異常事件基本原因分析

根據區域洗滌設備氣體洩漏異常事件統計結果，針對各項異常元件進行直接原因，

間接原因，基本原因分析。如下列所示：

1. 管路阻塞導致氣體洩漏事故佔總異常事件41％。

(1). 直接原因：製程排氣洩漏造成氣體偵測器動作。

(2). 間接原因：排氣管路阻塞導致壓力升高。

(3). 基本原因：壓力異常警報，未自動切換旁通排放（安全連鎖裝置失效）。與長 期旁通排放造成旁通管路阻塞，導致切換時造成壓力過大造成洩 漏。

(4). 改善對策：每日壓力點檢，維修保養時進行連動測試。針對阻塞情況較多之製 程（Ti/TiN，W/Wsi，BPSG/TEOS，SIN）等製程進行保養週期規 劃，降低阻塞導致氣體洩漏事故次數。

2. 管路接點鬆脫導致氣體洩漏事故，佔總洩漏事故27％。

(1). 直接原因：製程排氣洩漏造成氣體偵測器動作。

(2). 間接原因：管路接點鬆脫導致氣體洩漏。

(3). 基本原因：管路震動造成接點鬆脫。

(4). 改善對策：維修保養後重覆確認各接點是否鎖固，墊片是否密合。

3. 排氣管路元件破損導致氣體洩漏事故，佔總洩漏事故10％。

(5). 直接原因：製程排氣洩漏造成氣體偵測器動作。

(6). 間接原因：管件破裂造成氣體洩漏。

(7). 基本原因：管件腐蝕造成管路破損。

(8). 改善對策：維修保養確認各管件狀況，每次保養之管件墊片建議更換。

4. 區域洗滌設備元件故障及破損導致氣體洩漏事故，佔總洩漏事故10％。

(1). 直接原因：製程排氣洩漏造成氣體偵測器動作。

(2). 間接原因：元件內襯材質破裂或故障造成內部阻塞造成壓力升高導致氣體洩 漏。

(3). 基本原因：製程排氣管內壓力升高，造成氣體洩漏。

(4). 改善對策：維修保養測試各元件，及確認內部材質是否有腐蝕破損。

5. 作業管理缺失導致氣體洩漏事故，佔總洩漏事故10％。

(1). 直接原因：製程排氣洩漏造成氣體偵測器動作。

(2). 間接原因：人員不安全動作及人員疏失。

(3). 基本原因：維修時管路未Cap及導管未銜接與關錯機台。

(4). 改善對策：人員教育訓練及保養前工具箱會議。

根據區域洗滌設備液體洩漏異常事件統計結果，針對各項異常元件進行直接原因，

間接原因，基本原因分析。如下列所示：

1. 設備元件故障(供水流量控制閥，排水幫浦，液位計)導致液體洩漏事故，佔總洩 漏事故30％。

(1). 直接原因：液體洩漏造成漏液偵測器動作。

(2). 間接原因：因軟體設定異常造成供水流量開關無法動作，與排水幫浦與液位計 失效故障造成無法連動水停止供應。

(3). 基本原因：設備元件失效且互鎖功能系統設定異常。

(4). 改善對策：修正系統互鎖功能設定，使如漏液偵測器動作，系統Idle，但循環 水槽液位計連動排水幫浦啟動功能仍可連動。加上機台保養時確實 進行功能測試。

2. 設備管路接點鬆脫（循環水幫浦，排水幫浦，水供應接頭等）導致液體洩漏事 故，占總洩漏事故23％。

(1). 直接原因：液體洩漏造成漏液偵測器動作。

(2). 間接原因：管路接點鬆脫導致液體洩漏。

(3). 基本原因：因幫浦運轉造成管路震動，長久導致管路接點鬆脫。

(4). 改善對策：每次保養確認管路接點有無鬆脫現象。

3. 設備管件破損（循環水幫浦接頭，排水幫浦接頭，LSR接頭，水供應管路接頭等）

導致液體洩漏事故，占總洩漏事故21％。

(1). 直接原因：液體洩漏造成漏液偵測器動作。

(2). 間接原因：管路與接頭破損導致液體洩漏。

(3). 基本原因：因幫浦啟動與停止，造成管路震動產生水槌現象，導致管路接頭 有龜裂及破損。

(4). 改善對策：每次保養確認管路與接頭有無破損現象，降低排水管路高度，避 免管路水錘震動過大。

4. 設備元件破損（循環水幫浦軸封，生產補給水Filter外殼與Filter墊片等）導致液體 洩漏事故，占總洩漏事故12％。

(1). 直接原因：液體洩漏造成漏液偵測器動作。

(2). 間接原因：循環水幫浦Filter外殼與墊片破損導致液體洩漏。

(3). 基本原因：循環水幫浦長時間接觸酸性廢水，造成軸封腐蝕。生產補給水濾心 盒材質不良與該墊片密合不佳導致液體洩漏。

(4). 改善對策：每次保養確認濾心盒與循環幫浦等元件現況有無破損。

5. 作業管理缺失（人員保養作業，閥件誤關，不當使用中央集塵管等）導致液體洩 漏事故，占總洩漏事故10％。

(1). 直接原因：液體洩漏造成漏液偵測器動作。

(2). 間接原因：保養作業與人員誤操作導致液體洩漏。

(3). 基本原因：人員不安全動作與疏失。

(4). 改善對策：人員教育訓練及保養前工具箱會議。

6. 排水管路阻塞（區域洗滌設備排水管與排水管路手動閥）導致液體洩漏事故，占 總洩漏事故4％。

(1). 直接原因：液體洩漏造成漏液偵測器動作。

(2). 間接原因：區域洗滌設備排水手動閥片遭腐蝕與WESP內部元件掉落，造成阻 塞管

路，導致水槽溢流。

(3). 基本原因：元件腐蝕破損與Powder阻塞管路。

(4). 改善對策：於循環水槽中，增設柵欄以阻隔粒狀物，避免Powder阻塞後端管路 與增加保養清理頻率。

根據區域洗滌設備煙霧產生之異常事件統計結果，針對各項異常元件進行直接原 因，間接原因，基本原因分析。如下列所示：

1. 管路阻塞導致煙霧事故佔總異常事件40％。

(1). 直接原因：Powder 噴出造成偵煙感知器動作。

(2). 間接原因：排氣管路壓力升高，造成powder噴出。

(3). 基本原因：管路壓力異常未自動切換旁通排放。

(4). 改善對策：每日壓力點檢，維修保養時進行連動測試。針對阻塞情況較多之製 程（Ti/TiN，W/Wsi，BPSG/TEOS，SIN，Metal）等製程進行保養 週期規劃，降低阻塞導致氣體洩漏事故次數。

2. 作業管理缺失導致煙霧事故佔總異常事件40％。

(1). 直接原因：清理powder產生煙霧造成偵煙感知器動作。

(2). 間接原因：保養人員誤操作造成煙霧產生。

(3). 基本原因：人員不安全動作與疏失。。

(4). 改善對策：人員教育訓練與工具箱會議宣導。

3. 設備元件溶毀導致煙霧事故佔總異常事件20％。

(5). 直接原因：煙霧產生造成偵煙感知器動作。

(6). 間接原因：防震護套溶毀造成煙霧產生。

(7). 基本原因：護套材質耐溫不足造成熔毀。

(8). 改善對策：保養時點檢相關管路護套是否有相同熱熔狀況。