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錫銀覆晶銲錫中金屬墊層電遷移與熱遷移行為之研究

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Academic year: 2021

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國 立 交 通 大 學

工學院半導體材料與製程設備學程

碩 士 論 文

錫銀覆晶銲錫中金屬墊層電遷移與熱遷移行為之研究 Effect of UBM structure on Electromigration and thermomigration behavior in flip chip SnAg solder

joints

研 究 生:楊宗霖

指導教授:陳 智 博士

游欽宏 博士

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錫銀覆晶銲錫中金屬墊層電遷移與熱遷移行為之研究 Effect of UBM structure on Electromigration and thermomigration behavior in flip chip SnAg solder

joints

研 究 生:楊宗霖 Student:Zong Lin Yang

指導教授:陳 智 博士 Advisor:Dr. Chih Chen

游欽宏 博士 Advisor:Dr. Chin Horng Yau

國 立 交 通 大 學

工學院半導體材料與製程設備學程 碩 士 論 文

A Thesis

Submitted to Degree Program of Semiconductor Material and Process Equipment

College of Engineering National Chiao Tung University in Partial Fulfillment of the Requirements

for the Degree of Master

in

Program of Semiconductor Material and Processing Equipment July 2011

Hsinchu, Taiwan, Republic of China

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