微機電系統原理與應用 微機電系統原理與應用

台灣師範大學機電科技學系 -1-

微機電系統原理與應用 微機電系統原理與應用

Principles and Application of Micro

Principles and Application of Micro- -Electro Electro- -Mechanical System Mechanical System

楊 啟 榮 博士

教 授

國立台灣師範大學 機電科技學系

Department of Mechatronic Technology National Taiwan Normal University

Tel: 02-7734-3506; 0955-052-392 E-mail: [email protected]

C. R. Yang, NTNU MT

微電子 微電子 + 微機械 + 微機械 = 微機電系統 = 微機電系統

(Micro Electro Mechanical System, MEMS)

把玩齒輪的螞蟻

(IMT, Germany) 3D Optical Scanner 3D Optical Scanner (ADI, USA)

台灣師範大學機電科技學系 -3-

課 課 程 程 資訊 資訊

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Mechanical System

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C. R. Yang, NTNU MT

教學目標 教學目標

本科目旨在協助機械∕電機∕電子等工程背景學生瞭 解微機電系統的技術內容，包括基礎IC製程技術、微 機電製程技術、微感測器與微致動器原理與製造技術

、系統能源供應、封裝檢測、應用技術及微機電系統

技術現況與未來發展趨勢。

台灣師範大學機電科技學系 -5-

課程預計進度 課程預計進度

1. 微機電系統技術簡介 2. 基礎IC製程技術

3. 矽基微加工與應用技術 4. 非矽基微加工與應用技術 5. 微機電接合與封裝技術 6. 微致動器技術

7. 微感測器技術

8. 微機電系統應用技術

9. 奈米科技與其對明日生活的影響

C. R. Yang, NTNU MT

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( 注 意 格 式 要

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評分考試 評分考試

台灣師範大學機電科技學系 -7-

書面報告 書面報告

1. 翻譯一篇至少五頁之英文國際期刊論文，主題內容以 MEMS技術為主，其需事先經過授課教師認可，認可

2. 國際期刊論文必須找2008年以後之論文。

3. 繳交論文翻譯Word檔案。

4. 繳交之報告格式，需符合授課教師指定之格式，否則

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1. 書面報告格式介紹(請認真體會格式的要求)。

2. 如何尋找國際期刊論文？

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Google: http://scholar.google.com/

輸入關鍵字或作者名即可……

台灣師範大學機電科技學系 -9-

1. 上課遲到二十分鐘，不准於該節進教室(記曠課一小時)。

2. 無故曠課三次(即缺課45小時) (不定時點名) ，要求期中退

3. 事假、病假必須於上課前，以簡訊、E-mail請假，或由可

4. 上課手機關機！

上課原則與配合事項 上課原則與配合事項

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一. 某一科目缺課逾該科目授課總時數三分之一者，不得參加該科目 學期考試，該科目學期成績以零分計算。

二. 自上課之日起，缺課日數達該學期授課總日數三分之一者，應予 休學；惟公假經行政院相關部會建議並由學校同意者，不計入缺 課日數。

三. 曠課一小時者作缺課五小時計，一學期曠課達四十五小時者，應 予退學。

國立臺灣師範大學學則

國立臺灣師範大學學則--第二編第二編((學士學位班學士學位班))第三十五條第三十五條

學生因故不能上課，須向學生事務處請假，請假經核准者為缺課，未 經請假或請假未核准者為曠課。缺課及曠課，依照下列規定辦理：

因懷孕、生產或哺育三歲以下幼兒之照顧，而核准之事（病）假、產 假者，不適用前項第一款之缺課時數。

台灣師範大學機電科技學系 -11-

課輔時間 課輔時間

研究室位置：科技學院地下一樓工B03室

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An Introduction to MEMS 影片欣賞

認識 認識 MEMS MEMS 技術 技術