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8.1. 适用范围

本标准规定了广东省辖区内电子工业的挥发性有机化合物(VOCs)排放 控制要求。

本标准适用于现有电子工业(包括电子元器件、显示器、电真空及光电 子器件、电子专用材料、电子终端产品等),以及新建、改建、扩建项目的 环境影响评价、设计、竣工验收及其建成后污染源的 VOCs 排放控制。

8.2. 规范性引用文件

GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB 16297 大气污染物综合排放标准

HJ/T 1 气体参数测量和采样的固定位装置 HJ/T 55 大气污染无组织排放监测技术导则 HJ/T 397 固定源废气监测技术规范

HJ/T 584 环境空气 苯系物的测定 活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法 HJ 644 环境空气 挥发性有机物的测定 吸附管采样-热脱附/气相色谱-质谱法

HJ 732 固定污染源废气 挥发性有机物的采样 气袋法

HJ 734 固定污染源废气 挥发性有机物的测定 固相吸附-热脱附/气相 色谱-质谱法

8.3. 术语和定义

标准中术语和定义有:电子企业、标准状态、清洗过程、刻蚀过程、表 面涂装、烘干室、挥发性有机化合物、醛酮类、乙酸酯类、最高允许排放速 率、最高允许排放浓度、无组织排放车间边界浓度、无组织排放监控点浓度 限值等。

8.4. 基本内容 标准时段的划分:

现有源和新源分时段分地区执行不同的排放限值。

现有源自 201□年□月□日起至 201□年□月□日止执行第Ⅰ时段限 值,自 201□年□月□日起执行第Ⅱ时段限值;

新源自本标准实施之日起执行第Ⅱ时段限值。

珠江三角洲地区现有源自 201□年□月□日起执行第Ⅱ时段限值。

标准结构框架:

标准主要包含内容如下:适用范围、规范性引用文件、术语和定义、污 染物排放控制要求、排气筒高度与排放速率要求、污染物监测要求、管理要 求等。

8.5. 标准确定的依据

(1)充分收集电子行业现有资料,在工艺流程分析的基础上,运用物 料平衡方法确定企业生产各工序产生的污染物种类和数量。

(2) 选择典型企业进行实地调研和测试,获取各排污环节的实测数 据。

(3) 根据行业装备水平和污染控制技术所能达到的效果。

(4) 新建企业污染排放标准依据调研实测结果较严值或采用较先进 技术所能达到水平而定。

(5) 参考国家“十三五”期间 VOCs 控制要求,本标准对 VOCs 进行了 较严格的控制,依据先进的控制技术水平可能达到的效果而定。

(6) 大 气 污 染 物 排 放 限 值 的 确 定 结 合 了 《 环 境 空 气 质 量 标 准 》

大气污染物排放限值标准 (DB44/ 27-2001)、北京大气污染综合排放标准

( DB11/501-2007 ); 天 津 市 工 业 企 业 挥 发 性 有 机 物 排 放 控 制 标 准

(DB12/524-2014)、上海市半导体行业污染物排放标准(DB31/374—2006)。

8.6. 污染物项目选择

8.6.1 VOCs 控制物种的选择过程

从众多 VOCs 排放物种中筛选确定标准控制的控制物种, 一般会考虑以 下因素( 但不限于) :污染物排放量;污染物危害程度;污染控制技术的成 熟度与经济承受性; 污染物采样分析方法的配套性。这个因素中,污染物危 害程度是最主要的因素,因为对危害程度大的污染物, 即使排放量不大,

也需要加以控制。VOCs 不同于其他污染物,其危害主要表现在 3 个方面:

部分具有毒性和致癌性;参与了光化学烟雾反应;参与了大气中二次气溶胶 的形成。

本标准以产生量(或排放量)大、毒性较大、光化学活性强、便于监测 为原则,筛选并确定了本标准 VOCs 控制指标。

(1)使用较普遍,产生量(或排放量)大

欧盟和美国等发达国家的电子工业基本普及了无苯系溶剂使用,因此其 VOCs 控制指标不再单另设置苯系物控制指标。但经对广东省电子工业代表 性企业的实地调研发现,目前我国电子工业行业中,除少数生产工艺水平高、

规模大和实力较强的企业外,全行业无苯溶剂的使用尚处于初步阶段。因此,

本标准将苯系物纳入控制指标的筛选范畴。

电子工业企业生产过程中涂料、有机溶剂的使用造成了 VOCs 挥发。文 献调研显示,电子工业企业 VOCs 排放来源主要分为两部分:电路板加工和 产品外壳生产,其主要排放的物质为:苯系物、醛酮类、酯类、卤代烃等;

另一方面,标准制定课题组对企业调研结果也显示,除苯系溶剂外,异丙醇、

乙酸酯类、醛酮类也是我省电子工业行业生产过程中使用较为普遍的有机溶 剂。

综上分析,初步将苯系物、乙酸酯类、异丙醇及醛酮类纳入 VOCs 控制 指标的筛选范畴。

(2)毒性较大

根据以上分析所确定的电子工业中使用量较大的有机溶剂种类,分别分 析了其毒性的强弱(表 8.1)。

表 8.1 电子工业主要使用的几类有机溶剂的毒性

序号 名称 性质 毒性及危害

1 甲苯 无色透明液体,有类似苯的芳香气味;不溶于 水,可混溶于苯、醇、醚等多种有机溶剂。

属中等毒性。LD50:1000mg/kg (大鼠经口)12124 mg/kg(兔 经皮),LC50:5320ppm 8 小时(小鼠吸入);对皮肤、粘膜有刺激 作用,对中枢神经系统有麻醉作用。

2 二甲苯 对、间、邻位二甲苯性质相似,混合二甲苯为 无色透明的液体,有类似甲苯的气味。

属中等毒性,通过吸入、食入、经皮吸收产生影响。LD50 (大鼠 经口)5000mg/Kg,LC50 (大鼠吸入)19747mg/m3,4 小时,大鼠经口最 低中毒剂量(TDL0):19 mg/m3。二甲苯对眼睛及上呼吸道有刺激作

2080mg/kg(大鼠经口) LC50:8000ppm 4 小时(大鼠吸入)。健康危害:

人吸入(4.1g/m3)时引起中枢神经系统的抑制和麻醉;吸入(0.41~

2.05g/m3)时,可引起恶心、呕吐、食欲不振、腹痛,以及呼吸道刺 激症状。

醛酮类 低级酮是液体,具有令人愉快的气味,高碳数 酮(高级酮)是固体。

7 乙酸 乙酯

纯净的乙酸乙酯是无色透明有芳香气味的液 体,是一种用途广泛的精细化工产品,具有优 异的溶解性、快干性,用途广泛,是一种非常 重要的有机化工原料和极好的工业溶剂,

属低毒类。侵入途径:吸入、食入、经皮吸收。健康危害:对眼、鼻、

咽喉有刺激作用。高浓度吸入可引起进行性麻醉作用,急性肺水肿,

肝、肾损害。持续大量吸入,可致呼吸麻痹。

8 乙酸 丁酯

纯净的乙酸丁酯是无色透明有芳香气味的液 体,是一种优良的有机溶剂,对乙基纤维素、

醋酸丁酸纤维素、聚苯乙烯、甲基丙烯酸树脂、

氯化橡胶以及多种天然树胶均有较好的溶解 性能

属低毒类。侵入途径:吸入、食入、经皮吸收。健康危害:对眼及上 呼吸道均有强烈的刺激作用,有麻醉作用。吸入高浓度本品会出现流 泪、咽痛、咳嗽、胸闷、气短等症状,严重者会出现心血管和神经系 统的疾病,可引起结膜炎、角膜炎,角膜上皮有空泡形成。皮肤接触 可引起皮肤干燥

(3)具有较强的光化学反应活性。

美国加利福尼亚州空气资源管理委员会(CARB)研究了各种 VOCs 物种的最大反应增 量(Maximum Incremental Reactivity,MIR),用于表达单位质量每种 VOCs 物种生成 O3

的潜力。MIR 值越大,表示单位质量的该 VOCs 物种产生的 O3越多,即对光化学污染的贡

综上分析考虑以上筛选原则,选择苯、甲苯、二甲苯、苯系物、异丙醇、醛酮类、乙

E03 公司 排气筒出口(直排) N.A 0.43 1.03 1.46 N.A N.A N.A 1.46

(GB16297-1996)中新污染源的苯最高允许排放浓度(12 mg/m3);与北京市《大气污染 物综合排放标准》(DB11/501-2007)、天津市《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》

(DB12/ 524-2014)关于苯的最高允许排放浓度限值一致。

甲苯:本标准甲苯排放浓度限值 10/5 mg/m3严于现行《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)中甲苯最高允许排放浓度(60/40 mg/m3);北京市《大气污染物综合排 放标准》(DB11/501-2007)与天津市 《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》 (DB12/

524-2014)均无甲苯单独浓度限值。

二甲苯:本标准二甲苯排放浓度限值 20/10 mg/m3严于现行《大气污染物综合排放标 准》(GB16297-1996)中二甲苯最高允许排放浓度(90/70 mg/m3);北京市《大气污染物

综合排放标准》(DB11/501-2007)与天津市 《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》

(DB12/ 524-2014)均无二甲苯单独浓度限值。

苯系物:相比现行《大气污染物综合排放标准》(GB16297)中苯系物(甲苯、二甲苯)

最高允许排放浓度加和(110 mg/m3),本标准苯系物浓度限值大幅收严至 30/15 mg/m3

524-2014)

北京大气

27-2001)

监测均值

苯 17/12 1/1 1/1 12 0 甲苯 60/40 40/10 30/12 40 4.96

二甲苯 90/70 70 7.30

苯系物 110 40/10 30/12 110 12.54

附注:①北京市《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2007)I 时段自实施之日起到 2009 年 12 月 31 日,II 时段自 2010 年 1 月 1 日起。

②天津市《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》(DB12/ 524-2014)I 时段自实施之日起到 2015 年 01 月 01 日,II 时段自 2016 年 1 月 1 日起。

不完全符合行业特征,故根据调研监测结果,醛酮平均浓度范围为:27.81 mg/m3,且 E03 16297-1996)。一直以来,我国以二氧化硫、氮氧化物、颗粒物常规污染物排放控制为重 点,而电子工业等并非传统意义上的重点控制行业,其大气污染物主要来自涂料、有机溶

图 8.1 各标准中 VOCs 排放浓度限值对比

本标准VOCs的浓度限值60/30mg/m3 严于国家《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)表2中VOCs的浓度(120 mg/m3),严于天津市《工业企业挥发性有机 化合物排放控制标准(DB12/ 524-2014)》(80/50 mg/m3和上海市《半导体行业污染物排 放标准(DB31/374—2006)》(100 mg/m3的要求;仅次北京市《大气污染物综合排放标 准》(DB11/501-2007)中半导体及电子产品制造VOCs的浓度限值(50/20 mg/m3)。

因此,我们认为采用VOCs 的现有企业限值为60 mg/m3,新建企业限值为30 mg/m3 较 为合理。

2)VOCs 最高允许排放速率的确定

最高允许排放速率的确定首先按照《制定地方大气污染物排放标准的技术方法》

(GB3840-1991)中规定的方法进行计算。计算公式如下:

M C

Q C RK

 其中:

Q,单一排气筒允许排放速率,kg/h;

Cm,标准浓度限值;

R,排放系数(二类区取 6);

根据 GB3840-1991 规定,苯和二甲苯的标准浓度限值分别根据 TJ 36 规定的居住区日 平均容许浓度限值;甲苯和总 VOCs 的标准浓度限值则分别选取《室内空气质量标准》(GB/T

根据 GB3840-1991 规定,苯和二甲苯的标准浓度限值分别根据 TJ 36 规定的居住区日 平均容许浓度限值;甲苯和总 VOCs 的标准浓度限值则分别选取《室内空气质量标准》(GB/T

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