第四章 實例驗證
4.2. 案例說明
4.2.2. 生產週期時間估算之執行過程
4.2.2.1. 源於負荷因子之等候時間估算
平均服務時間 18.2263 17.0858 18.1971 18 17.0369 15.4536 15.0350
4.2.2. 生產週期時間估算之執行過程
18.2263 1 19.6709( )
24 1.5 3 163
mttr mttpm
E BST st
mtbf mttr mtbpm mttpm
E BST
19.6278 18.3996 19.5964 19.3841 18.3469 16.6419 16.1912k m,
0.0508 0.0543 0.0510 0.0516 0.0545 0.0601 0.0618 Step2.估算等級產品於瓶頸機台之到達率
參照機台產能分配模式之各機台配置結果，可得每一機台於各產品等級類別下之到 達率。並以式 3- 26 及表 4- 13 至表 4- 15 之數據計算出各機台於不同等級之平均到達率。
(計算過程以機台 1 一般等級別產品為例)。
2 2,
1,1 1,1r 0.0405 0.0017 0.0422
r
nar
aar 表 4- 18 不同等級產品於各機台之到達率
等級 機台 1 機台 2 機台 3 機台 4 機台 5 機台 6 機台 7 H 0.0035 0.0000 0.0061 0.0000 0.0026 0.0000 0.0026 N 0.0422 0.0487 0.0395 0.0469 0.0466 0.0540 0.0527 Step3.估算等級產品於瓶頸機台之等候時間
分別由 Step1.與 Step2.計算出曝光工作站內各機台之平均服務率與不同等級的平均 到達率後，採用非逐位性等候模式，以式 3- 27 與式 3- 28 分別計算曝光工作站內各機台 0.0568 1 0.9313 0.0509
W
A B B
0.0035 0.0422 0.0457i
W
k m 190.5449 177.0199 184.1677 213.2829 188.4982 164.2206 154.7487 2, q
Wk m 170.9171 158.6203 164.5714 193.8988 170.1513 147.5788 138.5576
非瓶頸工作站之等候時間
表 4- 20 高等級檢測類(H-T)各產品各規格別於瓶頸機台加工之層級數比例
表 4- 23 高等級檢測產品(H-T)在不同製程規格下於各瓶頸機台之到達率
表 4- 26 A 產品於各層級之製程規格與來源工作區之對照表
層級 製程規格 上一工作區/工作站 製程步驟
第一層 3 薄膜區/W19 2
第二層 1 薄膜區/W19 5
第三層 3 薄膜區/W05 8
第四層 2 薄膜區/W01 11
第五層 1 薄膜區/W04 15
第六層 1 測試區/W22 18
第七層 2 薄膜區/W05 22
第八層 2 蝕刻區/W14 24
第九層 1 蝕刻區/W14 26
表 4- 27 B 產品於各層級之製程規格與來源工作區之對照表
層級 製程規格 上一工作區/工作站 製程步驟
第一層 4 薄膜區/W19 2
第二層 1 薄膜區/W10 5
第三層 4 蝕刻區/W16 7
第四層 2 薄膜區/W05 10
第五層 3 薄膜區/W06 13
第六層 1 薄膜區/W04 16
第七層 2 測試區/W23 19
第八層 1 薄膜區/W06 22
表 4- 28 C 產品於各層級之製程規格與來源工作區之對照表
層級 製程規格 上一工作區/工作站 製程步驟
第一層 3 薄膜區/W19 2
第二層 1 薄膜區/W05 5
第三層 3 薄膜區/W15 8
第四層 2 薄膜區/W04 12
第五層 2 蝕刻區/W12 14
第六層 1 薄膜區/W06 17
表 4- 29 各產品在不同製程規格下黃光區之來源工作區比例
製程規格 1 2 3 4
工作區 薄膜 蝕刻 測試 薄膜 蝕刻 測試 薄膜 蝕刻 測試 薄膜 蝕刻 測試
A 產品 2/4 1/4 1/4 2/3 1/3 1 B 產品 1 1/2 1/2 1 1/2 1/2 C 產品 1 1/2 1/2 1
確認各產品在不同製程規格下黃光區之來源工作區比例後，代入式 3- 45，將各產品 各製程規格於各瓶頸機台之到達率(表 4- 23~表 4- 25)乘於其來源工作區之比例值(表 4- 29)，即為各產品在黃光區之來源工作區的到達率。如 AH-T 製程規格 1 在機台 1 之來源 工作區為蝕刻區到達率為 0.0035(1/4)=0.0009
表 4- 30 高等級檢測產品(H-T)由特定來源工作區到臨各瓶頸機台之到達率
產品別 來源區 機台 1 機台 2 機台 3 機台 4 機台 5 機台 6 機台 7 合計 薄膜區 0.0017 0.0017 0.0017 0.0051
蝕刻區 0.0009 0.0009 0.0018
A
測試區 0.0009 0.0009
薄膜區 0.0043 0.0009 0.0052
蝕刻區 0.0009 0.0009
B
測試區 0.0009 0.0009
合計 0.0035 0.0061 0.0026 0.0026 0.0148 表 4- 31 一般等級非檢測產品(N-NT)由特定來源工作區到臨各瓶頸機台之到達率 產品別 來源區 機台 1 機台 2 機台 3 機台 4 機台 5 機台 6 機台 7 合計
薄膜區 0.0077 0.0234 0.0312 0.0312 0.0935 蝕刻區 0.0039 0.0117 0.0156 0.0312 A
測試區 0.0039 0.0117 0.0156
薄膜區 0.0250 0.0282 0.0174 0.0156 0.0073 0.0935
蝕刻區 0.0156 0.0156
B
測試區 0.0156 0.0156
薄膜區 0.0050 0.0252 0.0108 0.0410
蝕刻區 0.0082 0.0082
C
測試區 0.0000
合計 0.0405 0.0438 0.0379 0.0469 0.0408 0.0541 0.0502 0.3142 表 4- 32 一般等級非檢測產品(N-T)由特定來源工作區到臨各瓶頸機台之到達率 產品別 來源區 機台 1 機台 2 機台 3 機台 4 機台 5 機台 6 機台 7 合計
薄膜區 0.0016 0.0016 0.0017 0.0049
蝕刻區 0.0008 0.0008 0.0016
A
測試區 0.0008 0.0008
薄膜區 0.0008 0.0008 0.0008 0.0025 0.0049
蝕刻區 0.0008 0.0008
B
測試區 0.0008 0.0008
薄膜區 0.0009 0.0012 0.0021
蝕刻區 0.0004 0.0004
C
測試區 0.0000
合計 0.0017 0.0048 0.0016 0.0057 0.0025 0.0163
得知每一屬性產品在各瓶頸機台由特定來源工作區到臨之到達率後，代入式 3- 46，
依照產品別、等級別與來源區之分類，加總各機台之到達率，即為各類型產品於黃光區 之到達率組告(表 4- 33)，並將其值代入式 3- 31，利用 Excel 運算得各產品於每一工作區 之到達率(表 4- 34)。
表 4- 33 各產品於黃光區之到達率組合
產品 等級別 薄膜區 蝕刻區 測試區
H-T 0.0051 0.0018 0.0009 N-NT 0.0935 0.0312 0.0156 A
N-T 0.0049 0.0016 0.0008 H-T 0.0052 0.0009 0.0009 N-NT 0.0935 0.0156 0.0156 B
N-T 0.0049 0.0008 0.0008 N-NT 0.0410 0.0082 0.0000 C N-T 0.0021 0.0004 0.0000
表 4- 34 各產品於每一工作區到達率 1
j
(A)j
2(B)j
3(C)1
pri
pri
2pri
1pri
2pri
1pri
2 產品投入1,prij 0.0009 0.0164 0.0009 0.0164 0.0000 0.0108薄膜區1,prij 0.0052 0.0984 0.0052 0.0984 0.0000 0.0432 黃光區2,prij 0.0078 0.1475 0.0069 0.1312 0.0000 0.0518 蝕刻區3,prij 0.0078 0.1475 0.0069 0.1312 0.0000 0.0518 測試區4,prij 0.0035 0.0656 0.0017 0.0328 0.0000 0.0129 Step2.估算每一工作站到達率
依照製程資料(附表 A- 1 至附表 A- 6)得知產品到達每一工作站之機率(如表 4- 35)，
與各產品於每一工作區到達率(表 4- 34)，代入式 3- 47 即得各工作站平均到達率。(以 w01-H 為例)
1 1 1
1,1 1,1, 1,
2 1
0.0052 0.0052 0.0026
6 6
j j
j
laar
p 表 4- 35 各產品經過每一工作站之機率值
檢測 非檢測
A 產品 B 產品 C 產品 A 產品 B 產品 C 產品
w01 2/6 1/6 1/5 2/6 1/6 1/5
w02 1/6 1/6 1/5 1/6 1/6 1/5
w03 1/6 1/6 1/5 1/6 1/6 1/5
w04 1/6 1/6 1/5 1/6 1/6 1/5
w05 2/6 2/6 2/5 2/6 2/6 2/5
w06 2/6 2/6 3/5 2/6 2/6 3/5
w08 1/9 1/8 1/6 1/9 1/8 1/6
w09 4/9 3/8 0 4/9 3/8 0
w10 0 1/6 0 0 1/6 0
w11 3/9 4/8 5/6 3/9 4/8 5/6
w12 8/9 7/8 5/6 8/9 7/8 5/6
w13 3/9 2/8 2/6 3/9 2/8 2/6
w14 4/9 2/8 2/6 4/9 2/8 2/6
w15 4/6 1/6 1/5 4/6 1/6 1/5
w16 3/9 3/8 2/6 3/9 3/8 2/6
w17 5/9 8/8 6/6 0 0 0
w18 0 0 1/2 0 0 1/2
w19 2/6 2/6 2/5 2/6 2/6 2/5
w20 3/9 3/8 3/6 3/9 3/8 3/6
w21 6/9 1/8 6/6 6/9 1/8 6/6
w22 1 1 1/2 4/4 1 1/2
w23 2/4 1 1/2 2/4 1 1/2
表 4- 36 各工作站到達率
工作站 w01 w02 w03 w04 w05
N
0.0026
0.0017 0.0017 0.0017 0.0035H 0.0578 0.0414 0.0414 0.0414 0.0828 工作站 w06 w07 w08 w09 w10
N 0.0035 0.0156 0.0017 0.0061 0.0009 H 0.0915 0.3305 0.0414 0.1148 0.0164 工作站 w11 w12 w13 w14 w15
N 0.0061 0.0130 0.0043 0.0052 0.0017 H 0.1579 0.2891 0.0992 0.1156 0.0414 工作站 w16 w17 w18 w19 w20
N 0.0052 0.0113 0.0000 0.0035 0.0052 H 0.1156 0.0131 0.0065 0.0828 0.1243 工作站 w21 w22 w23
N 0.0017 0.0052 0.0035 H 0.0414 0.1048 0.0720
Step3.估算每一工作站之服務率
nbpt nl nbdt nbpm
E NBST
E NBST 11.7674 9.3536 14.8966 14.8486 13.0409 12.2966 18.4153 22.5024 8.1010
,
x w 0.0850 0.1069 0.0671 0.0673 0.0767 0.0813 0.0543 0.0444 0.1234 工作站編號 w10 w11 w12 w13 w14 w15 w16 w17 w18
( x w, )
E NBST 12.0691 14.6820 13.0050 12.6758 13.0749 13.4912 7.2240 13.1627 7.7444
,
分別由 Step1.與 Step2.得知各工作區不同等級之均到達率與每一工作站之平均服務 率後，採用非逐位性等候模式，以式 3- 50 計算曝光工作站內各機台在不同等級產品下 373.4083 1 0.9847 0.085
W
A B B
2 0.085 0.0306
2! 2 0.085 373.4083
0.0306 !
表 4- 38 不同等級工單在各工作站之穩態等候時間
工作站編號 w01 w02 w03 w04 w05 w06 w08 w09
1 ,
Wx w
11.7701
9.5031 14.8966 14.8511 13.0474 12.3021 22.5024 8.10111, , q
Wx w 0.0027 0.1495 0.0000 0.0024 0.0065 0.0055 0.0001 0.0001
2 ,
W
x w 12.8245 12.7609 15.0456 15.9563 15.8900 15.2098 23.1632 8.34472, ,
q
W
x w 1.0571 3.4073 0.1490 1.1076 2.8491 2.9132 0.6608 0.2437工作站編號 w10 w11 w12 w13 w14 w15 w16 w17
1 ,
W
x w 12.1943 14.6825 13.0050 12.6760 13.0751 13.8002 7.2265 13.16271, , q
W
x w 0.1252 0.0005 0.0000 0.0001 0.0002 0.3090 0.0025 0.00012 ,
W
x w 14.3007 21.5661 17.7974 13.4885 14.4554 21.7397 8.1685 13.16392, ,
q
W
x w 2.2315 6.8841 4.7924 0.8127 1.3805 8.2485 0.9445 0.0012工作站編號 w18 w19 w20 w21 w22 w23
1 ,
W
x w 0.0000 12.7842 9.3302 14.8024 11.2155 11.14791, , q
W
x w 0.0000 0.0001 0.0001 0.0000 0.0093 0.00412 ,
W
x w 8.1154 13.3059 9.8112 14.8191 14.2553 12.50632, ,
q