3.2 建廠後營運階段之土壤及下水污染潛勢調查監測
3.2.1 基本資料蒐集分析
本項工作為既有資料蒐集、整理與分析，為計畫執行之首要工作，
對象包括廠區土地使用歷史、廠區內外潛在污染源、水文地質背景資 料、廠區雨污水收集系統及場址及周圍井況調查等，各重點要項如下：
一、廠區及鄰近地區土地使用歷史
‧廠區土地未開發前之用途
‧有無意外溢洩漏狀況
二、廠區及鄰近地區現場資料研判
‧ 水文及氣象 2 區域地形圖 3 區域地質圖 4 區域地下水資料
5 鄰近區域可能之污染源研判 三、廠區水文地質相關資料
‧土層分佈
‧土壤及地質特性
‧地下水位
‧含水層位置
‧水力傳導係數 四、廠區雨污水收集系統
‧雨污水系統
‧廢水回收
‧廢水處理及排放 五、污染潛勢調查
‧各貯槽種類及配置
‧各式管線種類及配置
‧原物料裝卸載方式 2 廠區整體操作及營運
3 彙整廠區現有相關基本防護措施
六、廠區及鄰近地區相關監測調查資料
‧既設監測井資料
‧土壤調查分析資料
‧地下水污染調查資料 .3.2.2 廠區污染潛勢調查
.3.2.2.1污染潛勢評估目的
現代化高科技之工廠，所可能應用到之高污染性化學藥品、油品等 之種類相當繁多，加上現今各製程複雜，廠房中管線、儲槽密佈，若一 旦發生洩漏事件，輕則機器設備毀損，重則造成環境生態破壞及人員死 傷；而其中因洩漏所造成之土壤或地下水環境之污染，則是需耗費巨額 金錢與時間，方能進行有限度之處理，其所造成之影響是長久性的。因 此，依據廠區內配置而先行進行污染潛勢之評估，可了解到廠區內較易 發生土水污染事件之區域，從而可先行規劃設置監測系統，一方面可先 行了解區域背景狀況，另一方面即發揮其日常性之預警監測功能。
.3.2.2.2污染潛勢評估範圍及方法
一般工廠要執行土壤及地下水污染防治管理，首先需由工廠本身之 運作特性、潛在污染源及土地使用情形開始瞭解，進一步針對廠內可能 具污染潛勢之區域，於平時就特別注意並予記錄，也就是「自我體檢」，
透過自我體檢或污染防治管理自評將可減少可能污染之產生。摘列高科 技廠內可能具污染潛勢之區域及執行土壤及地下水污染防治管理之原 則，說明如表9所示。
表9 高科技廠可能具污染潛勢之區域
而高科技廠潛在污染源大致可包括原物料、廢水及廢棄物幾大類，
茲說明如下：
1 原物料
在高科技廠使用之原物料方面，其項目多達一百多項，包含多 類無機酸鹼、有機溶劑、光阻液、異丙醇（IPA）、過氧化氫等，
大多以液體及氣體為主；其中不乏具強烈腐蝕性、毒性之物質。
若 以 其 溶 解 性 及 比 重 之 特 性 劃 分 ， 則 可 分 成 易 溶 於 水
（Miscible）、不溶於水比水輕（Light Non-Aqueous Phase Liquid，
LNAPL）及不溶於水比水重(Dense Non-Aqueous Phase Liquid，
DNAPL)等三類，使用上主要是提供製程機台用做產品之清洗、蝕 刻、顯影等用途。
由於所使用之原物料多數具有危害性，使用量大，其輸送管 線、儲槽／供應槽容量等之設計多配合機台之需求及物質特性設 計，但其仍有外洩之可能。
此外，廠區內發電機組所使用之油品(如超級柴油)等等，也是 可能之污染來源。
2 廢水
高科技廠所產生之廢水，依其污染特性可分作業廢水及生活污 水，其中作業廢水包括酸鹼廢水、氟酸系廢水及研磨廢水。
3 廢棄物
現有廠廢棄物的來源包括製程、設備之維修保養、廢氣處理、
廢水處理、物料容器及包裝材料、物料汰換及員工日常活動等，而 產生之廢棄物種類則有氟化鈣污泥、廢氣吸附材料（廢氣處理）、
零配件廢品（物料汰換、設備之維修、保養）、廢光阻劑、廢去光 阻劑、廢異丙醇、廢酸(鹼)、廢晶片及廢IC等（製程）、廢紙、廢 木材、廢塑膠桶、廢玻璃瓶（物料容器及包裝材）及生活垃圾、廢 口罩、鞋套、手套等其他一般事業廢棄物（員工日常活動）等。
而通常可能造成土壤及地下水污染之情形有：
4. 原物料或廢液意外傾倒而漫流至未舖面之裸露地表，進而滲入土 壤及地下水層。
5. 地上或地下輸送原物料之管線發生洩漏。
6. 流進或流出廢水廠之地上或地下廢污水管線發生破損洩漏。
7. 原物料儲槽或儲油槽發生洩漏。
8. 原物料裝卸不慎，發生洩漏而漫流至裸露地表。
9. 其餘人員、機具、車輛等操作不慎或保養不當，發生油品意外之 傾洩等。
於進行污染潛勢評估之作業上，其工作執行方法通常為：
一、需先了解該目標廠址之基本資料 1.產業特性。
2.使用原物料之性質。
3.產品之性質。
4.廠址所在地之地下水文地質條件。
5.廠區內製程配置。
6.廠區內原物料或產品之輸送動線。
7.廠區內油品或化學品之儲存位置。
8.廠區內廠房及其餘建物之配置。
9.廠區內無舖面之裸露地面配置情形。
二、進行室內之資料分析與彙整
當已蒐集廠區之背景基本資料後，需研判廠區之地下水流向、廠 區內原物料及產品之輸送行為、廠區內原物料及產品之儲存行為、廠 區配置、廢污水管路之佈設位置與路線，依據上述資料，思考彼此相 互間之連帶關係，初步劃分具污染潛勢之區域，並經由後續之現場勘 查作業來確認。
三、進行現場之勘查作業
為了解廠區具有可能發生土水污染事件之位置，經廠區主管人員 同意後，由負責人員帶領進入廠區內進行細部勘查作業，以了解具發 生污染潛勢之所在點為何。進行廠區內之細部勘查重點，主要包含有：
1所使用之化學品種類。
2.化學品之出、入位置，及各出入位置周圍環境(是否有管溝) 。 3.化學品發生洩漏時之收集與排出位置。
4.廢污水排出位置。
5.地下管線位置及所輸送化學品種類。
6.廠區內油槽位置及儲存油品種類。
7.油槽管線。
8.廠區內污水管線及放流位置。
依據前述之現勘結果，高科技廠房內地面均有良好之防水鋪面、偵測 警示設備、防溢截流設備，因此尚不至於有土水污染之虞。但於建物 外化學品之裝卸區，常緊鄰未有鋪面之景觀綠帶區，且裝卸作業頻 繁；因此，進行廠區污染潛勢之評析上，將廠區各區域依照地表有無 鋪面、可能之洩漏量大小、裝卸作業是否頻繁、污染物質是否為
NAPL(非水溶性污染物)、有無地下管線及有無建物外洩漏阻絕設施等 因素，來區分廠區內具土水污染潛勢區域之潛勢大小區分等級。
.3.2.2.3廠區內土壤及地下水污染潛勢評析結果
依據廠區現場勘查結果，將廠區予以區分出較具土水污染潛勢之區 域，依據前節所做之評估及考量下列因素，將各區域進行污染潛勢高、
中、低等區分：
a 地表有無鋪面。
b 可能之洩漏量大小。
c 裝卸作業是否頻繁。
d 有無地下管線。
e 污染物質是否為NAPL(非水溶性污染物) 。 f 有無建物外洩漏阻絕設施。
詳細之較具土水污染潛勢區域程度劃分，如表10所示。
表10 較具土水污染潛勢區域程度劃分
污染潛勢分區 A B C D E F G H
a.緊鄰地表有無鋪面
b.若有洩露，洩漏量大
c.日常裝卸作業頻繁
d.有地下管線
e.運作物質是否為NAPL
f.有設置防洩漏之截流設施
分級 中 低 高 中 高 高 中 低
註：1.若同時具有 a、b、c 項者，歸類為高潛勢區域
2.若僅具 a、b 兩項且符合情形達至少三項以上者，歸類為中潛勢區域 3.其餘則為低潛勢區域
.3.2.3土壤採樣點及地下水水質監測井網規劃
一般之土壤及地下水監測皆必須預先分析並瞭解廠區的製程、貯 槽種類及可能產生的污染物，才能據以規劃土壤及地下水監測點的空 間分佈，進而評估採樣深度及設計水質監測井，例如井深與井篩開口 位置等。
一、土壤取樣點之篩選
對於土壤採樣點之篩選方式建議如下：
1. 各個採樣點，選取之地點儘量在公共設施地區，例如道路邊、花 圃、草地等，並儘可能接近下列地區。
(1)曾掩埋或置放廢棄物之地點 (2)儲槽及管線區域
(3)廢水處理或溶劑回收區域
(4)對於較不可能發生土壤污染者(如硬舖面)。
2.採樣深度及分析項目方面，各個土壤採樣點採取3個深度之樣品：
(1).第一層為表土(0～15公分)，分析項目為重金屬(鉛、鉻、鎘、銅、
鋅、砷、汞、鎳)
(2).第二層為裡土(15～30公分)，分析項目為重金屬(鉛、鉻、鎘、
銅、鋅、砷、汞、鎳)
(3).第三層為深層土壤(50~100公分)，分析項目為：VOCs(包括苯、
甲苯、乙苯、二甲苯、四氯化碳、氯仿、1,2-二氯乙烷、1,2-二氯 丙烷、順-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二氯乙烯、三氯乙烯、四氯乙烯、
氯乙烯等13項)、SVOCs(包括1,2-二氯苯、1,3-二氯苯、3-3'-二氯 聯苯胺、六氯苯、2,4,5-三氯酚、2,4,6-三氯酚、五氯酚等7項)。
二、監測井數量及位置擬定
本計畫監測井位置之選定將根據場勘查與相關之基本資料，依地下 水地質、地下水位及流向、廠區管線及可能污染源分佈狀況等之考量，
進行佈設；以能掌握及涵蓋廠區之地下水位及流向分佈，同時並能兼顧 監測外來污染團為原則，期能釐清地下水之水質狀況，以及地下水質有 污染情形時可正確研判污染來源。
井深方面，以設置於第一含水層，能達豐水季時地下水位下5公尺，
枯水季地下水位1公尺為原則。井篩開設長度依環保署「地下水水質監 測井設置規範」，在自由含水層，規劃為6公尺。
.3.2.4地下水監測井設置作業
根據地下水設置規劃，設置所需之地下水質監測井數量，監測井位 置之選定參考周邊既有地下水監測井配置、區域性地下水流向及廠內污 染潛勢判斷結果來進行佈置，而實際之監測井位，於進行現場勘查；有 關監測井位置選取原則擬定如下：
1.監測井位置需遠離低窪地，以免日後淹水，而妨礙地下水質監測工作 及其永久性。
2.監測井位需避開相關地下管線，如自來水管、電信電纜、瓦斯管、油
2.監測井位需避開相關地下管線，如自來水管、電信電纜、瓦斯管、油