第五章 結果與討論
5.2 標準安全規範訂立
5.2.4 區域洗滌設備安全規範建立
參考勞研所公布之半導體製造業晶圓廠設施安全檢核指引【34】，美國防火協會 ( (National Fire Protection Association ,NFPA)所公佈之無塵室防護標準【35】，國際半導 體設備與材料產業協會（SEMI）所公佈之半導體製造設備安全衛生與環保基準，半導 體製造設備排氣通風標準【36】，半導體製造設備電氣設計安全基準【37】，與PSC 區域 洗滌設備安全與環保驗收規範【38】，與先前探討出之硬體安全裝置與連動機制，建立 標準規範與查核表。
1. 電氣安全
1.1 應有配電系統安全檢測，檢測項目至少需有保護協調機制與接地系統。
1.2 設備通電之電線端子外露，且大於危險電壓30Vrms 或42.4V 尖峰值，需加裝 不導電板或接地觸電阻隔，並須有危害標示標明潛在觸電危害。
1.3 設備表面漏電流應小於3.5ma。
1.4 接地保護線端子和可接觸到的金屬表面之前不能超過0.1 歐姆以上之電阻。
1.5 主電源開關之最低過電流率應列於設施安裝及保養手冊中，並於安裝後保養 項目持續測試。
1.6 設備應具有主要過電流保護裝置，對於交流電240V以下之電路，此裝置應至 少能承受10000 Arms 短路電流，對於240 V 以上之電路，至少能承受14000
Arms短路電流。
1.7 電源須有上鎖與懸掛標籤裝置，並於標準程序書中詳細說明上鎖方法及程
序。
1.8 設備須掛設名牌，製造商名、型號、電器資料( 電流、電壓、頻率)電力來源 需標示。
2. 化學品安全與標示
2.1 處理可燃性、自燃性及其混合氣體之製程排氣處理設備，應具有備用或兼用 製程排氣處理系統。或管內任何位置可燃性氣體濃度必須小於1/4 LEL，方可 自動旁路(By-pass)排放。
2.2 操作維修手冊與處理設備表面，應說明或圖示有害物質使用於設備上可能之 危害，並標以注意(Caution)、警告(Warning)、危險(Danger)等文字。
2.3 裝有有害物質之容器（濾心），應有明顯標示(圖示及內容)，圖示內文字應以 中文為主。
3. 緊急停止裝置（Emergency Off Circuits, EMO）
3.1 緊急停機按鈕需標示清楚，且需設於方便操作處，人員操作距離與EMO 按 鈕不應超過3m。
3.2 緊急停機按鈕形狀應為紅色且為蘑菇狀易於辨識。
3.3 當緊急停機啟動後，緊急停機的電路應保持通路狀態，而其它電力源應被切 斷，避免產生進一步災害。
3.4 當緊急停機啟動後，主機台端應需要有警報訊息，與自動停止排放製程尾氣。
3.5 緊急停機裝置需為硬體設備，且有手動復歸按鈕設計。而其電路與功能需在 安裝及維修說明書內詳細載明。
4. 硬體安全裝置
4.1 溫度偵測器：偵測燃燒室內外，冷卻槽，分離槽，循環水槽，進氣與排氣端。
4.2 壓力偵測器：偵測進氣與排氣端，燃燒室，設備使用之氣體壓力。
4.3 燃燒室火焰偵測器：偵測燃燒室是否有火焰。
4.4 流量監測器：偵測設備使用之液體（回收水）入口端與水洗塔流量。
4.5 液位偵測器：偵測循環水槽液位高低。
4.6 漏液偵測器：燃燒水洗式區域洗滌設備使用，偵測是否有漏液產生。
4.7 偵煙感知器：偵測內部是否有火災發生。
4.8 瓦斯偵測器：偵測瓦斯供應是否有洩漏。
4.9 氣體偵測器：偵測有害氣體是否外洩。
4.10 色相指示器：判斷吸附劑是否飽和。
4.11 出口排氣端氣體偵測器：判斷吸附劑是否飽和。
4.12 防震基座：設置適當且符合規範之防震基座。
5. 安全互鎖裝置（Interlock）
5.1 應建立硬體與軟體安全互鎖機制，並將每一安全互鎖裝置及其操作方法，須 於操作及維修手冊中詳細說明。
5.1.1 進氣端與出口端壓力偵測超過其設定值應該正常連動供應系統停止 功能，並開啟旁通排放處理機制。
5.1.2 燃燒室，冷卻槽，循環水槽，進氣管路等溫度偵測超過其設定值應該 正常連動供應系統停止功能，並開啟旁通排放處理機制。
5.1.3 燃燒室火燄偵測器如無偵測到火燄，應能正常供應連動系統停止，並 開啟旁通排放處理機制。
5.1.4 進水流量監測器如流量低於設定值，應能正常連動供應系統停止，並 開啟旁通排放處理機制。
5.1.5 供應氣體壓力低於設定值，應能正常連動供應系統停止，並開啟旁通 排放處理機制。
5.1.6 液位監測器應能設定二段以上警報，如超過第一段監測液位，應該自 動開啟排水幫浦進行排水，超過第二段則連動供應系統停止，並切換 旁通排放處理。當系統停止時，該液位偵測功能應還能正常動作，防 止水供應開關閉鎖失效。
5.1.7 漏液偵測器應能自動連動供應系統停止，與切換旁通排放處理。
5.1.8 煙霧偵測器應能自動連動供應系統停止，與切換旁通排放處理。
5.1.9 瓦斯偵測器應能自動連動供應系統停止，與切換旁通排放處理。
5.2 安全互鎖裝置須為失效也安全(Fail Safe)設計之硬體裝置。
5.3 Interlock 啟動後須有警報或視覺通知操作人員，並馬上顯示於螢幕上，操作 人員須能立即判斷原因處理。
5.4 維修時，若需要可將安全互鎖 By pass，但維修完畢回到正常運轉狀態時，
安全互鎖功能須將其正常恢復。
6. 設備管路
6.1 Local Scrubber 內所有管路與Pump本體及其零件應為抗腐蝕材質。
6.2 排氣管路需標示排氣內容物（酸，鹼，有機）性物質。
6.3 任何組件內含有壓力之危害物，其機械性接頭必須密封以防洩漏，機械性接 頭與各組件需經耐壓測試。
6.4 對於Local Scrubber 底部水洗槽若加入酸鹼其管件結合處之O 型環須耐腐蝕 材料，管件須有固定基座且有足夠空間進行維修。
7. 文件資料
7.1 設備之潛在危害與安全控制及相關安全流程應在操作保養手冊上說明，並以 插圖方式說明危害警告，手冊應採用使用者能瞭解的國際語言。
7.2 文件資料需載明設備供應商提供各項評估項目與第三方公證單位測試準則及 結果，機台型號及全部系統設備及基礎組件之說明圖表。
7.3 設備廠商(或代理商)需提出完整之Semi S2認證報告。
8. 通風與排氣
8.1 Local Scrubber 設備須有箱體密閉櫃，並應提供箱體排氣，其排氣壓力須能 有效捕捉洩漏物質，依照SEMI S2 0706 指引，其建議設置面速度以 0.5米/
秒，或靜壓在-1.3 ~ -2.5 mmH20 之間。
8.2 依照SEMI S2 0706 指引，幫浦與設備排氣管路排氣壓力以-6 mmH20 ~ -25 mmH20之間。
8.3 應每日點檢Local Scrubber 靜壓值，並確實記錄。
8.4 箱體排氣管路應分類裝設氣體偵測器，並能警報傳送至中央監控，通知負責 單位處理。
8.5 在系統正常操作下，該製程排放不得有危害物質洩漏，且如發生洩漏，不得 超過ACGIH 的TLV 值或OSHA要求之PEL 值。
8.6 針對較易管路阻塞之製程，應採用可互相Back Up之設計，如（PGD、PGT）
型式之區域洗滌設備。
9. 維修保養
9.1 維修保養停機前須重覆確認主機台狀況，避免誤關狀況發生。
9.2 Local Scrubber 保養時應先將管路與組件內有害氣體排空，建議以乾式幫浦 空抽30 min，在通入氮氣Purge後，方可進行拆管。
9.3 Local Scrubber 保養時，拆卸完之管路後須立即Cap，避免管內殘餘有害氣體 外洩至環境。
9.4 保養人員須全程穿戴安全防護具（手套，防護衣，全罩式濾毒灌面具）。
9.5 保養維修時，需確實進行機台互鎖功能測試。
10. 排放處理效率
10.1 無論任何型式之Local Scrubber對於製程產生的所有可燃性、酸鹼腐蝕性、
毒性氣態污染物(不包含PFC)，其處理效率均需達到99%以上，而PFC氣體的 處理效率則應達95%以上(其中CF4應達90%以上)，固態（粒狀）污染物去除 效率，則以粒徑＜0.1μm微粒物質質量去除率應達90%以上。上述效率計算 應以處理設備前後端的污染物質流量做基準。
10.2 Local Scrubber出口端排入後端管路需進行溫度及氣體相對溼度檢測（建議 相對濕度不得超過70%），以避免導致水氣於排氣風管凝結現象。
10.3 對於製程產生的所有可燃性、酸鹼腐蝕性、毒性氣態污染物(不包含PFC) 處 理效率於驗收時亦應檢附公正之第三單位出具之檢測報告，並採用可檢出處 理效率的檢測設備及方法。
10.4 對於PFC氣體處理效率於驗收時應檢附公正之第三單位出具之檢測報告，並 採用可檢出處理效率的檢測設備及方法。測試時的條件應包括至少3組以上 之操作條件(即至少須包含該型式L/S對於所有機台使用之PFC氣體處理效 率於90%、介於90%與其最佳處理效率之中間值、及其最佳處理效率時之操 作條件)，且需在機台正常運作下的狀況分別測試，並將結果完整載於檢測 報告內。