出席2015 E-MRS國際會議出國報告書

國立成功大學

邁向頂尖大學計畫出國案報告書

報告名稱：出席 2015 E-MRS 國際會議口頭報告之過程與心得

出國期間：2015/05/7~2015/05/24

經費來源：邁向頂尖大學計畫經費

單位：國立成功大學 光電科學與工程學系

職稱：博士生

姓名：林渝璋

中華民國 104 年 6 月 12 日

1

中文摘要

歐洲材料研究學會春季會議為歷年來全球材料領域之重要年會。E-MRS 每年集合世 界頂尖之研究學者與會，發表最新研究論文。會議主題包括能源材料、光電材料、有機與 生醫材料及其他先進光電元件材料等。本次投稿之報告文章題目為利用電漿增強式原子層 沉積系統與雙氧水前處理製備氧化鋅應用於金半金紫外光光檢測器之特性研究，內容為使 用雙氧水對於基板做前處理，再利用電漿增強式原子層沉積系統沉積氧化鋅薄膜，最終將 其作應用於金半金紫外光檢測器上。本研究藉由雙氧水前處理提供大量氫氧基於基板表面 與二乙基鋅前驅物做反應，於良好的基底薄膜製備，進而提升紫外光檢測器之檢測度。與 會中，藉由聆聽各國學者發表論文，學習其演講之技巧與新觀念，並與他國頂尖學者交流 討論，將其應用於提升實驗室之檢測器與微機電元件的研發。

英文摘要

Spring conference of the european materials research society was an importance conference on materials in the world. The top researcher for the scope of material in the world will publish newest paper and research at the conference. They attend the spring conference of the european materials research society every year. The scope of the conference includes materials for energy and environment, materials for optics and optoelectronics, organic and bio-materials, materials for advanced electronics. In 2015 E-MRS, the submitted paper named as “Investigation the performance of hydrogen peroxide pretreatment ZnO UV photodetectors using plasma-enhanced atomic layer deposition. ” In this paper, the sapphire substrates were pretreated by hydrogen peroxide, and deposited ZnO films using plasma-enhanced atomic layer deposition system. To improve the quality of ZnO film, the hydroxyl group on the initial substrate surface was necessary for the reaction with diethylzinc. The good quality of ZnO film as active layer of metal-semiconductor-metal ultraviolet photo detectors can improve the photoresponse and detectiveity of ultraviolet photo detectors. In addition, to improve techniques of oral presentation and views new research, the presentations lecture by top researchers from different country in the international conference will be held. The new idea and technique will apply into detectors and micromechanics devices in our laboratory.

目次

中文摘要………

2

英文摘要………

2

目次………

3

一、 目的………

4

二、 過程………

4

三、 心得………

6

四、 建議………

6

五、 活動出席照片………

8

3

一、 目的

2015 歐洲材料研究學會春季會議為長久以來全球材料領域之重要年會。EMRS 每 年分別於春季與秋季個別舉辦一次會議，集合世界頂尖之材料研究學者與會，發表最 新 研 究 成 果 。 會 議 主 題 共 分 六 大 領 域 。 其 領 域 包 括(1) Materials for energy and environment，(2) Materials for optics and optoelectronics，(3) Multifunctional oxides，(4) Organic and bio-materials，(5) Materials for advanced electronics，(6) Advanced Materials Synthesis, Processing and Characterization 等。子項目領域總共有 33 項，每年皆有上千 位全球學者參與此演討會。本次投稿之文章題目為“Investigation the performance of hydrogen peroxide pretreatment ZnO UV photodetectors using plasma-enhanced atomic layer deposition (利用電漿增強式原子層沉積系統與雙氧水前處理製備氧化鋅應用於 金半金紫外光光檢測器之特性研究) ”，並於會議過程中做英文海報展覽與報告。藉由 參與此國際盛事，開拓先進半導體材料與生醫及光電感測器研究方面的視野，並聆聽 各國學者發表論文，學習其演講之技巧，期許在往後的研究中，能夠有更加傑出的表 現，並對於自身將來的研究主題有更趨於完善的研究。

二、 過程

成大光電所博士班學生林渝璋於5 月 7 日晚間 11 點搭乘長榮航空班機起飛，前 往法國里爾參加 2015 歐洲材料研究學會春季會議(2015 E-MRS)，此次會議在法國里 爾會議中心(Congress center (Grand Palais))所舉辦，學生於 10 號到達里爾以參加一系 列會議行程，報告時間及場地為 5 月 11 日下午四點做海報展覽，學生參加此會議的 論文被歸類的主題為Multifunctional binary and complex oxides films and nanostructures for nanoelectronics and energy applications - II，此領域同時段共有 77 篇海報展覽，同 時段共有百餘篇海報同時展覽，學生報告的題目為“Investigation the performance of hydrogen peroxide pretreatment ZnO UV photodetectors using plasma-enhanced atomic

layer deposition”，主要內容為使用雙氧水對於基板做前處理，再利用電漿增強式原子 層沉積系統沉積氧化鋅薄膜，最終將其作應用於金半金紫外光檢測器上。本研究藉由 雙氧水前處理提供大量氫氧基於基板表面與二乙基鋅前驅物做反應，於良好的基底薄 膜製備，進而提升紫外光檢測器之檢測度。於海報展覽的過程中，相關領域之研究教 授與博士生，皆紛紛詢問我相關的製程技術，討論其研究之理念與架構，在與各國學 者討論並解釋後，他們對於本研究皆有高度的讚賞，並認為其研究極具創新，希望可 與學生進一步留下聯絡資訊以便日後做討論。此外，也與各國學者討論原子層沉積系 統之未來展望與預期將遭遇之困難。此外，學生於多天的研討會過程中參與幾場具獨 創性及前瞻性的演講， I. Fina, F. Liu, D. Gutiérrez, G. Radaelli, R. Bertacco, and J. Fontcuberta “Relation between short-circuit photocurrent and ferroelectric retention in BaTiO3 thin film” 及 B. V. Bilzen, P. Homm, L. Dillemans, C. Y. Su, M. Menghini, M.

Sousa, C. Marchiori, J. Fompeyrine, L. Zhang, J. W. Seo and J. P. Locquet “Production of VO2 thin films through post deposition annealing of V2O3 and VOx films” 及 P. Zhang, W.

B. Luo, X. Q. Pan , Y. Shuai, Q. Q. Wu, C. G. Wu, C. Yang, W. L. Zhang “Effects of TiO2

deposition oxygen pressures on the resistive switching of the Au/TiO2/Pt stacks”及 I.

Vassalini, N. Bontempi, A. Gianoncelli, I. Alessandri “Hierarchically structured core/shell dielectric colloids for Surface Enhanced Raman Scattering” 與 S. F. Chichibu, S. Iwahashi, Y. Yamazaki, K. Kojima, K. Furusawa and A. Uedono “Controlling the minority carrier lifetime of ZnO epitaxial thin films by transition metal doping” 等多個口頭報告，亦於美 日參加了不同的海報論文會場，對於 Emanuela Schilirò, Patrick Fiorenza, Giuseppe Greco, Cristina Tudisco, Guglielmo G. Condorelli, Graziella Malandrino,Fabrizio Roccaforte, Raffaella Lo Nigro“Surface treatments on AlGaN/GaN heterostructures for gate dielectric Al2O3 thin films grown by Atomic layer Deposition” 及閱讀不同領域之海

報論文，並對 “Effect of Al₂O₃ buffer layer in Mo-Al-Mo auxiliary electrode on lifetime and stable operation of large-area organic light-emitting diodes” , “Oxidation protection of the Si(001) surface due to adsorbed Sr”, “UV illumination induced changes in solution

deposited conductive ZnO thin films” , “Influence of the exciton-phonon and exciton-defect regimes on the absorption and emission energies of ZnO thin films near the absoprtion edge”等多個海報作者提出問題與討論，希望藉由不同材料與元件領域之研究方向，讓 自身對於研究有更廣泛的想法與創新。

三、 心得

本次為學生第一次參與於歐洲極具盛名並舉辦多年的歐洲材料研究學會春季會 議，此種會議盛事其主題分類相當多樣化與創新，領域更是相當廣泛。參加此次的歐 洲材料研究學會春季會議可讓不同材料領域與元件的研究學者間，有眾多的切磋與了 解，藉此了解不同領域的想法與觀念，因而創造出更多研究的思想與啟發，最終將其 他領域具創意與前瞻性的想法及觀念融合。本實驗室致力於原子層沉積系統之薄膜製 備與氧化鋅(II-VI)相關紫外光檢測器及等應用，藉由此次參加此研討會，對於先進半 導體材料或有機材料的新知學習，以及創新的元件材料量測方式，將其新觀念與技巧 可以應用於提升實驗室在檢測器與創新材料的研發潛力，期待有更多的成果可以發 表。此外，藉由此次經驗不僅開拓了材料與能源材料方面的視野，更藉由聆聽各國學 者發表論文，學習其演講之技巧，期許自身在往後的研究發表中，能夠有更加傑出的 表現，並對於自身將來的研究主題有更趨於完善的研究。

四、 建議事項

參加此次2015 歐洲材料研究學會春季會議，於會中看到了許多已開發及發展中 國家皆致力於投入研發創新材料及能源相關問題，例如：法國、英國、美國、韓國、 日本、越南…等國。其各國的學者研究皆有不錯的成果，學生認為台灣的學生應該更 積極主動的去參與並於其競爭，藉由參與國際研討會中報告的機會，與其他國的學者 與學生有學術上的切磋交流與討論，琢磨自身的國際觀點與研究領域的見解提升，創 造自身更多學習與研究的機會，並可藉由參與會議中的討論認識他國其他專業領域的 6

學者與學生，進而發展可進行跨國的學術交流並促進學術合作與發展，增進專業領域 的視野。

五、 活動出席照片

會場照片 海報展示 8

海報展示及接受各國學者詢問與討論