第五章 結果與討論
5.2 標準安全規範訂立
5.2.2 燃燒水洗式區域洗滌設備安全連鎖設計
燃燒式區域洗滌設備（Local scrubber）應必需要具備安全連鎖設計，如壓力過高之 連動功能。且應使用即使設備失效也能安全(Fail Safe)的安全連鎖裝置。當安全連鎖作動 時，使設備自動處於安全的備用狀態。而電腦硬體控制若失效時，設備仍必須有自動維 持硬體的安全連鎖裝置的功能。而安全連鎖設計項目，參考目前廠內使用各廠牌之連鎖 功能設計，如附錄七、八、九所示【33】。而該廠內燃燒式及電熱式區域洗滌設備自動
連鎖方式，如下列所示。
1. 進氣端阻塞：進氣管路超過其壓力設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/N2 供應關閉與切換旁通排放。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉。
2. 燃燒室高溫：燃燒室溫度超過溫度設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/N2 供應閥關閉與切換旁通排放。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉。
3. 燃燒室低溫：燃燒室溫度低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：僅止警報顯示。
(2). Unisem：無設定此功能。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉。
4. 燃燒室無火燄：火燄偵測器（UV/IR）無偵測到火燄，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air 供應閥關閉與切換旁通排放。
(3). 台禹：無此裝置。
5. 燃燒室外部高溫：燃燒室外部溫度高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
6. 進氣管路過熱：進氣管路溫度高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
7. 進排氣口壓差異常：進出口排氣壓差超過設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉。
8. 燃燒室進氣口過熱：燃燒室進氣口溫度超過設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
9. 氮氣壓力異常：供應壓力低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：僅警報顯示。
(2). Unisem：NG/O2/Air供應系統關閉.
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放。
10. 循環水槽液位高：循環水槽水位高於偵測點，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/PCW/CW供應關閉與切換旁通排放。
(3). 台禹：系統切換旁通排放與加熱器關閉，CW供應閥關閉與排水幫浦開啟。
11. 循環水槽液位低：循環水槽水位低於偵測點，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：供應系統正常運作，加熱器關閉和排水幫浦與排水閥門關閉。
12. 循環水槽高溫：循環水槽偵測溫度高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air供應系統關閉與切換旁通排放。
(3). 台禹：無此功能。
13. 循環水入口流量異常：循環水槽入口偵測流量高於設定植，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：供應系統正常運作，系統切換旁通排放與加熱器關閉，循環幫浦關閉。
14. 液體洩漏：漏液偵測器偵測到漏液，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/PCW/CW供應關閉與排氣切換旁通排放。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉，CW/PCW 供應 關閉。
15. 液位偵測器故障：偵測器訊號電路開路，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
16. 排氣端高溫：排氣出口端溫度高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：NG/O2/Air供應系統關閉。
(3). 台禹：系統切換旁通排放與加熱器關閉。
17. 排氣端阻塞：排氣出口端壓力高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：NG/O2/Air/N2供應關閉與排氣切換旁通排放。
(3). 台禹：排氣系統切換旁通排放與加熱器開啟。
18. 偵煙器動作：內部偵測到煙霧，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/N2/PCW/CW供應關閉與供應關閉與排氣切換旁通排放。
(3). 台禹：排氣系統切換旁通排放與加熱器關閉。
19. 氧氣供應高壓：氧氣供應壓力過高，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：TPU系統自動關閉與切換旁通排放，ATLAS僅警報顯示。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
20. 氧氣供應低壓：氧氣供應壓力低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air供應關閉與切換旁通排放。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉。
21. 空氣供應低壓：空氣供應壓力低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/PCW/CW供應關閉與切換旁通排放。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉。
22. 空氣/瓦斯混合室高壓：空氣與瓦斯混合室壓力高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
23. 空氣/瓦斯混合室高溫：空氣與瓦斯混合室溫度高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
24. 冷卻槽外部高溫：冷卻槽外部溫度高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
25. 冷卻槽出口高溫：冷卻槽排氣出口端溫度高於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：UNSEM:NG/O2/Air 供應關閉與排氣切換旁通排放。
(3). 台禹：無此功能。
26. 冷卻槽進水流量異常：冷卻槽噴頭進水流量低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：僅ATLAS有系統自動關閉與切換旁通排放之功能。
(2). Unisem：無此功能。
(3). 台禹：無此功能。
27. 冷卻水排水壓力異常：冷卻回水端壓力低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：NG/O2/PCW/CW供應系統關閉。
(3). 台禹：無此功能。
28. 冷卻水供應壓力異常：冷卻供應端壓力低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：無此功能。
(2). Unisem：NG/O2/PCW/CW供應系統關閉。
(3). 台禹：供應系統正常運作，排氣切換旁通排放與加熱器關閉。
29. 瓦斯洩漏：內部管路有瓦斯洩漏，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/N2 供應關閉與排氣切換旁通排放。
(3). 台禹：無此功能。
30. 瓦斯供應壓力低：瓦斯供應壓力低於設定值，則各廠牌連動功能：
(1). BOC：供應系統自動關閉與切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air/供應關閉與排氣切換旁通排放。
(2). Unisem：NG/O2/Air供應關閉。
(3). 台禹：系統切換旁通排放與加熱器關閉，排水幫浦與排水閥門關閉。
而在該廠內燃燒水洗式與電熱水洗式，區域洗滌設備連鎖裝置警報設定彙整，如表 5-6 所示【33】。
表 5-6 燃燒與電熱水洗式連鎖裝置警報設定【33】
項
次 Scenario BOC-TPU/Zenith BOC-ATLAS UNISEM 台禹（電熱）
1 進氣端阻塞 >+50 毫米水柱 >+50 毫米水
8 燃燒室進氣口過熱 120℃ 180℃ 無 無
(3). 燃燒室火燄偵測器如無偵測到火燄，應能正常連動供應系統停止，並開啟旁 通排放處理機制。
(4). 進水流量監測器如流量低於設定值，應能正常連動供應系統停止，並開啟旁 通排放處理機制。
(5). 供應氣體壓力低於設定值，應能正常連動供應系統停止，並開啟旁通排放處 理機制。
(6). 液位監測器應能設定二段以上警報，如超過第一段監測液位，應該自動開 啟排水幫浦進行排水，超過第二段則連動供應系統停止，並切換旁通排放處 理。當系統停止時，該液位偵測功能應還能正常動作，防止水供應開關閉鎖 失效。
(7). 漏液偵測器應能自動連動供應系統停止，與切換旁通排放處理。
(8). 煙霧偵測器應能自動連動供應系統停止，與切換旁通排放處理。
(9). 瓦斯偵測器應能自動連動供應系統停止，與切換旁通排放處理。