智能传感器

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保证内容

欧姆龙的唯一保证是产品自售出起一年 （或其它指定时间）内在材料和工艺上没有缺点。

欧姆龙对产品的无侵权、可售性或特殊用途的适用性均无任何明示或暗示性担保。任何购买者或使用者须 承认单独的购买者或使用者决定了产品将适当地符合他们有意使用的需求。欧姆龙拒绝其它所有保证，无 论明确的或暗示的。

责任限定

欧姆龙将不为产品以任何方式造成的特殊、间接的或因此产生的损坏、利益损失或商业损失负责，无论此 主张是基于契约、保证、疏忽或严格赔偿责任。

欧姆龙对已宣称责任的产品的任何超越单价的行为概不负责。

欧姆龙对产品的授权，修理或其它主张概不负责，除非欧姆龙分析确认产品完全操作、储藏、安装和维护 且未遭受污染、滥用、误用或不当更改或修理。

使用的适宜性

本文档中所包含的产品并非额定安全。这些产品的设计或额定都并非用于保障人身安全，且不应被当作用 于此类用途的安全组件或保护设备而受依赖。欧姆龙的安全额定产品请参阅各产品的样本。

欧姆龙将不对所有应用于客户应用中的产品结合对各个标准、代码或规章的符合性负责。

在客户的需求中，欧姆龙将提供可用的第三方证明文件来确定产品使用的额定值和局限性。该信息本身对 于完全确定产品与其它产品、机器、系统或其它应用或使用的适宜性并不充分。

以下为一些必须特别注意的应用示例。这并不是详尽无遗地罗列了所有可能的产品用途的列表，也并不意 味着所列用途对产品适用：

・户外使用、遭受潜在化学污染或电干扰处使用、或未在本文档中提及的条件或用途。

请了解并遵守所有产品可用性的禁止条款。

切勿将本产品用于可能造成严重生命或财产风险且不能保证整个系统设计于从事风险的场合，欧姆龙产品 已为了用在整个设备或系统里而适当地额定并已安装。

性能数据

本文档所给出的性能数据是用作给用户作为确定适用性的向导，并不予以担保。其将可能表现出欧姆龙测 试条件下的结果，用户必须将其与实际应用需求相联系。实际性能服从欧姆龙的保证以及责任限定。

规格的变更

产品规格和附件随时可能基于改进和其它原因而更改。

当已公布的额定值或特性改变，或作出重大结构改变时更改型号编号是我们惯例。但是，产品某些规格可 能作出更改而不予通知。如有疑问，可指派特殊型号编号以为您的请求固定或建立关键规格。请在任何时 候联系您的欧姆龙代表以确认所够产品的实际规格。

尺寸和重量

尺寸和重量仅为名义上的，并不能用作制造用途，即使已说明了公差。

错误和疏忽

本文档中的信息已小心核对并被认为正确；但是对记录、印刷或校对错误或疏忽并不指定责任。

可编程产品

欧姆龙将不对可编程设备中用户的编程或其任何结果负责。

版权及复制许可

未经许可不可复制本文档用于销售或促销。

本文档受版权保护并随产品一同使用。以任何方式复制或再制本文档用于其它任何用途前请先告知我们。

将本文档复制或发送至另一文档时，请完整地复制或发送。

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1

2

3

4

第

章第

章第

章第

章第

章第

章附 录 索 引

第

章

第

章

第

章

第

章

第

章

第

章

附录

索引

功能

测量准备

基本操作

主要应用及设置方法

详细设定

辅助功能

故障排除、规格、特性数据等

操作手册

介绍

介绍

感谢您购买欧姆龙 ZX-T 系列智能传感器 （高精度接触型）。本手册描述了 ZX-T 系列 智能传感器的功能、性能以及应用方法。使用本传感器时须遵守以下两点：

• 为了确保安全，请在使用本传感器之前先阅读并理解本手册。

• 随身携带本手册以便随时翻阅。

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1

2

3

4

前言 第

章第

章第

章第

章第

章第

章附 录 索 引

内容

介绍

内容

安全使用注意事项

正确使用注意事项

如何使用本手册

第 1 章 功能 13

ZX-T

的功能

第 2 章 测量的准备工作 19

基本配置

各部件名称及功能

放大器单元的安装

传感器探头的安装

连接

输出电缆的配线

预热完成的确认

压力警报

内容

第 3 章 基本操作 37

操作流程

操作基本知识

功能转变图

第 4 章 主要应用和设置方法 49

厚度的测量

测量阶层高度和平滑度

深度的测量

其它测量

第 5 章 详细设定 67

平均采样回数的设置

保持功能的使用

正值和负值的转换 （比例转换）

门限值的输入

线性输出

测得值的演算

归零功能的使用

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1

2

3

4

前言 第

章第

章第

章第

章第

章第

章附 录 索 引

第 6 章 附加功能 97

显示位数的更改

显示的颠倒

显示亮度的调节 （ECO 显示）

键锁功能

距离显示的纠正 （跨度调节）

设定数据的初始化

附录 107

探头

故障排除

错误消息及对策

问答

词汇表

规格和尺寸

特性数据

显示的快速参考

索引 127

修订历史 129

内容

前言 安全 使用注 意事项

安全使用注意事项

必须遵守以下事项以确保安全。

■ 环境

• 不要在可能接触易燃易爆气体处使用智能传感器。

•

为了确保操作和维护时的安全，不要将智能传感器安装在靠近高压设备或电力设备之 处。

■ 电源及接线

• 不要施加超过额定值 （12～24 VDC±10%）的电压

• 给传感器供电时，应确保电源极性正确，而且不要连接交流电源。

• 不要将集电极开路输出的负载短路。

• 不要将智能传感器的电源电缆与高压线或电源线放在一起。如果这样做，或者将其置于 同一导管中则可能引起感应现象并导致故障或受损。

• 接线之前以及连接或断开连接器之前必须先关闭电源。

■ 设定

• 用连接在外部设备上的智能传感器设置起步值时，应打开放大器单元的判断输出保持

输入，以防判断结果被输出到外部设备。

■ 其它

• ZX-L系列智能传感器 （激光型）、 ZX-E系列智能传感器 （线性接近型）和ZX-W系列 智能传感器 （微波型）互不兼容。不要将ZX-L、 ZX-E或ZX-W系列智能传感器与ZX-T 系列智能传感器一同使用。

• 不要尝试分解、修理或更改智能传感器。

• 对于废弃的智能传感器，将其当作工业废料处理即可。

正确 使用注 意事项

正确使用注意事项

必须遵守以下事项以防导致操作失败、引起故障，以及对性能和设备造成不利影响。

智能传感器的安装

■ 环境

不要将智能传感器安装在以下场所：

• 环境温度超过额定温度范围之处。

• 温度变化剧烈 （导致结露）之处。

• 相对湿度超出35%～85%范围之处。

• 接触易燃易爆气体之处。

• 灰尘、盐或金属粉末可能在传感器上形成堆积之处。

• 直接遭受振动或冲击之处。

• 阳光直射之处。

• 暴露于水、油、化学药品等物质的场所。

• 存在强力电磁场或电场之处。

• 接触水蒸气之处。

组件的安装及使用

■ 电源及接线

• 不要将传感器探头部电缆延长超过8 m。使用ZX-XC□A扩展电缆 （单独订购）从传感 器端对电缆进行扩展。

• 延长放大器电缆时应使用屏蔽电缆。屏蔽电缆必须与放大器电缆规格相同。

• 使用市售开关调节器时，应将FG （框架接地）端子接地。

• 若电源线遭遇浪涌电流，应连接一个符合应用环境条件的浪涌吸收器。

• 连接多个放大器单元时，应连接所有放大器单元的线性接地线。

前言 正确 使用注 意事项

■ 传感器探头

• 传感器探头是一个高精密设备。不要使其跌落，否则将会受到冲击。

• 不要让活塞承受超出下图所示限度的力。否则可能损坏活塞。

• 采取不会关闭压力警报的措施。

• 不要取下橡胶套。若没有橡胶套，杂质可能进入传感器探头，可能引起传感器探头故 障。

• 在指定场所和指定负载下安装传感器探头和前级放大器。安装时使用过大的力可能损 坏传感器探头或前级放大器。

• 必须更换已损坏的探头。

更换探头 p.109

■ 预热

打开电源后，使用智能传感器之前应先使其预热至少 15 分钟。刚打开电源时电路尚未稳 定，各项数值均逐步变化，直到传感器完全预热。

■ 维护和检查

• 调节或取下传感器探头时必须先关闭电源。

• 清洁传感器探头或放大器单元时不要使用稀释剂、汽油、丙酮或煤油。

30 N 30 N 1 N 0.15 N^gm

橡胶套 活塞 探头

如何 使用本 手册

如何使用本手册

页面格式

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ZX-T

᪡԰᠟ݠ 91

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前言 如何 使用本 手册

注释

■ 菜单

出现在数字显示上的项目是在ALL-CAPS中设置的。

■ 步骤

各步骤的顺序由数字序号表示。

■ 直观教具

提供关于重要操作步骤的信息，给出关于如何使用功能的建议，并以高亮标出重要特性信息。

指出有相关信息的页数。

表示出现问题时的有用信息。

如何 使用本 手册

功能 功能

ZX-T的功能 14

第

章

的功能

ZX-T 的功能

ZX-T系列智能传感器测量传感物体的高度和微小段差 （即高度差）。

例：测量电子部件的尺寸

ZX-TDA ZX-TDA ZX-TDA

⌟ᕫؐ䕧ߎ

߸ᮁ䕧ߎ

小直径传感器探头允许在小部件上进行 多点测量

第

章

的功能

诸多简单功能

■ 电源打开时测量就绪

只须完成安装和接线即可使用智能传感器。打开电源后即可运行。

测量距离显示在放大器单元上。

■ 简单计算设定

使用演算单元来方便地计算多点测量中的段差高度和厚度。

p. 49

ⓨㅫऩܗ

ᬒ໻఼ऩܗ

˄᳔໮Ͼऩܗ˅

第

章

的功能

传感器探头和放大器单元的兼容性

当更换了传感器探头以便维护或更换新产品时放大器单元无需更换。

可扩展的传感器探头电缆

可连接最多8 m长的扩展电缆。需要ZX-XC-A扩展电缆来延长传感器探头的电缆。

p. 20

ᠽሩ⬉㓚

᳔䭓䖒8 m

第

章

的功能

便利的告知功能

■ 防止因压力过大而引起故障

非预期测量中由过大的活塞压力所引起的故障可预先检测出，并可输出一个信号来停止 测量或者防止故障。

p. 36.

■ 预热时的显示

电源打开时显示屏显示预热状态。这样一来就允许在预热完成、状态稳定后开始进行测 量。

p. 35.

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(mm) POWER ZERO ENABLE

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ᰒ⼎W-UPDŽ

第

章

的功能

监控测量状态

■ 在个人计算机上确认测量状态

使用接口单元和智能监视器V3在个人计算机上查看测量波形和日志测量数据。该功能在 进行现场测量调节和日常品质监控时很有用。

p. 20

ᱎ㛑ⲥ㾚఼V3

᥹ষऩܗ ᬒ໻఼ऩܗ

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第

章 测量 所需的 准备工 作

测量所需的准备工作

基本配置

各部件名称和功能

安装放大器单元

安装传感器探头

连接

输出电缆的连接

预热完毕的确认

压力警报

第

章 基 本配置

基本配置

ZX-T系列智能传感器的基本配置如下所示。

ZX-L系列智能传感器 （激光型）、 ZX-E系列智能传感器 （线性接近型）和ZX-W系列智能传感器 （微波型）

之间互不兼容。不要将ZX-T系列智能传感器与ZX-L系列、 ZX-E系列或ZX-W系列智能传感器一同使用。

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ZX-SW11

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ZX-TDSƶƶT

᥹ষऩܗ ZX-SF11

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⬉⑤

12 ̚ 24 V DC (±10%)

෎ᴀ䜡㕂

p. 32

p. 21 p. 26

p. 30

第

章 各 部件名 称和功 能

各部件名称和功能

放大器单元

(1)

输入电缆连接传感器传感器探头。

(2)

电流/电压开关用于选择电流或电压线性输出。

切换输出时亦需要设置监控定焦。

连接端口用于连接计算单元和接口单元。

(4)

输出电缆连接到电源和外部设备，诸如同步传感器或可编程控制器。

(5)

电源打开时电源ON显示灯亮。

(6)

允许零复位功能时零复位显示灯亮。

(7)

测量结果处于额定测量距离内时ENABLE显示灯亮。

(8)

判断结果为HIGH时HIGH显示灯亮。

(9)

判断结果为PASS时PASS显示灯亮。

(10)

判断结果为LOW时LOW显示灯亮。

(11)

主显示屏显示测量值和功能名称。

(12)

副显示屏显示测量的附加信息和功能设定。

读显示，p. 41

(13)

门槛值开关选择是否设置 （并显示） HIGH或LOW门槛值。

(14)

模式开关选择运行模式。

(1) 䕧ܹ⬉㓚

᥻ࠊ䬂 ( )

(4) 䕧ߎ⬉㓚

(3) 䖲᥹ッষ˄↣ջ৘ϔϾˈ݅ϸϾ˅

(2) ⬉⌕/⬉य़ᓔ݇˄ऩܗ㚠䚼˅

(8) HIGHᰒ⼎♃

(9) PASSᰒ⼎♃

(10) LOWᰒ⼎♃

(11) Џᰒ⼎ሣ

(12) ࡃᰒ⼎ሣ (13) 䮼ᾯؐᓔ݇

(14) ῵ᓣᓔ݇

(5) ⬉⑤ONᣛ⼎♃

(6) 䳊໡ԡᰒ⼎♃

(15) ᪡԰䬂 (7) ENABLEᰒ⼎♃

᥻ࠊ䬂ঞᰒ⼎ऎඳ㒚㡖

⬉⌕/⬉य़ 䕧ߎ䗝ᢽᓔ݇

⬉य़䕧ߎ

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第

章 各 部件名 称和功 能

传感器探头

计算单元

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* 显示区细节

第

章 各 部件名 称和功 能

接口单元

(1)

通信连接器将通信电缆连接到可编程控制器。

(2)

放大器单元连接器连接到放大器单元。

(3)

电源打开时电源显示灯亮。

(4)

BUSY: 与智能传感器通信时亮。

ERR: 若在与智能传感器通信时发生错误则亮。

(5)

BUSY: 与可编程控制器通信期时亮。

ERR: 若在与可编程控制器通信时发生错误则亮。

ᰒ⼎♃ ( )

(1) 䗮ֵ䖲᥹఼

(2) ᬒ໻఼ऩܗ䖲᥹఼

(3) ⬉⑤ᰒ⼎♃

(4) Ӵᛳ఼䗮ֵᰒ⼎♃˄BUSY੠ERR˅

(5) ໪䚼ッᄤ䗮ֵᰒ⼎♃˄BUSY੠ERR˅

* 显示区细节

第

章 安 装放大 器单元

安装放大器单元

可方便地将放大器单元装入35 mm DIN导轨上。

■ 安装

将放大器单元的连接器末端钩在DIN导轨上并在底部按压直至单元锁入位置。

必须先将放大器单元的连接器末端钩在DIN导轨上。若输出电缆末端先钩在DIN导轨上则安装时可 省力。

DINᇐ䔼˄ऩ⣀䅶䌁˅

PFP-100N (1 m) PFP-50N (0. 5 m) PFP-100N2 (1 m)

ッᵓ˄ऩ⣀䅶䌁˅

PFP-M

䩽೼䖲᥹఼᳿ッϞ

第

章 安 装放大 器单元

■ 取下方法

将放大器单元向上推并从连接器末端拔出。

第

章 安 装传感 器探头

安装传感器探头

本节叙述了如何安装传感器探头和前级放大器。

传感器探头

■ 安装

不要将传感器探头直接夹在螺丝末端上，否则传感器探头可能受损。

■ 安装夹具

使用如下图所示的安装夹具。用M3螺丝和0.6～0.8 N・m的扭矩安装传感器探头。

10

ϸϾ, 3.50 dia.

3.50 M3

8 A A

32

20

26 18

1.50

6 dia., H7

4 8 6.50 dia. 3.50 dia.

1 1

5

12 dia.

8 0 -0.03 6+0.01

0

15 dia.

dia.

・ 安装夹具

・

材料：铝

材料：黄铜 推荐使用：Misumi公司生产

型号为：SHSTA6-20 单位： mm

第

章 安 装传感 器探头

准备安装夹具时，将支撑紧固力设为100 N以下。

■ 安装位置

沿着A所示部分固定传感器探头。

若要在温度剧烈变化处使用传感器探头，应沿着B所示部位固定传感器探头。这会把伴随 温度起伏的热涨和冷缩的影响降到最低。

查看传感器探头在适当位置固定后活塞如何运动。若传感器探头固定得太紧则活塞将无法适当运 动。

在3点上支撑 安装夹具

传感器探头 基础夹具 横截面

安装宽度：

8 mm以上

紧固力：

100 N 以下

・ 用

点支撑法进行安装

60°

B (8)

B (8)

A (41.6)

A (63.4)

6 0 -0.1dia. 6 0 -0.1dia.

单位：mm

第

章 安 装传感 器探头

前级放大器

■ 安装

使用附带的前级放大器安装支架。

前级放大器亦可安装在35 mm的DIN导轨上。

将前级放大器安装到DIN导轨上时应使用ZX-XBT2前级放大器DIN导轨安装支架 （单独订购）。

1. 使用 M3 螺丝来固定附带的前级放大器安装支 架。

2. 将前级放大器的一端嵌入支架。

3. 再将前级放大器的另一端也嵌入支架。

■ 拆除方法

握住前级放大器的中间并将其托起。

27±0.1 ϸϾ, M3

（单位：mm）

安装尺寸图

3

2

第

章 连接

连接

本节叙述了如何连接智能传感器的组件。

连接或取下组件之间先关闭前级放大器的电源。若在通电时连接或取下，智能传感器可能发生故障。

传感器探头

不要触摸连接器内部的端子。

■ 连接方法

将传感器探头连接器推入放大器单元连接器，直至其扣住。

■ 拆除方法

要将传感器断开时，握住连接器环和放大器单元连接器并将其拉开。

不要只拉连接器环，否则放大器单元的输入电缆可能损坏。

更换不同型号的传感器探头时，放大器单元中的所有设定都将被清除。

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第

章 连接

演算单元

在放大器单元之间进行演算时应使用演算单元来连接放大器单元。

用演算单元最多可以连接8个放大器单元。

为所有已连接的放大器单元供电。

将所有放大器单元的线性接地相互连接。

■ 连接方法

1. 打开放大器单元上的连接器盖。

托起并滑动连接器盖以将其打开。

2. 将演算单元安装在DIN导轨上。

3. 滑动演算单元并将其连接到放大器单元的连接器上。

4. 滑动第二个放大器单元并将其连接到演算单元的连接器上。

要取下演算单元时反过来执行上述步骤即可。

1 1

3 4

2

第

章 连接

■ 放大器单元的通道编号

下图显示当连接了多个放大器单元时的通道编号。

CH1 CH2

CH3 CH4

CH8

第

章 连接

接口单元

使用接口单元将可编程控制器连接到智能传感器系统。

可连接多达五个放大器单元。

■ 连接方法

1. 打开放大器单元上的连接器盖。

托起并滑动连接器盖以使其打开。

2. 将接口单元安装在DIN导轨上。

3. 滑动接口单元并将其连接到放大器单元的连接器上。

要取下接口单元时反过来执行上述步骤即可。

使用多个放大器单元时，将接口单元连接到通道编号最高的放大器单元上。

1 3

2

第

章 输 出电缆 的连接

输出电缆的连接

下图显示输出电缆中的线路。

应正确连接输出电缆。否则可能损坏智能传感器。

(1)

电源端子上连接了一个12-～24-VDC (±10%)的电源。随PNP输出使用放大器单元时，对于所有 除了线性输出之外的I/O来说电源端子也是普通I/O端子。

让放大器单元使用独立于其它设备和电源系统的稳定电源，尤其在需要高果断性时更应如此。

(2)

GND 端子为 0 V 电源端子。随 NPN 输出使用放大器单元时，对于除了线性输出之外的 I/O 来说 GND端子也是普通I/O端子。

(3)

HIGH判断输出用于输出HIGH判断的结果。压力警报运作时该输出也会打开。

(4)

PASS判断输出用于输出PASS判断结果。

(5)

LOW判断输出用于输出LOW判断结果。压力警报运作时该输出也会打开。

(6)

线性输出根据测得值输出一个电流输出或电压输出。

(7)

对于线性输出，线性输出GND端子为0 V端子。

• 线性输出的接地位置应不同于普通接地位置。

• 即使不使用线性输出，也要将线性输出端子接地。

(8)

判断输出保持输入打开时，判断输出被保持，且不会输出到外部设备。设置起步值时打开判断 输出保持输入。

要在已连接到外部设备时设置起步值，应打开放大器单元的判断输出保持输入以防止对外部设备 的输出发生变化。

(9)

零复位输入用于执行和清除零复位。

(10)

时序输入用于来自外部设备的信号输入。将其用于保持功能时序。

(11)

复位输入用于将所有测量处理和输出全都复位。

(1) ⬉⑤ (2) GND

(3) HIGH߸ᮁ䕧ߎ (4) PASS߸ᮁ䕧ߎ (5) LOW߸ᮁ䕧ߎ (6) 㒓ᗻ䕧ߎ (7) 㒓ᗻ䕧ߎGND (8) ߸ᮁ䕧ߎֱᣕ䕧ܹ

(9) 䳊໡ԡ䕧ܹ

(10) ᯊᑣ䕧ܹ

(11) ໡ԡ䕧ܹ

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第

章 输 出电缆 的连接

I/O 电路图

■ NPN放大器单元

■ PNP 放大器单元

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䋳䕑

⬉⌕䕧ߎ˖300 Ωҹϟ

⬉य़䕧ߎ˖10 kΩҹϞ 䋳䕑

⬉⌕䕧ߎ (4 ̚ 20 mA)

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ⱑ

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12 ̚ 24 V DC

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⬉य़䕧ߎ (±4 V) 100 Ω

䋳䕑 䋳䕑

䋳䕑

⬉⌕䕧ߎ˖ 300 Ωҹϟ

⬉य़䕧ߎ˖10 kΩҹϞ 䋳䕑

⬉⌕䕧ߎ (4 ̚ 20 mA)

⬉⌕/⬉य़ 䕧ߎ䗝ᢽ఼

ݙ䚼⬉䏃

ẩ 12 ̚ 24 V DC

ⱑ HIGH߸ᮁ䕧ߎ 㓓 PASS߸ᮁ䕧ߎ

♄ LOW߸ᮁ䕧ߎ 12 ̚ 24 V DC

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GND (0 V)

㉝ ߸ᮁ䕧ߎֱᣕ䕧ܹ

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ሣ㬑㒓 㒓ᗻ᥹ഄ

⬉य़䕧ߎ (±4 V) 100 Ω

第

章 预 热完毕 的确认

预热完毕的确认

在RUN模式或T模式下打开电源时，副显示屏将闪烁地显示W-UP表示传感器正在预热。预热需 要大约1～15分钟。预热完毕后，将显示正常显示内容。

在显示预热的状态下可以进行测量操作，但预热完毕之前测量精度较低。为了确保测量精度高，应 等到预热完毕。

SUB

第

章 压 力警报

压力警报

当活塞的压力超出额定测量距离1%或以上时，主显示屏将显示OVER表示活塞压力过大（HIGH 显示灯和LOW显示灯也会亮）。

压力过大将造成设备损坏。调节传感器探头的检测位置。

连接了外部设备时须小心，因为在压力警报运作时HIGH判断输出和LOW判断输出也将同时打开。

LOW

SUB

(mm) HIGH

POWER ZERO ENABLE

HIGH显示灯和LOW显示 灯同时亮

4 V

0 V

4 V

0 mm

4 mA 12 mA 20 mA

+ -

ON HIGH OFF

ON LOW OFF

电压输出 模拟输出 电流/电压 电流输出

移动方向

（释放） （按下）

额定测量距离

第

章 基本操 作

基本操作

操作流程

操作的基本知识

模式的切换

读显示

键的操作

条件的设置

数字的输入

功能转变图

第

章 操作流 程

操作流程

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p. 40 p. 19

p. 50

p. 68

p. 55 p. 60

p. 69 p. 73

p. 75

p. 79

第

章 操作流 程

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Փ⫼䳊໡ԡࡳ㛑

p. 110

p. 114

p. 111

p. 125

p. 101 p. 88

p. 90

p. 98

p. 103 p. 102 p. 99

第

章 操作的 基本知 识

操作的基本知识

模式的切换

ZX-T有三个模式。使用放大器单元上的模式开关在模式间进行切换。开始操作之前先切 换到所需的模式。

功能转变图， p.45

模式 说明

RUN 正常操作模式

T 设置起步值的模式

FUN 设置测量条件的模式

T FUN RUN

第

章 操作的 基本知 识

读显示

主显示屏和副显示屏上显示的数据取决于当前所选择的模式。新产品首次打开电源时显 示RUN模式。

功能转变图

, p. 45

■ 字母显示格式

主显示屏和副显示屏上显示的字母如下所示。

模式 主显示屏 副显示屏

RUN 显示测量值 （反映出测量条件后的 数值）。

例如，设置了保持功能时，将显示 被保持的值。

按下控制键时在当前值 （实际测量值）、门槛值、输出值和 果断值之间进行切换显示。

门槛值显示

显示HIGH或LOW门槛值，取决于切换开关的位置。

监视定焦设定决定了是作为电压还是电流输出。

输出设定 （监视定焦）， p.79

T 显示测量值 （反映出测量条件后的 数值）。

例如，设置了保持功能时，将显示 被保持的值。

显示正在设置的门槛值。

显示HIGH或LOW门槛值，取决于切换开关的位置。

FUN 按下控制键时显示功能名称。 显示主显示屏所示功能的设定。

Џᰒ⼎ሣ

ࡃᰒ⼎ሣ

第

章 操作的 基本知 识

键的操作

用控制键来更改显示内容、设置测量条件。

当前所选的模式决定了键的功能。

模式的切换, p. 40

᥻ࠊ䬂

按键 功能

RUN模式 T模式 FUN模式

指向键

LEFT键

RIGHT键

更改副显示屏的显示内 容。

用于选择数位。 功能根据设定而变化。

• 切换功能显示。

• 选择数位。

• 停止设置。

UP键 进行时序输入。 用于更改数位。 功能根据设定而变化。

• 在所选内容之间进行切换。

• 更改数字。

DOWN键 将输入复位。

ENT键 进行零复位。 功能根据操作而变化。

• 确认门槛值。

• 进行示教。

确认所设条件或数值。

第

章 操作的 基本知 识

条件的设置

在主显示屏上显示目标功能并从副显示屏上选择所需的数值来设置测量条件。

本节以设置峰值保持作为保持条件为例来说明如何设置测量条件。

改为FUN和HOLD

1. 将模式开关设为FUN。

2. 使用 LEFT 和 RIGHT 键使主显示屏上显示 HOLD。

设置保持条件

3. ^按下

^或

^{中任一键。}

当前所设值将闪烁地显示在副显示屏上。

4. 使用UP和DOWN键来选择P-H。

按下LEFT 或RIGHT 键中的任一个来取消所选的选项。显 示内容将返回当前设定 （本例中为OFF）。

5. ^{选择设定值完成后，按}

^{键来确认设定。}

此设定将被登录。

第

章 操作的 基本知 识

数字的输入

本节叙述如何为门槛值和输出设定输入数值。将使用下限值的直接输入作为示例。

将下限值从0.200改为0.190

改为T模式

1. ^{将模式开关设为T。}

设置门槛值

2. ^{将开关设为}

^。

测量值将被显示在主显示屏上。当前设定将被显示在副显 示屏上。

3. ^{按下任一光标键。}

副显示屏上的第一位数将闪烁，并且允许直接输入。

4. ^使用

^或

^{键将光标移至第一位小}

数。

5. ^使用

^或

^{键使其显示}

^。

6. ^重复第

^和第

步将光标移至第二位小数并使 其显示9。

要取消所选的设定，用LEFT 键将光标移至最左边一位数 并再次按下 LEFT 键即可。或者也可以用RIGHT 键将光标 移至最右边一位数并再次按下RIGHT键。显示内容将返回 当前设定 （本例中为0.200）。

7. 完成数值的调节后，按下ENT键以确认该值。

将从闪烁显示变为一直显示，并且数值将被登录。

SUB

(mm) POWER ZERO ENABLE

SUB

SUB

SUB

SUB

SUB

第

章 功能转 变图

功能转变图

读转变图

上部为主显示屏，下部为副显示屏。

RUN模式

上图所示的数字仅为示例。实际显示内容不同。

当前值和测量值 p. 114

T模式

T模式下无功能转变。

上图所示的数字仅为示例。实际显示内容不同。

在RUN模式和T模式下，门槛开关的位置将决定显示HIGH起点还是LOW起点。

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Measured value

Threshold value

p. 75

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第

章 功能转 变图

FUN模式

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䳊໡ԡᄬټ఼

p. 83

p. 98

p. 93 p. 69 p. 78

p. 68 p. 73

第

章 功能转 变图

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p. 105 p. 90

p. 69

p. 88

p. 103 p. 79

p. 101 p. 99

第

章 功能转 变图

第

章 主要 应用和 设置方 法

主要应用和设置方法

厚度的测量

高度差和平滑度的测量

深度的测量

其它测量

第

章 厚 度的测 量

厚度的测量

将使用以下配置来说明测量厚度的步骤。

对连接在外部设备上的设备进行设置时，将放大器单元的判断输出保持输入打开，使对外部设备的输出保持不 变。

■ 操作流程

安装到设备上 调节检测位置 表达方式的设置 厚度值的设置 公差判断值的设置

第

章 厚 度的测 量

安装到设备上

■ 放大器单元的连接

连接两个放大器单元，并在其中间放一个演算单元，如下图所示。

计算结果显示在 （即输出到） CH2放大器单元上。将CH2输出电缆连接到外部设备上以 允许外部控制。

连接， p. 29

CH1放大器单元将只显示CH1传感器探头的 （输出）测量值。

■ 将传感器探头安装在检查设备上

参照下图准备安装夹具。面对面地安装传感器探头。

传感器探头的安装， p. 26

CH1

CH2 演算单元

安装夹具

第

章 厚 度的测 量

调节检测位置

设置一个传感器探头之间的厚度(T)已知的参考样块。

参考样块就位后，调节传感器探头直到各个放大器单元的显示内容尽可能接近零为止。

测量距离， p. 114

表达方式的设置

将CH2放大器单元切换到FUN模式下并将双传感器操作(CALC)设为[A + B]。

关于操作的详情请参阅第5章 详细设定。

T

(mm) POWERZEROENABLE

(mm) POWERZEROENABLE

额定测量距离 额定测量距离

FUN CH1=B

CH2=A

第

章 厚 度的测 量

厚度值的设置

参考样块就位后，使用归零功能来设置传感器探头的位置。使用 CH2 放大器单元来进行 此项设置。

插入一个厚度(T)已知的样块。

切换到FUN模式并设置归零显示屏([ZRDSP])上的厚度。

设置偏移值并返回RUN模式。

按住ENT键至少1 s以归零。

执行归零的同一个时序里CH1和CH2传感器探头之间的关系将被登录 （此处的显示值为 1 mm）。厚度是基于传感器探头之间的关系而测量的，测量结果显示在 CH2 放大器单元 上。

关于操作的详情请参阅第5章 详细设定。

T CH1

CH2

偏移值设定 FUN 例：: T = 1 mm

CH1

CH2

RUN

按住1 s以上

第

章 厚 度的测 量

公差判断值的设置

为PASS (OK)判断的厚度设置上限和下限 （HIGH和LOW门槛值）。

HIGH、 PASS和LOW判断结果将基于此处所设的起点值而输出。

关于操作详情请参阅第5章 详细设定。

直接设置起点值， p. 76

测量结果 判断

测量值 ＞ HIGH门槛 HIGH

LOW门槛 ≤ 测量结果 ≤ HIGH门槛 PASS

LOW门槛 ＞ 测量结果 LOW

第

章 测 量多阶 工件和 平滑工 件的高 度

测量多阶工件和平滑工件的高度

将使用以下配置来说明测量平滑工件的步骤。

对连接在外部设备上的设备进行设置时，将放大器单元的判断输出保持输入打开，使对外部设备的输出保持不 变。

■ 操作流程

在适当的位置上放一个实际传感物体。事先准备一个参考样块。

安装到设备上 调节检测位置 登录无高

度差的状态

表达方式的设置 公差判断值的设置

第

章 测 量多阶 工件和 平滑工 件的高 度

安装到设备上

■ 放大器单元的连接

连接两个放大器单元，并在其中间放一个演算单元，如下图所示。

演算结果显示 （即输出）在CH2放大器单元上。将CH2输出电缆连接到外部设备上以允 许外部控制。

连接， p. 29

CH1放大器单元将只显示 （输出） CH1传感器探头的测量结果。

■ 将传感器探头安装在检查设备上

参照下图准备安装夹具。相互平行地安装传感器探头。

传感器探头的安装， p. 26

演算单元

CH1 CH2

第

章 测 量多阶 工件和 平滑工 件的高 度

调节检测位置

在传感器探头之间放一个平的参照样块。

参考样例就位后，调节传感器探头直到各个放大器单元的显示内容尽可能接近零为止。

测量距离， p. 114

表达方式的设置

将CH2放大器单元切换到FUN模式并将双传感器操作(CALC)设为[A - B]。

关于操作的详情请参阅第5章 详细设定。

测量值的演算， p. 88

(mm) POWERZEROENABLE

(mm) POWERZEROENABLE

额定测量距离 额定测量距离

FUN

CH1=B CH2=A

第

章 测 量多阶 工件和 平滑工 件的高 度

登录无高度差的状态

用归零功能来设置无高度差的状态。用CH2放大器单元来进行该项设置。

在传感器探头下放置一个平的参考样例。

归零前检查CH2放大器单元上的归零偏移值(ZRDSP)是否被设为零 （零为默认设定）。

偏移值的设置， p. 92

将CH2放大器单元切换到RUN模式，并按住ENT键至少1 s使其归零。

执行归零的同一个时序里无高度差(0)的状态将被登录。现在CH2放大器单元将显示传感 点之间的高度差。

关于操作的详情请参阅第5章 详细设定。

FUN

RUN

按住1 s以上

参考值 = 0

第

章 测 量多阶 工件和 平滑工 件的高 度

公差判断值的设置

为PASS (OK)判断设置高度差/平整度的上限和下限 （HIGH和LOW门槛值）。

将基于此处所设的起点值来输出HIGH、 PASS和LOW判断结果。

关于操作的详情请参阅第5章 详细设定。

直接输入起点值， p. 76

测量结果 判断

测量结果 ＞ HIGH起点 HIGH

LOW门槛 ≤ 测量结果 ≤ HIGH门槛 PASS

LOW门槛 ＞ 测量结果 LOW

第

章 深 度的测 量

深度的测量

将使用以下配置来说明测量深度的步骤。

对连接在外部设备上的设备进行设置时，将放大器单元的判断输出保持输入打开，使对外部设备的输出保持不 变。

■ 操作流程

安装到设备上 调节检测位置 比例的缩放 登录深度 公差判断值的设置

第

章 深 度的测 量

安装到设备上

准备安装夹具并安装传感器探头。

传感器探头的安装， p. 26

调节检测位置

在传感器探头下放置一个深度(D)已知的参考样块。

参考样块就位后，调节传感器探头直到各个放大器单元的显示内容尽可能接近零为止。

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D

(mm) POWERZEROENABLE

第

章 深 度的测 量

比例的缩放

打开比例缩放功能 (INV) 以符合显示屏上测得值中传感物体位移的变化 （默认设定为 OFF）。

关于操作的详情请参阅第5章 详细设定。

正值和负值的转化 （比例倒置）， p. 73

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

对于默认设定 （OFF） ，按压传感器探头活塞时显示值增加。若在该设定下进行测量，显示值将增加，因为传 感物体变得更细。

显示值

−2 2 实际位移 2

0

0

若将比例缩放功能 (INV) 设为 ON 则变化将相反。这意味着位移量的变化可与显示值的变化相匹配。

显示值

−2 2 实际位移 2

0

0 浅：显示值较高 深：显示值较低

浅：显示值较低 深：显示值较高

第

章 深 度的测 量

登录深度

用归零功能将传感器探头的位置注册在参考深度上。在传感器探头下放置一个深度(D)已 知的样块。

切换到FUN模式并设置归零显示器([ZRDSP])上所示的深度。

设置偏移值并返回RUN模式。

按住ENT键至少1 s以归零。

与执行归零的同一个时序内，传感器探头的位置将被注册 （此处的显示值为3 mm）。 深 度是基于这一传感器探头的位置关系而测量的。

关于操作的详情请参阅第5章 详细设定。

归零功能的使用， p.90

D 偏移值设定 FUN 例： D = 3 mm

RUN

按住1 s以上

第

章 深 度的测 量

公差判断值的设置

为PASS (OK)判断设置深度上的上限和下限 （HIGH和LOW门槛值）。

关于设定的详情请参阅第5章 详细设定。

直接输入起点值， p. 76

测量结果 判断

测量结果 > HIGH门槛 HIGH LOW门槛 ≤ 测量结果 ≤ HIGH门槛 PASS

LOW门槛 > 测量结果 LOW

第

章 其 它测量

其它测量

测量传感物体之间的空隙

可用厚度测量的方法来测量传感物体之间的空隙(G)

步骤与测量厚度相同。

厚度的测量, p. 50

■ 空隙测量的基础

■ 比例倒置功能的使用

打开放大器单元上的比例倒置功能 (INV) 以符合空隙尺寸的变化乃至显示器上测得值的 变化 （默认设定下倒置功能是关闭的）。

■ 在归零显示器(ZRDSP)上设置空隙(G)

G

对于默认设定 (OFF)，按下传感器探头活塞时显示值增加。若在该设定下进行测量，显示值将因为空 隙尺寸的减小而增加。

若将比例倒置功能(INV)打开则变化将相反。这意味着位移的变化量可与显示值的变化相匹配。

空隙大＝显示值低 空隙小＝显示值高

G

CH2 CH1

设置空隙的参考样例

第

章 其 它测量

在多个点上测量高度差

若将演算单元用于连接放大器单元，那么可同时测量8个演算点。

步骤与测量高度差/平滑度相同。

设置从CH2到与CH2使用相同设定的所有放大器单元以测量高度差和平滑度。

测量多阶工件和平滑工件的高度, p. 55

显示在自CH2起的放大器单元上 显示CH1和每个其它通道的差。

演算单元

CH2

CH1 CH3 CH8

CH1 CH2 CH3

例：

对于下列当前值：

CH1: 0.2 mm CH2: 0.3 mm CH3: -0.4 mm

将显示以下测得值：

CH1: 0.2 mm

CH2: 0.1 mm (CH2-CH1) CH3: -0.6 mm (CH3-CH1)

第

章 详细设 定

详细设定

设置平均采样回数

保持功能的使用

正值和负值的转化 （比例倒置）

门槛值的输入

线性输出

测量值的演算

归零功能的使用

第

章 设置 平均采 样回数

设置平均采样回数

平均采样回数就是用于求传感器测得数据平均值的数据次数。平均值将被输出。

用 “平均采样回数”功能来忽略测量值中的突变。但是，若样例数增加了，判断输出和线性输 出的相应时间也将延长。

拨到FUN和AVE

1. ^{将模式开关设为}

^。

2. ^使用

^和

^{键使主显示屏上显示}

AVE

。

选择平均采样回数

3. 按下UP或DOWN键。

副显示屏将闪烁。

4. ^用

^和

键来选择要计算平均值的样例 数。

5. 按ENT键来确认选择。

设定将被登录。

平均采样回数的选择 响应时间

1 2 ms

2 3 ms

4 5 ms

8 9 ms

16 17 ms

32 33 ms

64 65 ms

128 129 ms 256 （默认） 257 ms 512 513 ms 1024 1025 ms

SUB

第

章 保持 功能的 使用

保持功能的使用

保持功能用于在测量时间段 （采样时间段）内保持指定点的数据 （诸如最大值或最小值）并在 测量时间段结束时将这些数值输出。

此处选择在采样时间段内要保持的数值。

CLAMP值直到第一个采样时间段过去后才输出。

CLAMP值, p. 86

保持条件 （保持哪个值）

采样时间段

输出

测量开始* 测量结束*

* 时序输入方法取决于保持条件。

数值将被保持到下次符合保持条件 当前测得值 时。

选择 详细内容

OFF （默认） 未对测量进行保持。始终输出当前测量值。

P-H （峰值的保持） 采样时间段内保持最大值。采样时间段为时序信号打开的时间段。

B-H （谷值的保持） 采样时间段内保持最小值。采样时间段为时序信号打开的时间段。

ON OFF

䕧ߎ

䞛ḋᯊ䯈↉

᳔໻ؐ

时序输入

ON OFF

䕧ߎ 䞛ḋᯊ䯈↉

᳔ᇣؐ

时序输入

第

章 保持 功能的 使用

滞后宽度 （用于自触发）

基于测量值在触发级别上的浮动来设置滞后。设置了滞后之后，将在采样时间段开始时生效并可防止 时序输入产生振荡。

S-H （样例的保持） 时序信号打开的瞬间保持测量值。

PP-H （峰值到谷值的保 持）

在采样时间段内保持最大值和最小值之间的差值。采样时间段为时序信号打开的 时间段。该项主要在检测振动时选择。

SP-H （自我峰值保持） 在采样时间段内保持最大值。采样时间段为测得值大于指定触发信号的时间段。

SB-H （自我谷值保持） 在采样时间段内保持最小值。采样时间段为测得值小于指定触发信号的时间段。

选择 详细内容

ON OFF

䞛ḋᯊ䯈↉

䕧ߎ

˄᳈ᬍ䖯ܹ䞛ḋ ᯊ䯈↉ⱘⶀ䯈˅

时序输入

Maximum value

䞛ḋᯊ䯈↉

Minimum value

䕧ߎ

˄᳔໻ؐ੠

᳔ᇣؐП䯈 ⱘᏂؐ˅

ON OFF 时序输入

最大值

最小值

采样时间段 触发信号

最大值 输出

操作值 释放值

滞后宽度 （用 于自触发）*

采样时间段

触发器级别 最小值

输出 操作值 释放值 滞后宽度 （用 于自触发器）*

第

章 保持 功能的 使用

拨到FUN和HOLD

1. 将模式开关设为FUN。

2. 用LEFT和RIGHT键使主显示屏上显示HOLD。

保持条件的选择

3. ^按下

^或

^键。

副显示屏将闪烁。

4. 用UP和DOWN键来选择保持条件。

5. 按下ENT键来确认选择。

设定将被登录。

仅当SP-H或SB-H被选为保持条件时会进行以下设定。

触发级别的设置

6. ^使用

^或

^{键使主显示屏上显示}

LVL。

7. 按下UP或DOWN键。

副显示屏的最左边一位将闪烁。

8. 用光标键来设置触发器级别。

SUB

SUB

SUB

೼৘Ͼ᭄ԡП䯈⿏ࡼDŽ

๲ࡴ/ޣᇥ᭄ؐDŽ

第

章 保持 功能的 使用

9. 按下ENT键来确认设定。

触发级别将被登录。

滞后宽度 （用于自触发器）的设置

10. ^用

^和

^{键使主显示屏上显示}

HYS。

11. 按下UP或DOWN键。

副显示屏最右边一位数将闪烁。

12. 用方向键为触发级别设置滞后宽度。

13. 按下ENT键来确认设定。

滞后宽度 （用于自触发）将被登录。

SUB

೼৘Ͼ᭄ԡП䯈⿏ࡼDŽ

๲ࡴ/ޣᇥ᭄ؐDŽ

第

章 正值 和负值 的转化 （比 例倒置 ）

正值和负值的转化 （比例倒置）

该功能随位移量的变化来改变显示屏上测得值的数量。对于默认设定，按下传感器探头时显示 值增加。

拨到FUN和INV

1. 将模式开关设为FUN。

2. 用LEFT和RIGHT键使主显示屏上显示INV。

显示内容的选择

3. 按下UP或DOWN键。

副显示屏将闪烁。

选项 说明

OFF （默认） 按下活塞时显示值增加。

ON 按下活塞时显示值减少。

(mm)

(mm) 显示值

-0.5 0.5 实际位移 0.5

0

0

(mm)

(mm) 显示值

-0.5 0.5 实际位移 0.5

0

0

(mm) POWER ZERO ENABLE

SUB

第

章 正值 和负值 的转化 （比 例倒置 ）

4. ^{选择显示内容。}

5. 按下ENT键来确认设定。

设定被登录。

第

章 门槛 值的输 入

门槛值的输入

设置门槛值是为了确定 PASS 判断的范围。 HIGH 和 LOW 门槛值都要设置。有三种判断输出：

HIGH、 PASS和LOW。

下表概述了设置门槛值的两种方法。

亦可对门槛值设置滞后 （滞后宽度）。判断不稳定时设置滞后可防止振荡。

p. 78

要在连接到外部设备时进行设置，应将放大器单元判断的输出保持输入设为 ON 使对外部设备的输出保持不 变。 T模式下的判断输出将与RUN模式相同，即HIGH、 PASS和LOW。

方法 详细内容

直接输入 直接输入数值来设置门槛值。

直接输入在OK判断时已经知道尺寸或想在示教后调整门槛值时十分有用。

位置示教 进行实际测量并将测量数值设为门槛值。

位置示教在可预先获得门槛样例 （即上限和下限）时十分有用。

˄⌟䞣ؐ˘LOWϟ䰤ؐᯊᠧᓔ˅

HIGHϞ䰤ؐ

⌟䞣ؐ

LOWϟ䰤ؐ

䕧ߎ

˄⌟䞣ؐ˚HIGHϞ䰤ؐᯊᠧᓔ˅

˄LOWϟ䰤ؐİ⌟䞣ؐİHIGH Ϟ䰤ؐᯊᠧᓔ˅

第

章 门槛 值的输 入

直接输入门槛值

可直接输入数值来设置起点值。

直接输入在预先知道OK判断的尺寸或在示教后微调起点值时十分有用。

拨到T模式

1. ^{将模式开关设为T。}

门槛值的设置

2. ^{将起点开关拨到}

^或

^{，即设置门槛。}

当前测得值显示在主显示屏上，正在设置的门槛 （所选门 槛开关的值）将会显示在副显示屏上。

3. ^{按下任一光标键。}

副显示屏上起点值的最左边一位将闪烁。

4. 用方向键来设置起点值。

5. 按下ENT键以确认设定。

门槛值将被登录。

设定错误的对策

若显示屏显示 ERRLH 或ERRHL 说明发生了以下两个错误 之一。

HIGH值＜ LOW值

HIGH值－LOW值＜滞后宽度 滞后设定， p. 78

SUB

(mm) POWER ZERO ENABLE

SUB

೼৘Ͼ᭄ԡП䯈⿏ࡼDŽ

๲ࡴ/ޣᇥ᭄ؐDŽ

SUB

第

章 门槛 值的输 入

位置示教

执行了示教后，测量即完成且测量值被设为门槛值。

可预先获得门槛样块 （即上限和下限）时位置示教十分有用。

示教前所作的保持、归零和比例倒置设定将会反映在示教测量中。

拨到T模式

1. ^{将模式开关设为}

^。

门槛值的设置

2. 将起点开关拨到H或L，即设置门槛。

主显示屏上显示当前测量值，副显示屏上显示正在设置的 门槛 （所选门槛开关的值）。

3. 将门槛样块放在适当位置。

主显示屏数值变化。

4. 按住ENT键至少一秒然后释放。

释放ENT键的那个点上的测量值将被设为门槛值。该起点 值将被显示在副显示屏上。

显示ERRLH或ERRHL时：p. 76

用位置示教所设置的门槛值可通过直接输入来更改。

这在设置测得值的判断公差时十分有用。

p. 76

⼎ᬭؐ˙LOW䍋⚍ؐ ⼎ᬭؐ˙HIGH䍋⚍ؐ

䍋⚍ḋ՟

˄ϟ䰤˅

䍋⚍ḋ՟

˄Ϟ䰤˅

SUB

(mm) POWER ZERO ENABLE

SUB