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(四) 價值網絡 (Value Network)

事業模式的第四個要素為價值網絡,一般而言,許多攸關公司成敗的資源,

都不在公司的直接控制下,在不具有優勢的領域尋求與他人合作與策略聯盟,形 成產業內的價值網絡關係,才能彌補及放大企業現有的資源。價值網絡包含:供 應商、合夥人及結盟。內容分別說明如下:

1. 供應商

從生產者的角度來看,供應商位於價值鏈的上游。享有和供應商極為密切的 關係或擁有某些特權,是建立新事業模式的要素之一。

2. 合夥人

在價值網絡中,合夥人的關係是彼此互補的角色,合夥人與生產者的關係以 水平居多,不像供應商和生產者為垂直的關係。

3. 聯盟

一個企業要有事業觀念創新,為了共同擴大市場規模與競爭優勢,通常需要 和其他有類似想法的業者結盟,結盟是建構價值網絡的重要手段與策略。結 盟者不只是合夥人,在產業革命中,結盟者直接承擔風險,也直接分享成功 的報酬。

第二節 真空濺鍍之概述

一、 真空鍍膜技術

真空鍍膜技術主要可分為物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition)簡稱

(PVD)與化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition)簡稱(CVD)兩大技術分類:

(一) 真空鍍膜成膜的過程可分為三個階段:

階段 1-氣相狀態之產生:指將材料由固態轉化為氣相原子或分子狀態,其轉 換方式有加熱式蒸發、外界提供動能產生離子撞擊、化學蒸氣與氣體 導入等。

階段 2-轉換傳輸方式:指將鍍膜材料源頭移轉至欲鍍物的路程。包括其路

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徑、動能供給方式,以及反應的機制等。

階段 3-成膜方式:指將鍍膜材料在欲鍍物上沉積的過程。包括成核、成膜、

加熱,分子遷移、化合、解離反應、離子轟擊、偏壓加速等方式。

(二) 物理氣相沉積(PVD)技術 1. 真空濺鍍技術

以離子轟擊材料表面將材料粒子濺射出,附著在待鍍表面沉積成膜。 以此法 所製程之膜層結構緻密性好,附著力佳;雖然鍍膜速率較低,多層膜產品量 產困難度高,但是穩定度高,目前台灣連續式濺鍍設備廠商已開始朝向多層 膜產品發展。

2. 真空蒸鍍技術

國內真空蒸鍍技術發展的比較早,尤以塑膠或玻璃眼鏡鏡片等產業應用技術 已非常成熟。其成膜方式是以熱能將材料形成蒸汽分子蒸發至待鍍物表面凝 結成膜。此法鍍膜雖然鍍膜速率快,多層膜產品製作容易;但因膜層分子能 量低結構鬆散,附著力差,所以大量量產較不具經濟效益。

3. 現行 PVD 技術的優點 (1)鍍膜材料選擇性廣泛。

(2)可任意附著在金屬、合金、陶瓷與有機材料。

(3)基板加工溫度可以隨製程任意調整、其膜層結構可以改變。

(4)可獲高純度膜層。

(5)可使蒸發物質與通入氣體反應形成良好之反應式膜層。

(6)附著力佳。

(7)膜層較具平滑性。

(8)鍍膜製程的穩定度高。

(9)完全符合環保要求。

4. PVD 製程之缺點是:對於形狀複雜的物體不亦形成膜厚均勻的薄膜,需設計

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特殊的夾治具或旋轉機構。

(三) 化學氣相沉積(CVD)技術

化學氣相沉積(CVD)技術是指將原始材料以氣相方式導入真空腔體內,經化 學反應後由氣相析出固相物質,於真空製程中沉積於被鍍物表面成膜,但因化學 氣相沉積所使用之氣體原料常具有毒性,所以對工廠之公安較具疑慮考量,且其 氣體來源較不易取得。

二、 真空濺鍍技術介紹

真空濺鍍法(Sputtering)係一種能量之轉換,經由入射高能量的粒子撞擊靶 材,使靶材表面的原子或分子被濺射出來。利用濺射出來的原子沉積於載體表面 而形成覆膜。藉由控制濺鍍功率、濺鍍壓力、氧氣分壓及基材溫度等參數,即可 得到不同的觸媒薄膜。

真空濺鍍法之優點包括易控制操作參數、具薄膜結構特性、不需高溫鍛燒 等,缺點則為整體設備成本高、龐大及技術門檻高等。

吳怡貞(2007) 主張物理氣相沈積(PVD)為在氣相中,製備沈積元素進行薄膜 沈積,泛指以蒸發、昇華或濺射等方法將固體源氣化並凝固於基材表面而形成薄 膜的過程,且於成膜過程中僅涉及物理變化之謂。而利用電漿獨特的離子轟擊,

以動量轉換的原理,稱之為濺鍍(Sputtering Deposition)。濺鍍最早採用直流放電 法,這種放電現象係在一具有相對兩電極的真空室中施以低壓氣體(約在 0.1 Torr~1.0 Torr 之間),而後在兩極間加上高電壓。

電漿則是內部存在部分離子化的氣體,包含了帶電荷的電子和離子、不帶電 的分子和原子團,整體來看電漿是呈電中性的,故被稱為物質的第四態。電漿中 的這些粒子彼此間產生彈性及非彈性碰撞,能量經由碰撞產生互相轉移的現象。

藉由能量的轉移,產生激發(Excitation)、離子化(Ionization)、弛緩 (Relaxation) 和 再結合(Recombination)等猶如雪崩(Avalanche Effect)的連鎖反應,使低壓氣體內 產生大量的離子和電子,而形成電漿態。由激發態原子或分子產生的弛緩作用,

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使得電漿發出不同的波長的光。

一般常用來產生電漿的工作氣體為氬氣,又因為中性氣體自然背景輻射的關 係,本來就具有少量的電子與離子作為引發電漿的游離種子,當游離電子被施以 高電位加速撞擊到氬氣時,就產生了氬離子。藉著在兩個相對應的金屬電極板 (Electrodes)上施以電壓,假如電極板間的氣體分子濃度在某一特定的區間,電極 板表面因離子轟擊(Ion Bombardment)所產生的二次電子(Secondary Electrons),在 電極板所提供的電場下,將獲得足夠的能量,而與電極板間的氣體分子因撞擊而 進行所謂的解離、離子化、激發…等反應,而產生離子、原子、原子團及更多的 電子, 脫離電漿的帶正電荷離子,在暗區的電場加速下,將獲得極高的能量。

當離子與陰電極產生轟擊之後,基於動量轉換(Momentum Transfer)的原理,離子 轟擊除了會產生二次電子以外,還會把電極板表面的原子給“打擊”出來,稱之為

“濺擊(Sputtering)”,這些被擊出的電極板原子將進入電漿裡,然後利用擴散 (Diffusion)等的方式,最後傳遞到試片的表面,並因而沈積。物理氣相沉積(PVD) 為單純利用原子的衝擊力量堆疊在素材表面,並未與素材有任何的化學反應,所 以稱為物理性鍍膜。並依照各種成膜方式不同,PVD 可分為三大類 ,真空蒸鍍 (Evaporation)、真空濺鍍(Sputtering)、離子鍍(Ion Plating)。由於真空濺鍍可以同 時達到極佳的沈積效率、大尺寸的沈積厚度控制、精確的成膜控制及較低的製造 成本 (王啟宏,2011)。

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