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本项目通过对于电子工业 VOCs 排放标准研究,在排放控制特征污染物指标、清洁生 产源头控制、对排气筒不再进行高度分类等三方面取得创新成果,达到国内领先水平。本 标准首次突出毒性物质对人体健康和环境的影响, 是一个良好的开端,实现国际接轨,规 范电子工业挥发性有机物的排放限值,可满足电子工业 VOCs 排放及污染物总量控制的环 境管理要求。

10.1. 制定电子行业排放控制特征污染物指标 1) 现行标准存在的问题

① 指标偏少

对于电子行业的污染排放标准,目前国家尚未颁布,行业涉及众多不同的产品生产工 艺,仅参照《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)和《广东省大气污染物排放限 值标准》 ,现行标准仅对排放的部分等污染物苯、甲苯、二甲苯等规定了排放限值;国 内地方行业标准有 1-3 个指标:如 《上海市半导体行业污染物排放标准(DB31/374—

2006)》规定中只有挥发性有机物(VOCs)一种物质指标,《北京大气污染综合排放标准

(DB11/501-2007)》规定半导体及电子产品制造控制项目有苯 、甲苯与二甲苯合计 、非 甲烷总烃 3 个指标,《天津市工业企业挥发性有机物排放控制标准(DB12/524-2014)》规 定电子工业行业控制项目有苯 、甲苯与二甲苯合计 、VOCs 3 个指标。缺少电子行业特 征污染物项目,不能满足行业 VOCs 控制要求。

② 针对性差

目前,电子工业企业大气污染物排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297 -1996)。一直以来,我国以二氧化硫、氮氧化物、颗粒物常规污染物排放控制为重点,而 电子工业等并非传统意义上的重点控制行业,其大气污染物主要来自涂料、有机溶剂使用 过程中排放的 VOCs。

考虑到制订 GB 16297-1996 时,我国尚缺乏 VOCs 控制和管理方面的实际情况。

随着我国电子工业的迅猛发展,现行排放标准缺少电子行业特征污染物项目苯系物、

异丙醇、醛酮类、乙酸酯类等作为标准中特殊控制的 VOCs 指标,不能反映行业的生产特 殊性。因此难以满足污染物排放及总量控制的环境管理要求。

2)制定特征污染物指标

本标准 VOCs 控制指标的确定,不仅要考虑该 VOCs 物种是电子行业生产中普遍使用的、

产生量(排放量大)、毒性较大、对地表臭氧生产贡献较大的 VOCs 物种,还应充分考虑目 前 VOCs 监测方法以及我省各级监测站的 VOCs 监测水平,以便标准具有可操作性。

本标准突破常规,根据有机物毒性等、光化学活性等污染对健康与环境的影响增加几 个控制物质,本标准规定 8 项控制物质指标:苯、甲苯、二甲苯、苯系物、异丙醇、醛酮 类、乙酸酯类作为标准中特殊控制的 VOCs 指标和综合性控制指标, 涵盖电子工业特征污 染物。

尽管本标准已对主要的 VOCs 物种做了具体规定,但仍难以将各种有毒有害的 VOCs 污染物都通过单独设定限值来控制,为在总体上控制 VOCs 的排放,本标准设置 VOCs 综合 性控制指标。

我们认为,本标准排放控制 8 个指标,基本上与电子工业发展形势相适应,可以满足 电子工业 VOCs 排放及污染物总量控制的环境管理要求。

10.2. 清洁生产源头控制(如增加车间边界浓度控制)

目前,我国大气污染防治法中没有对有毒有害废气进行明确界定,《大气污染物综合 排放标准》( GB 16297-1996),仅对苯、甲苯、二甲苯以及酚类和甲醛的排放浓度进行限 制,很多行业对有毒空气污染物缺乏相应的控制标准,无法对其进行有效控制

本标准首次突出毒性物质对人体健康和环境的影响, 是一个良好的开端,实现国际接 轨,规范电子工业挥发性有机物的排放限值,在苯系物、异丙醇、醛酮类、乙酸酯类等指 标排放限值的设定方面处于国际领先水平。

1)现行标准排放限值过于宽松

现行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中污染源的苯最高允许 排放浓度(12 mg/m3);甲苯:(40/10 mg/m3);二甲苯:(40/10 mg/m3);苯系物

(甲苯、二甲苯)最高允许排放浓度加和(110 mg/m3)等排放限值过于宽松,明

治理的行动计划。

2)本标准排放限值

① 排放浓度

一些活性强的 VOCs 可以在一定条件下与氮氧化物发生光化学反应,引起地表臭氧 浓度的增加,形成光化学烟雾污染,也可以与大气中的一些自由基反应,形成二次有机气 溶胶.部分 VOCs 如氯代烃类则消耗平流层的臭氧,形成臭氧空洞.一些研究结果表明 VOCs 可对人体健康造成一定的危害。

我国原来大气污染防治法中没有对有毒有害废气进行明确界定,相关标准体系的制定 缺乏系统性,很多行业对有毒空气污染物缺乏相应的控制标准,无法对其进行有效控制。

苯:本标准苯排放浓度限值 1 mg/m3,严于现行《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)中新污染源的苯最高允许排放浓度(12 mg/m3);

甲苯:本标准甲苯排放浓度限值 10/5mg/m3,严于现行《大气污染物综合排放标准》

(GB16297-1996)中甲苯最高允许排放浓度;

二甲苯:本标准二甲苯排放浓度限值 20/10mg/m3,严于现行《大气污染物综合排放标 准》(GB16297-1996)中甲苯最高允许排放浓度;

苯系物:相比现行《大气污染物综合排放标准》(GB16297)中苯系物(甲苯、二甲苯)

最高允许排放浓度加和(110 mg/m3),本标准苯系物浓度限值大幅收严至 30/15mg/m3,旨 在电子工业严格控制苯系物排放;

异丙醇:目前国内的相关标准没有关于异丙醇的单独浓度限值,根据调研监测结果,

本标准的浓度限值为 5 mg/m3

乙酸酯类:指乙酸乙酯、乙酸甲酯和乙酸丁酯的合计。目前国内的相关标准没有关于 乙酸酯类的浓度限值,根据调研监测结果,本标准的浓度限值为 10 mg/m3

醛酮类:指指根据 HJ 683 测量的醛、酮类化合物的合计。目前国内的相关标准没有 关于醛酮的浓度限值,北京市《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2007)中醛酮类物 质是针对全部行业,不完全符合行业特征,故根据调研监测结果,本标准的浓度限值为 20 mg/m3

VOCs :VOCs 排放浓度限值,现有企业限值为 60mg/m3,新建企业限值为 30 mg/m3

② 排放速率

苯、甲苯和二甲苯:苯属于毒性较大、光化学反应活性大、危害大的物质。目前电子

中半导体及电子产品制造VOCs的浓度限值(50/20 mg/m3)(见表10.1)。

表10.1 国内相关行业标准VOCs 指标比较表 mg/m3 DB12/524

上海市

甲苯

国家的《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)是综合排放标准,缺少电子行 业 VOCs 针对性要求。

在《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)和广东、上海等排放标准中有排气 筒高度 15 米以上分级的要求。排气筒高度分级,实际操作手续繁琐,效率不高,对于挥

发性有机物排放控制是无帮助的。

本标准规定建设项目的排气筒高度一般不应低于15m。

企业排气筒高度应高出周围200 m 半径范围的最高建筑 5 m 以上,不能达到该要求 的排气筒,应按本标准中表1 所列对应排放速率限值的 50%执行。

某排气筒高度高于15m,其排放速率同样执行本标准中表 1 的最高允许排放速率。

本标准规定建设项目的排气筒一般不应低于 15m 之后,不再进行高度分类,只规定了 一种高度的排放限值,不能达到该要求的排气筒,应执行同类排放速率限值、最高允许排 放浓度限值。

不管排气筒高度多少,不需要进行排气筒最高允许排放速率的内插法和外推法计算,

都执行同样排放速率限值、最高允许排放浓度限值,不但简化执行指标内容,也是标准从 严的体现。

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