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半導體製造設備重要關聯技術

第二章 文獻探討

2.2 半導體產業

2.2.10 半導體製造設備重要關聯技術

半 導 體 製 程 需 要 非 常 專 業 且 複 雜的 設 備 , 它 需 要 多 樣 且 專 用 型 的 設 備 , 不 同 於 產 業 用 機 器 人 、 塑 膠 成 型 機 和 工 具 機 等 一 般 機 械 的 泛 用 特 性。半 導 體 設 備 機 種 數 多,設 備 間 較 不 可 能 略 做 變 更 便 產 生 新 功 能,

亦 可 說 是 每 一 設 備 皆 是 為 半 導 體 製 程 量 身 定 做 的 , 因 此 若 是 貿 然 無 計

畫 投 入 某 一 機 種 , 可 能 承 受 極 大 的 失 敗 風 險 。

少 機種數 多

可 建設機械 製造機械 半導體製造設備

用 工具機械 紡織機械 製造設備 範

圍 塑膠成型機 金屬加工機械 產業用機器人

資 料 來 源 : 譯 自 富 士 總 合 研 究 所 ,「 日 本 半 導 體 設 備 產 業 研 究 」

圖 2.8 半導體設備與其他機械應用範圍之比較

半 導 體 製 造 設 備 之 關 聯 技 術 主 要可 分 為 六 大 部 分 , 以 下 分 別 說 明 之 :

一 、IC 製造產業

包 括 前 段 之 微 影 、 光 阻 處 理 、 蝕 刻 、 平 坦 化 、 擴 散 與 植 入 、 薄 膜 及 製 程 技 術 , 後 段 製 程 則 有 金 相 結 球 、 超 音 波 焊 接 、 塑 化 成 形 、 黏 著 、 溫 度 控 制 、 及 量 測 技 術 等 。

二 、 電 子 產 業

電 路 板 技 術 、 電 子 電 路 設 計 技術 、 高 頻 電 路 技 術 、 電 路 測 試 技 術 及 電 子 電 路 製 造 技 術 。

三 、 自 動 控 制 產 業

計 算 機 技 術 、 伺 服 器 控 制 技 術 、模 擬 技 術 、 控 制 設 計 技 術 、 機 器 人 技 術 及 驅 動 器 技 術 , 機 電 整 合 著 重 於 自 動 化 技 術 之 發 展 及 應 用 , 以 先 進 之 精 密 機 械 工 程 、 電 機 、 電 力 、 電 子 、 控 制 理 論 及 計 算 機 科 學 等 技 術 來 設 計 和 製 造 具 有 更 高 性 能 、 更 強 功 能 之 工 業

自 動 化 元 件 、 設 備 或 系 統 。 這 些 元 件 設 備 及 系 統 包 括 感 應 器 、 自 動 器 、 控 制 器 、 功 率 元 件 、 機 器 人 、 機 器 視 覺 、 自 動 導 引 車 與 生 產 現 場 監 控 系 統 。

四 、 電 機 產 業

直 流 無 刷 馬 達 技 術 、 交 流 感 應 馬達 技 術 、 變 壓 器 技 術 、 感 應 器 技 術 、 控 制 電 路 技 術 及 馬 達 技 術 。

五 、 機 械 產 業

物 流 技 術 、 精 密 感 測 與 控 制 技術 、 精 密 機 械 加 工 處 理 技 術 、 真 空 技 術 、 精 密 機 械 設 計 技 術 及 精 密 零 組 件 技 術 。

六 、 其 他 產 業

應 用 化 學 技 術 、 應 用 物 理 電 漿 技術 、 廢 棄 處 理 技 術 、 晶 片 清 洗 技 術 及 光 學 定 位 技 術 。

資 料 來 源 : 工 研 院 機 械 所 【1】

圖 2.9 IC 製造設備技術關聯圖 機 械 產 業

直 流 無 刷 馬 達 技 術 精 密 機 械 加 工 處 理 精 密 感 測 與 控 制 精 密 零 組 件 技 術 真 空 技 術

物 流 技 術

電 機 產 業 直 流 無 刷 馬 達 技 術 交 流 感 應 馬 達 技 術 變 壓 器 技 術 感 應 器 技 術 控 制 電 路 技 術 電 源 穩 壓 技 術

電 子 產 業 電 路 板 技 術

電 子 電 路 設 計 技 術 高 頻 電 路 技 術 電 子 電 路 製 造 技 術

其 他 產 業 應 用 化 學 技 術 應 用 物 理 電 漿 技 術

廢 電 處 理 技 術 晶 片 清 洗 技 術 光 學 定 位 技 術

自 動 控 制 產 業 計 算 機 技 術 伺 服 控 制 技 術 模 擬 技 術 控 制 設 計 技 術 機 器 人 技 術 影 像 處 理

IC製造技術 微 影 技 術 塑 化 成 型 技 術 平 坦 化 技 術 黏 著 技 術

擴 散 與 植 入 技 術 溫 度 控 制 技 術 半 導 體 製 造 設 備 技 術 產 業

電 子/ X 光 步 進 幾

(E-Beam/

X-Ray Stepper) 鍍 銅 鐵 (Copper Plating) 銅 的 化 學 機 械 研 磨 及 洗 淨 機 (Copper CMP/Cleanning) 旋 塗 低 介 電 物 機 (Spin-on-dielectric)

Implanter、 PVD 、 HDP 、 CVD HDD Etcher 、

Vertical Furnace Deep UV Stepper 、 化 學 機 械 研 磨 機 (CMP) 、 多 控 自 動 化 系 統(Multi-chamber platform) 、

自 動 化 清 洗 設 備(Automated Wet Bench) 塗 佈(Coating) 、 機 械 與 陶 瓷 加 工 (Maching) 、 電 鍍(Electroplating) 、 自 動 化 (Automation) 、 塑 形(Molding) 、 焊 接 (Welding) 、 電 腦 模 擬 (Simulation) 、

氣 控 制 系 統(Gas panel) 、 影 像 處 理 (Imaging)

質 量 流 量 控 制 器 (MFC) 、 感 應 器 (Sensor) 、 濕 洗 槽 (Wet Tank) 、 閥 門 (Valve) 、 電 極 (Electrode) 、 單 片 電 腦 卡 (SBC) 、 SMIF Interface 、

步 進 馬 達(Stepper Motor) 、 RF 匹 配 電 路 (RF systems) 、 真 空 泵 (Pump)

資 料 來 源 : 半 導 體 技 術 雜 誌 【2】

圖 2.10 8 吋製程設備工業的食物鏈架構圖 未 來 需 要 的

製 程 設 備

已 開 發 成 功 的 製 程 設 備

關 鍵 性 技 術

關 鍵 性 零 組 件

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