二、 半導體製程危害
2.6 擴散製程
擴散及離子植入是用來控制半導體中雜質量的關鍵程序。擴散方法是 使用植入雜質或雜質的氧化物作氣相附著，將雜質原子植入半導體晶圓的 表面附近區域。雜質濃度由表面成單調遞減，雜質的分佈固形取決於溫度 及擴散時間。離子植入程序中，雜質是以高能呈離子束植入半導體中。植 入雜質的濃度在半導體內存在一高峰，雜質的分佈圖形取決於離子的質量 與植入能量。離子植入程序的優點在於雜質量的精確控制，雜質分佈的再 重整，以及低溫下操作。使用之化學品有：磷化氫、三甲基化鋁、砷化氫、
三氯化硼、三氟化硼、三氟化氯、正辛烷、20%氟氣/氮氣、四氫化鍺/氫氣、
氫氣、氟化氫、三氟化銦、碘化銦、一氧化二氮、氨氣、一氧化氮、臭氧、
TRANS-LC、四(甲基乙基氨)鋯等，其危害特性及危害警告訊息如表 2-6 所 示。
表 2-5 薄膜製程化學品危害
二氮
4. 極度易燃氣體
磷化氫
6. 對水生生物毒性非常大
NO 化劑
第三章 半導體廠應變組織
3.1 廠區緊急應變組織及運作
緊急應變為工廠保護層的最後一道防線，目的為使廠區於緊急狀況發 生時，能以正確而有效的應變處理程序，將意外事故所引發之人員傷害、
財產損失及對環境造成的衝擊，減低至最低程度。所以當廠區遭遇到緊急 事件時，如果有緊急應變組織迅速且有效的處理，可以減低災害所造成的 影響；緊急應變處理程序適用範圍包括：人員受傷、火災、化學品洩漏、
有害氣體洩漏、因防治設備發生異常，造成異常污染排放行為，且影響附 近人、事、物以及因為停電、颱風、地震等天然災害，所導致上述事件。
3.2 法源依據
現行國內相關法規法令要求緊急應變組織之規定如下：
1. 消防法第十三條：
一定規模以上供公眾使用建築物，應由管理權人，遴用防火管理人，
責其製定消防防護計畫，報請消防機關核備，並依該計畫執行有關防 火管理上必要之業務。地面樓層達十一層以上建築物、地下建築物或 中央主管機關指定之建築物，其管理權有分屬時，各管理權人應協議 製定共同消防防護計畫，並報請消防機關核備。防火管理人遴用後應 報請直轄市、縣（市）消防機關備查；異動時，亦同。
2. 災害防救法[18]第十四條：
災害發生或有發生之虞時，為處理災害防救事宜或配合各級災害應變 中心執行災害應變措施，災害防救業務計畫及地區災害防救計畫指定 之機關、單位或公共事業，應設緊急應變小組，執行各項應變措施。
3. 毒性化學物質管理法[19]第八條：
第三類毒性化學物質之運作人，應依中央主管機關規定，檢送該毒性 化學物質之毒理相關資料、危害預防及應變計畫，送請當地主管機關 備查，並公開供民眾查閱。
4. 毒性化學物質危害預防及應變計畫作業辦法第二條：
第一類至第三類毒性化學物質運作人除輸出、廢棄者外（以下簡稱運 作人），其運作總量達大量運作基準，應於申請毒性化學物質許可證 或登記文件前，檢具危害預防及應變計畫，報請直轄市、縣（市）主 管機關備查。第一類至第三類毒性化學物質所有人，自行或委託他人 運送毒性化學物質符合毒性化學物質運送管理辦法第二條規定者，應 檢具運送之危害預防及應變計畫，報請直轄市、縣（市）主管機關備 查。
5. 民防法[20]第四條第一項第三款：
機關(構)、學校、團體、公司、廠場工作人數達一百人以上者，應編組 防護團。但其人數未達一百人，而在同一建築物或工業區內者，應編 組聯合防護團。
6. 危險性工作場所審查暨檢查辦法第五條：
事業單位向檢查機構申請審查甲類工作場所，應填具申請書，並檢附 下列資料：安全衛生管理基本資料、製程安全評估報告書、製程修改 安全計畫、緊急應變計畫、稽核管理計畫。
7. 特定化學物質危害預防標準[21]第六條：
為防止特定化學物質引起職業災害，雇主應致力確認所使用物質之毒 性，尋求替代物之使用、建立適當作業方法、改善有關設施與作業環 境並採取其他必要措施。
3.3 廠區緊急應變組織
半導體廠編制緊急應變組織 ERT（Emergency Response Team），參照 消防法規並強化其功能，期使各廠依不同狀況採取有效之應變措施，使災 害得以迅速控制，降低對人員及環境之衝擊及降低財務損失、防止災害擴 大。組織編制包含指揮官、幕僚、搶救組、急救組及安全管制組；運作時 指揮官進駐應變指揮中心，依災害類型召集各組成員，集結在指定集合地 點，再進行各組緊急應變作業，並隨發生時間與規模區分成不同階段之指 揮系統。緊急應變編制之各組成員由廠區內主管或相關工程師擔任，並有 其明確之任務職掌。平時各組成員定期接受各式相關訓練與模擬演練，透 過預警及無預警方式進行演習，以提升整體應變能力與熟練救災技能。各 類事故依其嚴重程度可區分為下列三種等級：
第一階段事故：事故部門或權責部門可以獨力控制之事件。
第二階段事故：須動員區域緊急應變小組人員協助才得以控制之事件。
第三階段事故：須動員廠外緊急救助單位協助支援之事件。
廠區緊急應變組織架構：如圖 3-1。
1. 總指揮中心：
總指揮中心由總經理、財務、公關、廠務、總務、風險管理處等幕僚 人員所組成，指揮中心位置建議設於各廠區監控中心，若指揮中心因 事故擴大有危險之虞時，應予撤離至其他安全地點成立臨時指揮中心。
職掌：
(1) 管控災害流程。
(2) 主管機關、媒體接待及發佈新聞稿。
(3) 通知保險公司。
(4) 評估後續影響及損失。
(5) 提供董事會相關資訊。
(6) 聯絡、協調內外部救援單位進行救災。
2. 行政支援組：
行政支援組由廠務工程部、風險管理處及總務部之人員所組成。
職掌：
(1) 各廠廠務工程部 A. 電力/空調遮斷。
B. 緊急電源提供。
C. 氣體/化學品供應管線遮斷。
D. 提供廠區各類管線 layout 圖。
(2) 風險管理處：
A. 工安救災設備之提供。
B. 廠區外圍之人、車交通管制。
C. 協助受傷人員之救傷處理。
D. 外部單位之連絡及通報。
E. 引導友廠及其他廠區支援器材及人員。
F. 協助災後廢棄物處理。
G. 協助災後復原清理。
圖 3-1 廠區緊急應變組織圖
AB 廠緊急應變小組 C 廠緊急應變小組
總指揮中心
1.管控災害流程
2.主管機關、媒體接待及發佈新聞稿 3.通知保險公司
4.評估後續影響及損失 5.提供董事會相關資訊
6.聯絡、協調內外部救援單位進行救災
風險管理處
1.救災設備之提供
2.廠區外圍之人、車交通管制 3.外部單位之連絡及通報 4.引導友廠支援器材及人員 5.協助有害廢棄物處理
總務部
1.救災人員所需之必要食衣住行支援 2.協助受傷人員之緊急送醫
3.維護廠內通訊設備正常運作
幕僚支援組 幕僚支援組
財務處 公關室
(3) 總務部：
A. 救災人員所需之必要食、衣、住、行支援。
B. 協助受傷人員之緊急送醫。
C. 維護廠內通訊設備正常運作。
3.4 區域緊急應變小組
為應變第二階段(含)以上事故，該半導體廠於總指揮中心下，除設有行 政支援組外，並於各廠區設置區域緊急應變小組。各區域緊急應變小組編 制如下，成員至少每月定期修訂其成員名單，如表 3-1。區域緊急應變小組 架構，如圖 3-2。區域緊急應變小組責任區域，如圖 3-3、3-4。
1. 指揮中心：設指揮官、副指揮官各 1 人，參謀(幕僚)數人。區域緊急應 變小組動員後，依事故實際狀況，將緊急應變小組之指揮中心設立於 廠務監控室或監控中心；若原指揮中心因事故擴大有危險之虞時，應 予撤離至其他安全地點成立臨時指揮中心。指揮中心或臨時指揮中心 應備有下列資料或設備：廠區災變緊急應變辦法、廠區配置圖及鄰近 地區地圖、消防系統配置圖、廠區各類管線配置圖、通風/緊急排煙系 統配置圖、廠內各區緊急應變小組人員名單、物質安全資料表(MSDS)、
緊急應變器材清單、廠內/外緊急連絡通訊設備、廠外緊急救助單位電 話清單，如圖 3-5。
2. 搶救組：設組長、副組長各 1 人，組員數人。
執掌：
(1) 事故現場人員搜救。
(2) 事故現場之搶救與圍堵。
(3) 危險物之移除與遮斷。
(4) 重要物資之搶救。
(5) 支援消防人員搶救。
(6) 環境檢測。
3. 急救組：設組長、副組長各 1 人，組員數人。
執掌：
(1) 成立臨時救護站。
(2) 傷患救治與送醫。
表 3-1 區域緊急應變小組編制表
圖 3-2 區域緊急應變小組組織圖
圖 3-3 區域緊急應變小組責任區域圖(A、B 廠)
急救組 1.成立臨時救護站 2.傷患救治與送醫 區域指揮中心
1.統籌應變指揮
2.責任區域內人員疏散決定 3.各組應變工作之聯繫與協調 4.宣佈狀況解除及人員復歸決定 5.廠外緊急救助單位之通報
搶救組 1.事故現場人員搜救 2.事故現場之搶救與圍堵 3.危險物之移除與遮斷 4.重要物資之搶救 5.支援消防人員搶救 6.環境檢測
安全管制組 1.引導人員疏散 2.人員管制 3.災區隔離
4.進出災區紀錄/裝備檢查 5.架設除污站/裝備除污
幕僚支援組
Warehouse
圖 3-4 區域緊急應變小組責任區域圖(C 廠)
圖 3-5 緊急救助服務單位電話
園區消防隊：5776666 竹東消防分隊：5962066 寶山消防隊：5204755 埔頂消防隊：5790102 園區保警中隊：5795666
新竹市政府 5216121 新竹市環保局 5368920
園區管理局 5773311 勞工檢查科 5773311
轉 2320 半導體廠
毒災聯防小組
北區毒災應變中心：5917777 元太科技：5798599-1585 聯電 8A、B：5782258-73911 聯電 8C：5782258-76911 聯電 8E：5782258-56911 友達光電 L3A：5008800-2911 友達光電 L3B：5008800-3119 台積 8 廠：5678888-2526 台積 12 廠：6666119 旺宏二廠：5786688-77029 茂德：5798308-2500 鉅晶：5656000-6120 急救醫院
新竹醫院：5326151 南門醫院：5261122 東元醫院：5527000 國泰醫院：5278999 馬偕醫院：5166868 長庚醫院：03-3281200
鄰廠聯絡資訊
4. 安全管制組：設組長、副組長各 1 人，組員數人。
執掌：
(1) 引導人員疏散。
(1) 引導人員疏散。