國 立 交 通 大 學
機械工程學系
碩士論文
射頻微機電可調式電感器之設計、模擬與製作
Design, Simulation, and Fabrication of Tunable
RF-MEMS Inductors
研 究 生:金彥宏
指導教授:羅一中、徐文祥
射頻微機電可調式電感器之設計、模擬與製作
Design, Simulation and Fabrication of Tunable
RF-MEMS Inductors
學生:金彥宏 Student:Yen-Hong Chin 指導教授:羅一中 Advisors:Yi-Chung Lo 徐文祥 Wensyang Hsu國立交通大學
機械工程學系
碩士論文
A ThesisSubmitted to Department of Mechanical Engineering College of Engineering
National Chiao Tung University in Partial Fulfillment of the Requirement
for the Degree of Master in
Mechanical Engineering June 2006
Hsinchu, Taiwan, Republic of China