 ܌ҢǴٯӵҁჴᡍ܌٬Ҕϐ Co ൩ԖԜᅿ܄፦Ǵ ځCo ༧ྕ࠻ܭਔޑᅶ౦ӛதኧ K1=4.5×106ergs/cm3 Ϸ K2=1.5×106ergs/cm3Ƕ. 立. 政 治 大. io. sit. y. ‧. ‧ 國. 學. Nat. კ 2-2-6 ൂືᡏϐᅶ่ᄬ. er. ࣬ϸӦ K1ǵK2 ࣣࣁॄॶਔǴᅶ౦ӛૈനλॶวғ ࣁ ܭ90°Ǵ೭ਔѳՉ. al. n. v i n ୷य़܌ԖБӛࣣࣁܰᅶϯБӛǴ٠Ԝਔ c ືᡂࣁᜤᅶϯБӛǶ Ch engchi U. K1 کK2 ࣁॄ҅ਔǴԜݩᡂளၨࣁፄᚇǴаკ 2-2-7 ᇥܴϐǴܭკ. ύஒ K1 ԋ x-axis کK2 ԋ y-axisǴӵ݀ K1ǵK2 ϩձࣁ҅ॶॶॄکǴკύޔጕ K2 = - K1 ࣁൂືکѳय़ᅶ౦ӛޑ܄ᜐࣚ܌ӧǴޔܭጕ K1= - K2 ߾ܰᅶϯБӛӧ 0° ک90°Ƕϸၸٰ K2 ࣁ҅ॶǵK1 ࣁॄॶ߾ K2 < -1/2 K1 ਔࣁ୷य़ࣁܰᅶϯБӛǹ ጄൎඤԋ K2 = -1/2 K1 Կ K2 =ਔǴᅶ౦ӛૈനλॶวғ ܭ0°Կ 90°໔ǴΨᆀ ܰᅶϯ༝ᒷ(easy cone)Ƕ. 24.
(43) 立. 政 治 大. ‧ 國. 學 ‧. კ 2-2-7 ܌Ԗёૈϐ K1 کK2 ॶᆶܰᅶϯБӛᜢ߯კ. io. sit. y. Nat. er. (Β) ރ౦ӛ(܄Shape anisotropy). al. n. v i n ѦуᅶᅶϯౚޑރኬࠔਔǴёளډӧБӛᅶϯϐᜤܰࡋࣣ࣬ӕǴ Ch engchi U. ଷ٬ኬࠔࣁߚౚރਔǴளܰᅶϯӧືߏځБӛϷᜤᅶϯӧځอືБӛǴϐ ܌аԋԜ܄፦ǴٗѸӃჹԋԜ܄፦നख़ाϐӢનѐᅶ(demagnetizing. field)٤ᙁൂޑΑှǶ ஒރᅶ៓ܭБӛࣁҗѰӛѓϐѦуᅶύՉᅶϯǴӆஒѦуᅶ౽ ନࡕǴёளډᅶ៓ٿޑᆄԋчཱཱུུࠄکǴҗܭᅶΚጕޑБӛࢂҗчཱུࡰӛࠄཱུǴ ܌аё࣮рᅶ៓ѦޑᅶΚጕБӛᆶѦуᅶБӛ࣬ӕǴՠᅶ៓ϣޑᅶΚጕБ ӛࢂᆶѦуᅶБӛখӳ࣬ϸǴӵკ 2-2-8 ܌ҢǶ. 25.
(44) 學. ‧ 國. კ 2-22-8. 政 治 大 ౽ନѦ Ѧуᅶࡕ 立 ࡕǴރᅶ៓៓ϣᆶѦѦޑᅶΚጕጕϩթ. ೭ᡉҢᅶ៓ډڙѦ Ѧуᅶբ բҔਔǴᅶ៓ ៓ϣᅶ ϸלѦу уᅶౢғ ѐ. ‧. բҔǴ٠ஒԜᅶ៓ϣ ϣᅶᆀ ᆀϐࣁѐᅶ (Hd)Ƕҗܭ ܭᅶ៓ѐᅶ ᅶ҅Кܭᅶ ᅶϯ ᅶ. n. al. Hd = -NdM. Ch. engchi U. er. io. sit. y. Nat. மࡋ ࡋ܌ааΠӈϐኧᏢБ БԄٰ߄Ң Ң:. v ni. (Ԅ 2-2 2-3). ࣁ (Demagnettizing factorr)܈ѐᅶ߯ኧ(Demagnnetizing ځύ Nd ࣁѐᅶӢη ॶځᆶኬࠔ ࠔޑ൳Ֆރ ރԖᜢǶ ፕीᆉё ёளǴᐍ༝ ༝ᡏΟঁ࣬ϕ ϕࠟ coeffficient)Ǵځ ືޔ ືϐѐᅶ ᕴࣁکۓ ॶۓ:. ( Na + Nb + Nc = 4 (cgs) SI) Na + Nb + Nc = 1 (S. 2-4) (Ԅ 2-2. ჹܭᐍ༝ౚᡏԖΟঁ ঁ࣬ϕࠟޔ ߏືޔϩձࣁ ࣁ 2a,2b.2cǴӵკ 2-2--8 ܌ҢǴᐍ ᐍ༝ ᡏεཷёϩ ϩࣁ general ellipsoid ( a b c)ǵprolate sphheroid ( a = b < c)Ϸ ob blate ౚᡏ 26.
(45) spheroid( a< b =c)ΟᅿԄǴ൩аځύ ޑprolate spheroid ٰीᆉǴѐᅶӢηё߄ Ңࣁ: Na. Na. Nb. 4S Nc 2. (Ԅ 2-2-5).
(46). º 4S ª r 2 ln 1 1 r m « » m2 1 ¬ m2 1 ¼. (Ԅ 2-2-6). ځύ ൌ ΤǴ٠ଷ m ࡐεϐݩǴёஒԄׯቪԋ:. Na. 立Nc. Nb # 2S 治 政 大 4S m2. (Ԅ 2-2-7). >ln 2m 1@. (Ԅ 2-2-8). ‧. ‧ 國. 學. n. er. io. sit. y. Nat. al. Ch. engchi. i n U. v. კ 2-2-9 ᐍ༝ౚᡏ. வ(Ԅ2-2-7)Ϸ(Ԅ2-2-8)ёளືߏځޕcБӛाКอືaکbБӛٰளܰ ᅶϯǴ೭ҔܭҺՖߚౚރኬࠔǴଷ٬ኬࠔඤԋౚޔރௗவ(Ԅ2.1.2)Ǵёளډ ΟঁືᏱԖ࣬ӕϐᅶϯӢηNsphere = 4/3 (cgs)Ǵ܌аځᅶϯӧҺБӛࣣ࣬ 27.
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