第五章 結果與討論
6.2 建議
就本文探討後半導體廠失效因子最高者仍為管路阻塞造成氣體洩漏，但因成本因素 無法完全改善至零發生率。但就本研究結果，可將預期發生之元件危害性，提供相關同 業參考之。另因區域洗滌設備廠牌眾多，其設計原理與警報設定皆不一，後續藉由本文 之彙整研究，建議業界在選擇處理設備，可審慎評估其適用性，包括安全機制與處理效 率及設備在裝機測試與保養維修應注意要素。未來除了可繼續探討各項半導體製程區域 洗滌設備之安全功能性，並可將本文中異常元件風險評估與成本效益分析納入研究考 量。
參考文獻
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附錄
附錄一、常見半導體排氣不相容物質
附錄二、HazOp 空白分析表 製程/操作程序名稱:
研討節點：
設計目的
項目 製程偏離 可能原因 可能危害／後果 防護措施／補充說明 嚴 重 性
可 能 性
風 險 等 級
改善建議
附錄三、FMEA 空白分析表
項
次 失效因子 失效模式 失效機率(hr) 嚴 重 度
可 能 性
失效影響 預防及改善措施
風 險 等 級
附錄四、氣體洩漏事故 FMEA 分析結果
7 Scrubber Inlet Clamp
O-ring 排氣管路_元件破損 1.6E-4 4 4 1.氣體洩漏造成人員吸入受傷
11 Condensing Zone 內部元件故障_破損 6.8E-5 4 3 1.氣體洩漏造成人員吸入受傷 2.可燃性氣體洩漏造成火災
1.保養時測試各元件，及確認內部材質是否
有腐蝕破損。 4
12 Condensing Zone Coating 內部元件故障_破損 6.8E-5 4 3 1.氣體洩漏造成人員吸入受傷 2.可燃性氣體洩漏造成火災
24 Scrubber By Pass Pipe
附錄五、液體洩漏事故 FMEA 分析結果
13 排水幫浦管路接頭 設備管路接點鬆脫 4.6E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無鬆脫現象。 2
14 Quench JW 管路接頭 設備管件破損 4.6E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
15 Circulation Pump 軸封 設備元件破損 4.6E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認有無破損現象。 2
16 CDA 閥件誤關 作業管理之缺失 4.6E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷
1.人員教育訓練與宣導。
2.保養前工具箱會議。 2
17 JW 管路 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
18 PCW 管路接頭 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
19 Cyclone Nozzle 接頭 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
20 JW Flow Meter O-ring 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
21 Water Tank Inside PCW 管路 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
22 Burner Outside PCW 接頭 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
23 Condensing Zone Nozzle 接頭 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
24 排水幫浦管路接頭 設備管件破損 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.保養時確認管路接點有無破損現象。 2
25 酸排氣風管壓差計 設備元件破損 2.3E-5 2 3 1.人員不慎滴到受傷 1.保養時確認有無破損現象。 2
26 使用中央集塵吸水 作業管理之缺失 2.3E-5 2 3 1.人員不慎滴到受傷 1.人員教育訓練與宣導。
2.保養前工具箱會議。 2
27 LSR 手動閥 設備管路阻塞 2.3E-5 2 3 1.液體洩漏造成水損。
2.人員不慎噴濺受傷 1.增加清管保養頻率。 2
附錄六、煙霧異常事件 FMEA 分析表結果
項
次 失效因子 失效模式 次數 失效機率 (hr-1)
嚴 重 度
可 能 性
失效影響 預防及改善措施
風 險 等 級
1 Scrubber Inlet 設備管路阻塞 2 4.6E-5 4 3 1.氣體洩漏造成人員吸入受傷 2.可燃性氣體洩漏造成火災
1.每日壓力點檢。
2.保養時實施切換旁通排放連動功能測試。
3.保養週期規劃。
4
2 管路粉塵逸散 作業管理缺失 2 4.6E-5 4 3 1.氣體洩漏造成人員吸入受傷 2.可燃性氣體洩漏造成火災
1.人員教育訓練與宣導。
2.保養前工具箱會議。 4
3 Bellows 護套 材質不良 1 2.3E-5 4 3 1.材質劣化造成高溫燃燒導致火災 1.保養時點檢管路護套是否有熱熔狀況。 4
附錄七、Edward BOC 連鎖功能表
項次 Scrnario Interlock Set-point TPU response
1 電源關閉 燃料供應關閉 NA 系統停止與燃料供應開
21 冷卻水溫度異常 冷卻水溫度警報 60℃ 1.TPU inlet bypss 2.TPU 系統關閉 22 液位偵測器故障 NA NA 1.TPU inlet bypss
2.TPU 系統關閉
23 水槽排水開關故障 NA NA
1.TPU 警報顯示 2.超過 4 分後自動切換 TPU 系統關閉 inlet bypass
24 瓦斯洩漏 瓦斯偵測器動作 NA 1.TPU inlet bypss 2.TPU 系統關閉
附錄八、Unisem 連鎖功能表
附錄九、台禹連鎖功能表
名稱 燈號
當Cir. Water AL.時，PLC會驅動 NV2,NV3,並藉FS5偵測，於90秒內偵測5