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利用CMOS-MEMS 技術製作之微光點量測系統

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Academic year: 2021

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國立交通大學

電機與控制工程學系

碩士論文

利用 CMOS-MEMS 技術製作之微光點量測系統

Micro optical spot measurement system fabricated

by CMOS-MEMS technology

研究生：張子麟

指導教授：邱一 博士

(2)

利用 CMOS-MEMS 技術製作之微光點量測系統

Micro optical spot measurement system fabricated

by CMOS-MEMS technology

研究生：張子麟 Student：Tzu-Lin Chang 指導教授：邱一 Advisor：Yi Chiu 國立交通大學 電機學院 電機與控制工程學系 碩士論文 A Thesis

Submitted to Department of Electrical and Control Engineering College of Electrical Engineering

National Chiao Tung University In Partial Fulfillment of the Requirement

For the Degree of Master of Science

In

Electrical and Control Engineering December 2008

Hsinchu, Taiwan, R.O. C 中華民國九十七年十二月

參考文獻

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