經濟部國際貿易局 貨品輸出規定變更明細表
貨品號列 貨 名
原 列 輸出規定
改 列 輸出規定 8486.10.00.20-1 供半導體晶圓製程用之磨光、拋光及研磨機器 121
488 S01
121 488*
S01
8486.20.00.11-0 生產半導體用化學氣相沈積器具 121
488 S01
121 488*
S01
8486.20.00.12-9 製造半導體用之物理氣相沈積器具 121
488
121 488*
8486.20.00.31-6 供半導體材料乾式蝕刻圖形用工具機 121
488 S01
121 488*
S01 8486.20.00.32-5 供蝕刻、去除光阻物或清洗半導體晶圓之噴灑機具 121
488 S01
121 488*
S01 8486.20.00.33-4 供濕蝕刻、顯影、去除光阻物或清洗半導體晶圓之器具 121
488 S01
121 488*
S01
8486.20.00.40-5 半導體晶圓磊晶沈積機 121
488
121 488*
8486.20.00.50-2 供摻雜半導體材料之離子植入器 121
488 541 S01
121 488*
541 S01 8486.20.00.61-9 生產半導體晶圓用之步進及重複對準機 121
488 S01
121 488*
S01
1
經濟部國際貿易局 貨品輸出規定變更明細表
貨品號列 貨 名
原 列 輸出規定
改 列 輸出規定
8486.20.00.62-8 生產半導體晶圓用之掃描對準機 121
488 S01
121 488*
S01
8486.20.00.63-7 電子束直接寫入晶圓器具 121
488 S01
121 488*
S01
8486.20.00.71-7 半導體晶圓加工用旋轉乾燥機 121
488
121 488*
8486.20.00.72-6 供感光乳劑塗附在半導體晶圓上之旋轉器 121 488
121 488*
8486.20.00.73-5 製造半導體晶圓用之光阻塗佈器具 121
488
121 488*
8486.20.00.80-6 供半導體晶圓氧化、擴散或回火用之快速加熱器具 121 488 S01
121 488*
S01 9031.41.10.10-2 附有專供半導體晶圓或網線上下料及傳送設備用之顯微照相顯微鏡 121
488
121 488*
9031.80.00.20-4 附有專供半導體晶圓或網線上下料及傳送設備用之電子束顯微鏡 121 488 S01
121 488*
S01 號列項數: 17
輸出規定代號說明
121 由貿易局簽發輸出許可證。
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經濟部國際貿易局 貨品輸出規定變更明細表
貨品號列 貨 名
原 列 輸出規定
改 列 輸出規定
488 一、輸出化學機械研磨機、光阻剝除機、光阻顯影機、快速高溫熱處
理機、沉積設備、洗淨設備、乾燥機、電子顯微鏡、蝕刻機、離子植 入機、光阻塗佈機、微影設備等十二類半導體晶圓製造設備，應檢附 下列文件申請輸出許可證，出口人並應於輸出許可證列明所生產之晶 圓尺寸及製程技術水準；違者，應自負相關法律責任：（一）輸往大 陸地區者，如屬投資行為者，應檢附經濟部投資審議委員會核准投資 文件；如屬投資以外之貿易行為者，應檢附經濟部工業局同意文件。
輸往大陸以外地區者，應檢附保證絕不轉售大陸地區之切結書。（
二）外貨復運出口者，另檢附原海關進口證明文件。（三）屬戰略性 高科技貨品列管項目者，除應檢附上述文件外，應另依戰略性高科技 貨品輸出入管理辦法相關規定辦理。二、輸出非屬上述十二類半導體 晶圓製造設備者，應檢附經濟部技術處出具之鑑定報告。三、保稅區 或課稅區或自由貿易港區間之半導體晶圓製造設備移轉，免辦理輸出 許可證。
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經濟部國際貿易局 貨品輸出規定變更明細表
貨品號列 貨 名
原 列 輸出規定
改 列 輸出規定 488* 一、輸出化學機械研磨機、光阻剝除機、光阻顯影機、快速高溫熱處
理機、沉積設備、洗淨設備、乾燥機、電子顯微鏡、蝕刻機、離子植 入機、光阻塗佈機、微影設備等十二類半導體晶圓製造設備，應檢附 下列文件申請輸出許可證，出口人並應於輸出許可證列明所生產之晶 圓尺寸及製程技術水準；違者，應自負相關法律責任：（一）輸往大 陸地區者，如屬投資行為，應檢附經濟部投資審議委員會核准投資文 件；如非投資行為，應檢附非投資行為之切結書。輸往大陸以外地區 者，應檢附保證不以輸出許可證上所載貨品投資大陸地區之切結書。
（二）屬戰略性高科技貨品列管項目者，除應檢附上述文件外，應另 依戰略性高科技貨品輸出入管理辦法相關規定辦理。二、輸出非屬上 述十二類半導體晶圓製造設備者，應檢附經濟部國際貿易局出具之鑑 定報告。三、保稅區或課稅區或自由貿易港區間之半導體晶圓製造設 備移轉，免辦理輸出許可證。
541 應檢附行政院原子能委員會同意文件
S01 敏感貨品清單內列管項目出口（或再出口）至北韓及伊朗者，應向經
濟部國際貿易局或經濟部委任或委託之機關（構）申請戰略性高科技 貨品輸出許可證，並憑以報關出口。
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