基于 VOCs 对人体健康和生态环境的重要影响，越来越多的研究者、机 构关注其排放清单、减排技术和排放控制管理。
世界各工业发达国家都相继制定 VOCs 释放的各种限定，欧美等发达国 家在 20 世纪 90 年代初就建立了相关的 VOCs 人为源排放清单数据库，并逐 年更新。在 VOCs 控制管理方面，出台了相关法律标准。
美国的《大气清洁法》，在气体污染物控制方法，主要控制有害大气污 染物（HAP），在电子元件生产方面主要有氯化氢、氟化氢、二甲苯等。标 准限值对新、老（现）源一致，标准要求对工艺中排风口排放的有机 HAP 削 减其总量的 98%，或将其排放浓度控制在 20ppmv 以下；对无机 HAP 削减其 总量的 95%，或将其排放浓度控制在 0.42ppmv 以下。现有企业 2003 年 5 月 22 日起三年内需达到该标准，新建企业建成之日或 2003 年 5 月 22 日起 达标。美国宾夕法尼亚规定的地区工作场所苯的排放限值为 3.243mg/m3，美 国 职 业 安 全 卫 生 研 究 所 (NIOSH)1976 年 提 出 车 间 苯 的 “ 应 急 标 准 ” (EmergencyStandard)为 1ppm(3.2 mg/m3)，车间空气中苯的阈限值 1946 年 订为 100ppm，1947 年降至 50ppm。1948 年为 25ppm；当时均为考虑苯有致 白血病的可能性；1974 年又修订为 10ppm，其上限值为 25ppm，1976 年提 出苯可引起进行性造血组织恶性疾病---白血病,对人类为一致癌物质，为此 大幅度降低其阈限值为 1ppm，并提出以每分钟 1L 流量采样两小时。此提议 未被通过，主张苯应用时禁止敞开操作，尽可能以低毒溶剂替代。1978 年 3 月职业安全卫生管理局通过了苯的阈限值为 1ppm，并提出预期的水平为 0.5ppm。
俄罗斯1994 年批准的车间空气中有害物质的最高容许浓度值中规定 C2~C10 烯烃的最高浓度值为100 mg/m3。
世界银行《污染预防和削减手册》中规定电子制造业VOCs 最高允许
表 7.1 世界银行规定电子制造业排放标准
世行制定的工业行业污染物排放标准限值，以代表该行业最新技术发展 水平的生产过程,通过开展清洁生产和末端治理结合可接收的污染物排放水 平。排放标准以浓度指标来表示以便于监测。用稀释的办法使废水、废气排 放达到排放标准要求是不可接受的。针对半导体制造中的有毒气体、有机溶 剂和颗粒物,使用的化学物质包括氢、硅烷、砷、磷化氢、乙硼烷、氯化氢、
氟化氢、二氯硅烷、磷的氯氧化物和三溴化硼；印刷电路板制造中可能存在 的废气排放物中含有硫酸、氛化氢、磷酸、亚硝酸、乙酸及其他酸、氛、氨、
有机溶剂蒸汽(异丙醇、丙酮、三抓乙烯、乙酸丁醋、二甲苯、石油馏出物 以及破坏臭氧的物质)扩在印刷电路装配过程中的排放物可能包括有机溶剂 蒸汽和焊接过程的烟气，含有乙醛、熔融蒸汽、有机酸等。
欧盟
在欧盟固定源废气VOCs 限制指令中,将挥发性有机化合物分为有毒 VOCs 和一般 VOCs，前者用单组份有机物质的质量浓度(mg/Nm3)表示,后者 用总有机碳的质量浓度(mgC/Nm)表示。有毒 VOCs 指“三致”(致癌性、致 突变性、致畸胎性)毒性有机物质和含卤有机化合物,要求尽快地进行替代。
指令第5 章规定,“三致”毒性有机物质的排放速率限值为 10g/h 或排放浓度 限值为2 mg/Nm3，含卤有机化合物的排放速率限值为100g/h 或排放浓度限 值为20mg/Nm3。
欧盟VOCs，指令覆盖印刷业、表面清洗业、表面涂装业、涂料/油墨/
粘合剂制造业、橡胶制造业、动植物油制造业、药品制造业、制鞋业等20
个行业/工艺类别,其中与表面涂装相关的有汽车类、卷材类、线圈电线类、
木材类、皮革类、其他类(包括金属、塑料、纺织品、纤维、胶片、纸类等 制品)。电子产品表面涂装工艺可归属于“其他类”表面涂装,与电子产品制 造相关的还有表面清洗。
欧盟VOCs 限制指令对表面清洗有机废气、表面涂装有机废气排放的 VOCs,按有机溶剂消耗量不同分别规定浓度指标限值和无组织排放指标限 值（见表7.2）。
表 7.2 欧盟相关的挥发性有机物（VOCs）排放标准
日本为控制 VOCs 排放，于 2006 年 4 月正式实施了《大气污染防治法》， 2007 年 3 月实施了《生活环境保护条例》，明确提出 2010 年 VOC s 的排 放量要比 2000 年减少 30% .日本在大气污染物方面，只对其电子产品生产 过程的涂布等工艺产生的 VOCs 进行了规定，且规定的排风量在 5000 m3 以 上，其排放量小于 1400ppm（见表7.3）。
表 7.3 日本相关的挥发性有机物（VOCs）排放标准
挥发性有机化合物排放设施 设施规模 排放标准
作为溶剂挥发性有机化合物的 化学品生产中使用的干燥设施
鼓风机风机容量超过
3000 立方米/小时 600ppmC
涂装设备（限于喷漆。） 废气排放量超过
10,000 立方米/小时 汽车制造
现 有
700ppmC
400ppmC
中国《大气污染物排放标准》（GB 16297-1996）中对苯系物等常见挥 发性有机物和非甲烷总烃以及HCl、硫酸雾等都有相关的电子元件生产过程 污染物排放限值。
台湾自上世纪九十年代开始对各类固定污染源污染物的排放进行严格 控制，先后逐渐制定了《半导体制造业空气污染管制及排放标准》等19项行 业空气污染物排放标准，其中大部分的行业涉及到VOCs的排放（见表7.4）。
中国其他地方：北京大气污染综合排放标准（DB11/501-2007）；天津 市工业企业挥发性有机物排放控制标准（DB12/524-2014）、上海市半导体 行业污染物排放标准（DB31/374—2006），对干涉及电子产品制造等行业规 定了大气污染物限值。
表 7.4 台湾半导体行业 VOCs 排放标准 量应小于 0.6kg/hr（以 甲烷为计算基准）。 应小于0.02kg/hr。