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以溶膠-凝膠法製備鋯鈦酸鉛薄膜作為生物感測器之研究

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Academic year: 2021

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國 立 交 通 大 學

奈 米 科 技 研 究 所

碩 士 論 文

以溶膠-凝膠法製備鋯鈦酸鉛薄膜作為

生物感測器之研究

Fabrication of PZT-based biosensor with sol-gel process

研 究 生: 陳佳慧 Chiahui Chen

學 號: 9252504

指導教授: 黃國華 博士 Dr.Guewha Steven Huang

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以溶膠-凝膠法製備鋯鈦酸鉛薄膜作為生物感測器之研究

Fabrication of PZT-based biosensor with sol-gel process

研 究 生: 陳佳慧 Student : Chiahui Chen

指導教授: 黃國華博士 Advisor : Dr. Guewha Steven Huang

國 立 交 通 大 學 奈 米 科 技 研 究 所

碩 士 論 文 A Thesis

Submitted to Institute of Nanotechnology College of Engineering

National Chiao Tung University in partial Fulfillment of the Requirements

for the Degree of Master

in

Institute of Nanotechnology June 2005

Hsinchu, Taiwan, Republic of China

參考文獻

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