結合可調性光學共振腔及太陽能電池結構之全彩化 上發光有機發光二極體
黃嘉慶 戴宏霖 王執翰 李志堅
國立臺灣科技大學電子工程研究所
摘 要
本實驗中,展示結合綠色能源與顯示科技的有機光電串座元件。元件使用 自組裝單分子材料表面處理的薄銀製成共同電極,並成功串聯上發光有機發光 二極體和有機太陽能電池元件。與其他的顯示技術相比,簡化製程、全彩化及 高效率,是本實驗的重點。最後展現結合上發光有機發光二極體和有機太陽能 電池元件技術之重大進展,未來將可運用在消費性電子產品上。
關鍵詞:串座元件,上發光有機發光二極體,表面處理,自組裝單分子。
ORGANIC LIGHT-EMITTING DIODES OF FULL COLOR TOP EMISSION COMBINED WITH TUNABLE MICROCAVITY AND
SOLAR CELLS STRUCTURES
Jia-Cing Huang Hung-Lin Tai Chih-Han Wang Chih-Chien Lee
Department of Electronic Engineering, National Taiwan University of Science and Technology,
Taipei, Taiwan 10617, R.O.C.
Key Words: tandem structure, TOLED, surface modified, self-assembled monolayer.
ABSTRACT
In this experiment, we have demonstrated a novel, green energy, organic optoelectronic device for flat-panel display use. The device structure of our product successfully integrated top emission organic light emitting diodes (TEOLEDs), with organic solar cells (OSCs) having thin Ag which were modified by self-assembled monolayer (SAM) as the interlayer connecting electrode. In the experimental results, we focused on how the full-color, high-efficiency, and easy processes of general illumina- tion differed from other display technologies. Finally, we showed an important development in tandem structure of OLED/OSC fabrication techniques which may be applied for consumer electronics products.
一、介 紹
1.
太陽能電池1954
年由貝爾實驗室的 Chapin、Fuller 及 Pearson 共 同製作出第一個無機太陽能電池[1],發展至今技術已相當成熟,但因為成本問題一直無法普及一般家庭中。1958 年 由 Kearms 和 Calvin 使 用 單 晶 MgPh (magnesium
phthalocyanines)
製作出第一個光伏元件,開始了科學家對 於有機太陽能電池 (Organic Solar Cells, OSCs) 的研究[2]
。其重大突破為 1986 年 Tang 提出以 CuPc (copperphthalocyanine)
當電子施體 (donor) 及 perylene 衍生物作 為電子受體 (acceptor) 所構成的雙層異質接面元件結構[3]
。在 1995 年 Heeger 研究團隊首次提出以 MEH-PPV(poly[2-methoxy,5-(2’-ethylhexyloxy)-1,4-phenylenevinylene])
當作電子施體及 C60(Fullerene)
之衍生物 PCBM [(6,6)-phenyl -C61-butyricacid methyl ester]
當電子受體,將兩材料 相互摻混,形成單層異質接面結構(Bulk-heterojunction)[4]
。此結構中施體材料和受體材料之間的接觸面積變大,使吸收光所產生的激發子 (Excitons),在形成後能夠有效 被分離,因此光電轉換效率可以達到 1.5%,開啟一連串其 他學者對於 Bulk-heterojunction 結構的研究。
2.
有機發光二極體有機電激發光現象最早是在 1963 年由 Pope 教授所發 現,當時以數百伏特偏壓施加於 Anthracene 的晶體上,觀 察到發光現象[5]。但 Pope 教授發表的元件之陰極和陽極 使用相同的金屬,因此造成了載子注入的困難。另外由於 有機材料電子電洞移動率的不匹配,大幅度的降低元件效 率。由於所需的驅動電壓過大,及元件效率的過低,此元 件當時並沒有引起太大的注意。直到 1987 年柯達公司鄧青 雲博士與 VanSlyke 發表以真空蒸鍍法製成多層式結構的 有機發光二極體 (Organic Light Emitting Diodes, OLEDs),
此元件可使電子與電洞侷限在電子傳輸層與電洞傳輸層的 介面附近結合,大幅提高元件的性能。在小於 10 V 電壓 下,外部量子效率可達到 1% [6],從此開起了有機發光二 極體時代。
3.
微共振腔結構一般 OLED 元件的厚度與發光波長的長度為同一數量 級,而各種材料之間的光學特性並不匹配,故光學干涉的 效應在元件表現上十分的顯著,光在各層材料之間反射、
折射、光波導、吸收、再發射等的各種光學效應會產生,
進而影響到元件裡耦合出來到大氣的光強度以及頻譜,這 些效果一般稱之為微共振腔效應 (micro-cavity effect) [7,
8]
。上發光元件與下發光和全透式元件最大的不同處是上 發光元件兩個電極反射率很大,導致內部光學干涉非常嚴 重,使內部不同模態 (modes) 的光子密度被重新分配,因 此只有特定波長的光符合共振腔的光學長度得以特定的角 度導出,若適當的設計元件結構,可以使得上發光元件的 色純度與發光效率比下發光元件高[9-11]。在實際的做法上 可以利用高反射的陽極和半穿透半反射的陰極達到微共振 腔的效果。本實驗串座元件中的 OLED 部分即是使用此種 結構,因此可以預期達到相同的效果。4.
自組裝單分子技術自組裝薄膜的發展起源於 1940 年代,1946 年 Zisman 發現長鏈狀的胺類可吸附在鉑的表面,形成單層分子薄膜
[12]
,然而當時此現象並未引起重視。到了 1983 年,NuzzoOLED
Solar cell ZnSe
Thin Ag m-MTDATA: F4-TCNQ
α-NPD Alq3
Alq3: Cs2CO3
Thin Ag PTCBI CuPc ITO
Mo Substrate
圖
1 Organic Solar Cell
串接OLED
斷面結構圖[15]
及 Allara 發表了雙烷基硫化物可在金的表面形成一層自組 裝薄膜[13],至此自組裝薄膜漸漸受到科學家們的重視。
而 自 組 裝 單 分 子 (Self-Assembed Monolayer, SAM) 在
OLED
的應用,以中央研究院化學所陶雨台教授研究團隊 於 2006 年在 APL 上發表的成果最具代表性[14]。此研究 當中以不同的 SAM 修飾銀的表面做為 TOLED 的陽極,發 現使用 SAM 修飾陽極的元件,因為其電洞注入能障較小,有較低的啟動電壓,發光效率也達到 12 cd/A,較標準元件 高。
本實驗中將 SAM 技術改變功函數特性處理共同電極 表面,因此可以搭配不同有機材料製作 TOLED。有別於使 用摻雜技術製作共同電極的製程,本實驗的製程不但降低 製程複雜度,更可搭配不同功函的有機材料,材料選擇上 更有靈活性。
5.
串座結構元件串座 (Tandem) 有機光電元件的技術以臺灣大學吳忠 幟教授團隊,在 2007 年提出的有機太陽能電池串接有機發 光二極體結構最具代表性[15]。此元件以 CuPc 為主動層材 料,先製作出標準的雙層異質接面有機太陽能電池再加上 一個倒裝式上發光有機發光二極體 (inverted top emitting
OLED)
元件,元件詳細結構如圖 1 所示。此結構的發表,突顯了有機光電元件能自由搭配以應付各種需求。
同年吳忠幟教授也發表了關於主動式能源循環結構
OLED
顯示器[16],以多晶矽薄膜電晶體驅動非晶矽太陽 能電池及 OLED,如圖 2 所示。此結構發表可以減少光反 射、增加對比,而且可以做入射光及 OLED 內所產生光能 的能源循環再生。這對未來可攜式電子產品的發展是一大 貢獻。二、實 驗
1.
元件製作流程(
一) 將 ITO 基板清洗潔淨,分別浸在實驗用清潔劑、去 離子水、丙酮、異丙醇中,分別用超音波震盪機震 10Data line Power supply
OLED Scan
line C D
G S
F T1
T2
Ambient light
Solar cell
This work (a)
(b)
Cathode ETL
EL HTL HIL Cathode
Organic layer SiNxITO
SiNx ITOn
n+ n+
a-Sip Cr
Al Al Al
SiO2 SiO2
SiO2
SiON:H Buffer oxide 1737F substrate
Poly-Si
SiO2
TFT Solar
cell OLED
圖
2 (a)
主動式OLED
電路設置圖(b)
元件結構,由下 而上分別為多晶矽TFT
、非晶矽太陽能電池及上發 光OLED [16]
分鐘後用氮氣吹乾,再用平板加熱器以 100 °C 烤 1 分 鐘,去除水分。
(
二) 利用旋轉塗佈機塗佈光阻 (AZ-1500),先用 500 rpm 轉 5 秒讓光阻均勻散佈到 ITO 表面,再用 1500 rpm 轉 20 秒,讓光阻形成厚度約為 1 µm 的薄膜。經過軟 烤程序 (100 °C、3 分鐘) 固定光阻後,再經由曝光機 曝光,將光罩圖形轉移到光阻上。(
三) 將顯影液 (AZ-400k) 稀釋至濃度 25%,將 ITO 玻璃 基板置於顯影液中浸泡 40 秒,此時被 UV 光照射到的 光阻會被溶解。再經過硬烤程序 (120 °C、5 分鐘) 去 除水分另外再加強光阻與 ITO 的附著力。(
四) 將 ITO 玻璃基板浸入蝕刻液中 (硝酸:鹽酸:水= 7:23
:10) 約 6 分鐘,此時沒有被光阻覆蓋到的 ITO 會 被蝕刻液蝕刻,ITO 玻璃基板定義出製程所需形狀。再經清洗程序洗去光阻、雜質及殘留物,即完成基板 黃光製程。
(
五) 將清洗完畢並經過黃光製程定義出 ITO 形狀的玻璃基 板放上塗佈機,在玻璃基板表面滴滿 PEDOT:PSS 以4000 rpm
、40 秒的條件塗佈 PEDOT:PSS,再用平板圖
3
元件製作流程加熱器加熱玻璃基板 (180 °C、5 分鐘)。
(
六) 將塗佈過 PEDOT:PSS 的玻璃基板送入真空鍍膜機 中,在腔體為 2 × 10-6torr
的壓力下,將有機材料加熱 至熔點,並調整電流至預設之鍍率,使之蒸鍍在 ITO 玻璃基板上。(
七) 換上鍍電極用金屬遮罩鍍上共同電極 (有機太陽能 電池的陰極及有機發光二極體的陽極),利用玻璃滴 管在手套箱中將微量的有機單分子材料 SAM (4-fluorobenzylmercaptan)
滴附在共同電極的表面,並用 氮氣槍將多餘的有機單分子材料吹乾。(
八) 從手套箱中將共同電極經過有機單分子材料處理過 的半成品元件送回真空鍍膜機中,鍍上有機發光二極 體元件的有機材料部分。完成後傳回手套箱換上鍍陰 極用金屬遮罩再傳回鍍膜機中。(
九) 鍍上有機發光二極體的陰極後,在封裝玻璃上塗上封 裝膠,覆蓋於元件表面,用 UV 燈曝光 20 分鐘,待封 裝膠硬化後即完成元件製作流程。元件實際製作流程 如圖 3 所示。元件膜厚參數:
Glass(1 mm)/ITO(100 nm)/OSC/Ag(100 nm)/OLED/LiF (1 nm)/Al(2.5 nm)/Ag(25 nm)
OSC : PEDOT : PSS(40 nm)/Pentacene(40 nm)/C60(40 nm)/Bcp(10 nm)
OLED : SAM/NPB(50 nm)/Alq
3(50 nm)
元件立體結構如圖 4 所示。2.
理論模型建立微共振腔效應就是光學理論裡的 Fabry-Perot 共振 腔,如式 (1) 所示
1 2
4
j j j4
L
ϕ λn l
ϕ λπ π
= +∑ +
(1)
其中ϕ1和ϕ2是指陽極和陰極的相位差,而 L 為全部共 振腔的光學厚度。在共振腔中,光經由金屬反射回來後,
會有相位差,可由式 (2) 表示。
NPB
m-MTDATA Alq3
Ag Al LiF
SAM-modified Ag anode m-MTDATA (HIL) NPB (HTL) Alq3 (EML)
BCP C60 Pentacene
ITO
Solar cell
SAM-modified Ag anode
or
PEDOT: PSS Glasses
Top cathode
N N N
N
N N
N
O O
O Al N
N
圖
4 Solar cell Tandem OLED
元件立體結構圖2 2 2
5
arctan 2
s mm
m m
n k
n n k
ϕ = ⎛⎜⎝ − − ⎞⎟⎠
(2)
其中ϕm為經由金屬的相位差,ns為有機層的折射率,
n
m和 km為金屬折射率的實部和虛部。將上發光元件中的陰 極和陽極視為微共振腔之反射兩板,而在高反射率下,波 長必須滿足下面式 (3) 才能夠順利射出到外界。2 cos , ( integer)
i i
2
n l
θ λ Δϕm
λm
+ π = =
∑
(3)
其中 m 為整數,θ 為與共振腔平面垂直的夾角,Δϕ為 兩金屬反射後的相位差。所以反射率越高能夠出到外界的 波長就越嚴苛,其他不滿足的波長會受到壓抑,故滿足上 面的公式可以得到此共振腔所選的波長。因此,經過此共 振腔的結構以後而發出外界的發光強度以式 (4) 表示之。
2 0.5
1 2
2
0.5
1 2 1 2
(1 ) 4
1 2( ) cos
( ) 1 2( ) cos(4 / )
i i
cav
R x
R R
E i
R R R R L
π
λ π λλ
⎡ ⎤
− ∑⎢⎣ + + ⎛⎜⎝ ⎞⎟⎠⎥⎦
= + −
( )
2E
nc λ×
(4)
其中
E
nc( )
λ 2為共振腔結構的發光強度,而E
nc( )
λ 2 為發光偶極距在自由空間中的發光強度。本實驗將利用上 述理論來建立上發光元件模型基礎[8, 17, 18]。3.
量測方法(
一) 太陽能電池特性量測系統此系統是由美商理寶所提供之太陽光模擬器 (Class A
等級;功率 300 W) 標準光源為基礎所建構而成。量 測儀器使用 Keithley 2400 電流電壓計,並以自行編寫 的 Labview 程式以 GPIB 通訊連接測試座直接量測元 件特性,而系統光源校正是以美國再生能源中心
(National Renewable Energy Laboratory, NREL)
所提 供的標準試片調整儀器誤差以達到國際規範,如圖 5 所示[19]。(
二) OLED B-J-V (亮度-電流密度-電壓) 特性量測系統 有機元件發光特性系統為 PR650 輝度計連接 Keithley2400
電流電壓計,此系統是以自行編寫的 Labview 程 式以 GPIB 通訊連接而成。此量測系統是比照光電廠 規範所建構而成,方便於我們對於元件發光特性之量 測,如圖 6 所示。三、結果與討論
1.
有機太陽能電池影響有機太陽能電池的效率有以下幾個關鍵,第一是主 體材料對入射光的吸收率 (absorption effiency, ηA
)
,意指是 入射光子與產生激子數量之比例。第二是激子擴散率(exciton diffusion efficiency,
ηED)
,產生的激子的總量與達到 施體與受體材料介面的激子數量比。第三是在介面上的激子 與經由電荷轉換後拆解成的電子電洞之數量比的電荷轉移 率 (charge transfer effiency, ηCT)
。最後是載子蒐集率(carrier collection efficiency,
ηCC)
,表示在介面拆解形成的自 由電子與電洞在內建電場驅動下到達電極的數量比[20]。元 件的能量轉換效率 (power conversion effiency, PCE, ηEQE)
是 綜合以上四種參數所表現出來的整體結果特性,可表示為Device was illuminated under AM 1.5 G, 1-sun illumination, which was provide by a ORIEL class A solar simulator.
(Si-testing cell: active area of 10*10 cm2 < 1% error) V. Shrotriya, G. Li, Y. Yao, T. Moriarty, K. Emery, and Y. Yang, Adv. Funct. Mater. 16, 2016 (2006)
圖
5 Class A
太陽光模擬器圖
6 OLED
特性量測系統EQE A ED CT CC
η =η η× ×η ×η
(5)
有機太陽能電池中膜厚的變化,對於光吸收的強度及 電子電洞的傳導能力皆有影響,要產生最多的激發子,又 要每一個激發子都能有機會漂移到介面被拆解,則得出的 理論最佳吸光層厚度為激發子的可漂移長度 Ld。但是實際 上因為膜層並不會是完美的結晶面,缺陷會造成載子複合 中心的產生,再加上必須要考慮最佳吸收波段在元件內產 生的光效應等等,實際上可產生最佳光電轉換效率的吸光 層厚度並不會等於 Ld。為了得到最佳光電轉換效率我們做 了以下的一系列的膜厚改變。
元件膜厚:
ITO(100 nm)/PEDOT : PSS(40 nm)/Pentacene(X nm)/
C
60(Y nm)/BCP(10 nm)/Ag(100 nm)
我們得到 Pentacene 膜厚在 400 Å,而 C60膜厚在 400
Å~500 Å
之間,可得最佳的光電轉換效率 ηEQE= 1.2%
,結 果如圖 7 所示。效率與國外其它研究單位實驗結果相同[21]
。2.
上發光有機發光二極體在調變光色的實驗中,利用光學共振腔原理將上發
-0.1 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4
-8.0 -6.0 -4.0 -2.0 0.0 2.0
Current density (mA/cm2)
Voltage (V) X:300 Y:400 X:400 Y:400 X:600 Y:400 X:300 Y:500 X:400 Y:500 X:600 Y:500
圖
7
不同膜厚條件下的特性曲線Light blue color CIE (0.15, 0.4)
Yellow color CIE (0.4, 0.52)
Green color CIE (0.2, 0.68)
Orange color CIE (0.52, 0.46) 圖
8
利用光學共振腔選擇TOLED
出光波長調色光元件中 Alq3發光層發光波長由藍光調到橘光,如圖 8 所 示,未來將可以有效應用在高色彩飽和度顯示器以及高效 能有機發光元件。
模擬之上發光的元件結構為 Ag (100 nm)/NPB (50
nm)/Alq
3(X nm)/LiF (1 nm)/Al (2 nm)/Ag (Y nm)
。NPB 的 厚度為 50 nm 以利於電洞傳輸,而銀和 Alq3的厚度為需 要找出最佳的光學特性。如下圖 9 所示;(a)、(b)、(c)、(d)
分別為不同銀的厚度的頻譜圖。在圖 9(a)中,當銀厚 度為 15 nm 和 20 nm 時,此時 Alq3厚度為 50 nm 有最佳 化的厚度,且峰值與原本 Alq3的 PL 相若。在圖 9(b)中,當銀厚度為 25 nm 和 30 nm 時、Alq3厚度為 50 nm 和 60 nm 時有最佳化的厚度,但 Alq3厚度為 50 nm 時,峰值與原 本 Alq3的 PL 相若。由此可知半高寬最窄有較好的色純 度、且峰值不能夠偏移的、光場強度最佳時的結構,選 取銀厚度 25 nm 和 Alq3厚度為 50 nm,此結果與元件實 際製作量測相符。
比較標準的下發光元件,上發光元件更具有光學調整 性。為了進一步了解波長隨著共振腔的變化,圖 10(a)所示
Alq3_30nm Alq3_40nm Alq3_50nm Alq3_60nm Alq3_70nm Alq3_30nm
Alq3_40nm Alq3_50nm Alq3_60nm Alq3_70nm
Alq3_30nm Alq3_40nm Alq3_50nm Alq3_60nm Alq3_70nm Alq_30nm
Alq_40nm Alq_50nm Alq_60nm Alq_70nm
6.00 × 1026 4.50 × 1026 3.00 × 1026 1.50 × 1026 0.00
Intensity (a.u.)
6.00 × 1026 4.50 × 1026 3.00 × 1026 1.50 × 1026 0.00
Intensity (a.u.)
6.00 × 1026 4.50 × 1026 3.00 × 1026 1.50 × 1026 0.00
Intensity (a.u.)
6.00 × 1026 4.50 × 1026 3.00 × 1026 1.50 × 1026 0.00
Intensity (a.u.)
500
450 550 600 650
Wavelength (nm) (a)
500
450 550 600 650
Wavelength (nm) (b)
500
450 550 600 650
Wavelength (nm) (c)
500
450 550 600 650
Wavelength (nm) (d)
圖
9
不同陰極厚度下TOLED
之發光頻譜模擬0.8 0.7 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0.0
CIE Y
0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 CIE X
(b)
0.5 0.6 0.7 0.8
540 550
560 570
580 590
600 610
620680 530
470 480 90
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0.0
Normalize intensity (a.u.)
450 500 550 600 650 700
Wavelength (nm) Blue Green Yellow Orange Ref.
(a)
圖
10 (a)
利用可調變光學共振腔之不同元件電致發光頻譜(b)
不同元件CIE 1931
色座標為下發光元件的 Alq3發光層發光波段,利用共振腔原理選 擇發光波段進一步就單一波長調整放光效率,圖 10(b)為調 整過後的 CIE 色座標。
3. Tandem
元件本實驗將單分子技術應用在多層串座元件的復合中 心電極,並研究如何有效改善上發光有機光電元件載子注
入的行為。利用 SAM 去修飾上發光陽極的金屬/有機接 面,以助於電洞有效的注入,進而提高電子/電洞在發光層 的復合機率。這種單分子修飾電極的製程,可處理常用的 材料如金、銀、鋁。藉由此製程,幫助上發光元件有更高 發光效率及製程穩定性。在多層元件開發方面,也將單分 子技術應用在修飾多層串座元件的復合中心電極,製作出 具可調性光學共振腔及太陽能電池結構之全彩上發光有機
27 nm
20 nm 90 nm
100 nm
Si wafer Interlayer metal
Top metal Organic light-emitting diode
Organic solar cell
圖
11 Tandem
元件SEM
掃描OLED OLED OLED
ITO ITO ITO
Solar cell Solar cell Solar cell
OLED OLED
OLED
(a) (b) (c)
圖
12 (a)
雙向吸放光型(b)
吸光出光反向型(c)
吸光 出光同向型圖
13 半穿半反多層串座元件戶外實際操作情況
發光二極體。此創新結構連接二種不同功用有機光電元 件,如圖 11 所示,使其同時具備太陽能電池及有機發光二 極體特性。
除此之外,在結構設計上製作出不同厚度的共同電極 搭配有機發光二極體的陰極厚度變化,將可以控制元件吸 光和出光方向,分別為雙向吸放光型、吸光出光反向型、
吸光出光同向型,如圖 12 所示,不同結構可應用在不同的 需求。
半穿半反多層串座元件如圖 13 所示,此結構最大特性 可應用在車用型擋風玻璃顯示器及玻璃帷幕大樓外牆上。
上發光元件未發光時元件是半透明狀態,需要顯示時直接 在該元件電極上發光。這樣可符合開車族需求並提供顯示
科技在車用顯示器上應用。另外此種元件也是綠色建築的 一個應用,白天時外觀為一般玻璃,但兼具太陽能電池的 功能;晚上時做為照明光源,直接利用白天所儲存的電能,
符合目前綠色科技觀念。若將此結構製作成全反射連接電 極,形式類似於目前無機太陽能結合 LED 元件,不過本實 驗的垂直式連接結構具有簡單化製程並同時節省系統空 間,只要將來有機太陽能元件效率提升至 10%,未來對新 型省電照明設備發展必有相當大的幫助。
四、結 論
本實驗開發簡單製程能夠結合不同功能的有機光電 元件,利用經 SAM 處理的金屬結合有機太陽能電池及有 機發光二極體元件,使成為具可調性光學共振腔及太陽能 電池結構之全彩化上發光有機發光二極體。此元件利用光 學共振腔調變發光層 Alq3發光波段達到全彩化的效果,未 來將可應用於省電照明設備或省電全彩化顯示器上。
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2009年 02 月 05 日 收稿 2009年 02 月 13 日 初審 2009年 03 月 18 日 複審 2009年 04 月 03 日 接受