國 立 交 通 大 學
奈 米 科 技 研 究 所
碩 士 論 文
以溶膠-凝膠法製備鋯鈦酸鉛薄膜作為
生物感測器之研究
Fabrication of PZT-based biosensor with sol-gel process
研 究 生: 陳佳慧 Chiahui Chen
學 號: 9252504
指導教授: 黃國華 博士 Dr.Guewha Steven Huang
以溶膠-凝膠法製備鋯鈦酸鉛薄膜作為生物感測器之研究
Fabrication of PZT-based biosensor with sol-gel process
研 究 生: 陳佳慧 Student : Chiahui Chen
指導教授: 黃國華博士 Advisor : Dr. Guewha Steven Huang
國 立 交 通 大 學 奈 米 科 技 研 究 所
碩 士 論 文 A Thesis
Submitted to Institute of Nanotechnology College of Engineering
National Chiao Tung University in partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of Master
in
Institute of Nanotechnology June 2005
Hsinchu, Taiwan, Republic of China