第三章 模式建構
3.4 Evaluator 的子模組二:Cell 組立製程運算模組分析
3.4.1 模組內容簡述
經由 Array/CF 製程運算模組的運算,可得到兩種不同基板的期望產出片數
(Array 製程階段產出的 TFT 面板以及 CF 製程階段產出的 CF 面板),以及兩種 基板的最終產出依據基板良率(所包含良好面板個數的比例)的分佈狀態,在本 模組中,便是將前一模組運算後的資料,考量 Cell 製程中進行組立作業的特性 建構一數學模式加以分析,經由運算後,求得合併而成的 TFT-LCD 基板的期望 產出,以及依據基板配對良率的分佈情形,圖 3.5 描述 Cell 組立製程運算模組的 Input 及 Output 資訊。
Cell 組立 製程運算
模組 Array 的期望產出(TFT 基
板)及基板良率分佈情形
CF 的期望產出(CF 基板)
及基板良率分佈情形
合併後的 TFT-LCD 基板 的期望產出及 基板配對良率分佈情形
圖 3.5 Cell 組立製程運算模組
由於先前所提到的除了 TFT 基板與 CF 基板本身良率(基板中包含良好面板 個數的比率),會影響 Cell 製程組立後 TFT-LCD 基板的配對良率(mapping yield)
外, TFT 基板或是 CF 基板中良好面板的位置,也會影響組立後的 TFT-LCD 基 板的配對良率,所以一種良率的 TFT 基板與一種良率 CF 基板進行組立作業後,
可能會產生數種良率的 TFT-LCD 基板,也因為如此,所以本運算模組,主要針 對此特性進行運算分析,以求得組立後 TFT-LCD 基板期望產出以及基板良率分
佈情形。
3.4.2 建構模組之數學模式
A. 定義參數及變數
X:Array 製程完成後,一片 TFT 基板上所包含的良好面板個數,為一隨機變數,
X 符合間斷均勻分配, ≤ X ≤ N
N Y
0 。
Y:CF 製程完成後,一片 CF 基板上所包含的良好面板個數,為一隨機變數,Y 符合間斷均勻分配, ≤ ≤
N Z
0 。
Z:經由 Cell 完成組立作業後,一片 TFT-LCD 基板上所包含的良好面板個數,
由 X、Y 配對產生而成,為一隨機變數,0≤ ≤ 。
(X Y
PZ, )
( )
ZP
( )
Z S:當包含 X 個良好面板的 TFT 基板,與包含 Y 個良好面板的 CF 基板進行 組立作業,所產生的 TFT-LCD 基板包含 Z 個良好面板的機率。
:經由組立作業後最終包含 Z 個良好面板的 TFT-LCD 基板發生的機率。
:經由組立作業後,最終 TFT-LCD 基板產出中,包含 Z 個良好面板的 TFT-LCD 基板的期望片數。
B. 運算過程
Step1:求出造成組立後包含 Z 個良好面 板 TFT-LCD 基板上的所有 X、Y 組合。
Step2:求出P(ZX,Y)
Step3:求出P
( )
ZStep4:求出S
( )
Z圖 3.6 Cell 組立製程運算模組運算流程
Step.1:求得造成組立後包含 Z 個良好面板 TFT-LCD 基板上的所有 X、Y 組合。
當一個包含 X 個良好面板的 TFT 基板,與一個包含 Y 個良好面板的 CF 基 板進行組立作業時,最理想的情況是兩個基板上良好面板儘可能重疊(X=Y 時,
組立後良好面板個數等於 X 也等於 Y;X≠Y 時,組立後良好面板個數則為 X 與
Y 兩者之最小值);最不理想的情況是兩個基板上良好面板儘可能不重疊(好的
面板儘可能碰上不好的,也同理為不良的面板儘可能不重疊),可以 N-(N-X)-(N-Y) 一式加以表達,(N-X)為 TFT 基板上不良面板的個數,(N-Y)為 CF 基板上不良面 板的個數,若兩個基板上的不良面板皆無重疊,將會造成組立後 TFT-LCD 基板 良率最差的情形,(若(N-X)+(N-Y)>N,則最壞情形為組立後皆無良好面板),整 合以上可得知組立後的 TFT-LCD 基板上所包含的良好面板個數,必介於最大值
Min(X,Y)與 最 小 值 Max(0 , X+Y-N)之 間 , 所 以 可 令 一 集 合 ,
( )
ZStep.1:求得產生 Z=2 的所有(X,Y)組合
Step.4:求得 S(2)
( )
20,( )
10](
2)
[T A = T F = ×P Z =
Min final final = 10×0.334=3.34
( )
2 S =所以經由此模組運算後,可求的最終包含 2 個良好面板的 TFT-LCD 基板的 期望產出為 3.34 片。