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電機學院
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電子與光電學程
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電子與光電學程
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碩
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士
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論
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文
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直流二極濺鍍銦鎵鋅氧化物薄膜電晶體技術開發研
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究
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Investigation of Indium-Gallium-Zinc-Oxide Layer by
Direct-Current sputtering in Thin-Film Transistors
研
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究
究
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生
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：
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：吳彥佑
吳彥佑
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指導教授
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指導教授：
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：劉柏村
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博士
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華
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直流二極濺鍍銦鎵鋅氧化物薄膜電晶體技術開發研究
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直流二極濺鍍銦鎵鋅氧化物薄膜電晶體技術開發研究
Investigation of Indium-Gallium-Zinc-Oxide Layer by
Direct-Current sputtering in Thin-Film Transistors
研 究 生：吳彥佑
Student：Yen-Yu Wu
指導教授：劉柏村 博士 Advisor：Dr. Po-Tsun Liu
國 立 交 通 大 學
電機學院 電子與光電學程
碩 士 論 文
A Thesis
Submitted to College of Electrical and Computer Engineering National Chiao Tung University
in partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of
Master of Science in
Electronics and Electro-Optical Engineering July 2010
Hsinchu, Taiwan, Republic of China
