國
立
交
通
大
學
電子物理研究所碩士班
碩
士
論
文
低介電常數材料與超臨界二氧化碳之可靠性分
析與製程整合之研究
Investigation on Reliability and Process Integration
of Low Dielectric Constant Materials and Supercritical
Carbon dioxide
研 究 生:陳銘福
指導教授:楊賜麟博士
低介電常數材料與超臨界二氧化碳之可靠性分
析與製程整合之研究
Investigation on Reliability and Process Integration of Low
Dielectric Constant Materials and Supercritical
Carbon dioxide
研 究 生:陳銘福 Student: Ming-Fu Chen 指導教授:楊賜麟博士 Advisor: Su-Lin Yang
國 立 交 通 大 學
電子物理研究所碩士班
碩 士 論 文
A Thesis
Submitted to Institute and Department of Electrophysics National Chiao Tung University
in partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of
Master in
Electrophysics June 2005
Hsinchu, Taiwan, Republic of China 中華民國九十四年六月