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使得電漿發出不同的波長的光。
一般常用來產生電漿的工作氣體為氬氣，又因為中性氣體自然背景輻射的關 係，本來就具有少量的電子與離子作為引發電漿的游離種子，當游離電子被施以 高電位加速撞擊到氬氣時，就產生了氬離子。藉著在兩個相對應的金屬電極板 (Electrodes)上施以電壓，假如電極板間的氣體分子濃度在某一特定的區間，電極 板表面因離子轟擊(Ion Bombardment)所產生的二次電子(Secondary Electrons)，在 電極板所提供的電場下，將獲得足夠的能量，而與電極板間的氣體分子因撞擊而 進行所謂的解離、離子化、激發…等反應，而產生離子、原子、原子團及更多的 電子， 脫離電漿的帶正電荷離子，在暗區的電場加速下，將獲得極高的能量。
當離子與陰電極產生轟擊之後，基於動量轉換(Momentum Transfer)的原理，離子 轟擊除了會產生二次電子以外，還會把電極板表面的原子給“打擊”出來，稱之為
“濺擊(Sputtering)”，這些被擊出的電極板原子將進入電漿裡，然後利用擴散 (Diffusion)等的方式，最後傳遞到試片的表面，並因而沈積。物理氣相沉積(PVD) 為單純利用原子的衝擊力量堆疊在素材表面，並未與素材有任何的化學反應，所 以稱為物理性鍍膜。並依照各種成膜方式不同，PVD 可分為三大類 ，真空蒸鍍 (Evaporation)、真空濺鍍(Sputtering)、離子鍍(Ion Plating)。由於真空濺鍍可以同 時達到極佳的沈積效率、大尺寸的沈積厚度控制、精確的成膜控制及較低的製造 成本 (王啟宏，2011)。
第三節 經營模式及真空濺鍍之相關文獻
林麗玲(2012)應用 SWOT 策略分析工具，以環保技術服務業之中小企業公司 為對象，探討企業內部環境與外部環境之優勢(Strength)、劣勢(Weakness)、機會 (Opportunity)與威脅(Threat)所採取之攻勢策略、退守策略、穩定策略及防禦策 略，藉以求出關鍵成功因素，再加以應用 Porter(1980)的全面成本領導策略、差 異化策略及集中專注利基經營策略之三種競爭優勢策略為切入點，研究個案公司 在目前發展運作模式下，如何以站在政府政策面向的要求，及廠商管理面向之需
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要，以及居民環境面向期望之考量，建企業未來發展營運策略，以期符合未來趨 勢發展，建立多贏良性運作模式。
廖家祺(2012)採本問卷調查方式及量表使用量測尺度的類別，將醫院經營問 題分為內、外部環境二大層面。研究結果發現：醫院具內部競爭－優勢：能不斷 投入醫療成本，提升醫療水準照護人民健康、具備完善醫療設備與訂定合宜的醫 療服務流程等優勢；內部競爭－劣勢：具備適當(足夠)之醫師、護理人員等人力 配置、緊急醫療重大傷病救治能力強、醫事人員對醫療環境變化危機管理敏感度 高等優勢；外部競爭－機會：地理位置交通較便利、能因應國家衛生政策朝向急 重症發展、能發展自費醫療項目，減少對健保的依賴程度、能提供較好的老人健 康照護需求，增加醫療服務機會、能與下游地區醫院及診所有良好合作及轉診網 絡等機會；外部競爭－威脅：供應商醫療藥品及器材價格調漲會影響市場競爭力。
余香如(2012)探討台灣屏東地區銀合歡工藝產業發展的問題所在與關鍵影 響因素，並將訪談資料進行策略規劃 SWOT 分析，評估產業內在資源與核心能 力，分析其優勢與劣勢；外部則以環境、競爭與產業組織及型態分析機會與威脅，
再以 SWOT 矩陣策略分析，強化關鍵性資源及彌補資源缺口以確保競爭優勢，
進而擬定地方產業未來發展上的因應策略，最後，透過國際行銷策略 4P 理論，
建構完善的地方工藝產業發展之行銷建議。
王志賢(2009)以國民小學自然與生活科技領域科學應用之教學活動教師成 長檢核表，結合 SWOT 分析與藍海策略，擬定提升優勢、降低劣勢、創造機會、
消除威脅等行動架構進行教學設計研究。研究結果顯示，結合 SWOT 與藍海策 略的科學應用教學，能幫助教學者聚焦於教學時所產生的問題，教學者能從上述 行動架構中檢覈教學成果，並做自評，以獲得解決教學問題的方向。另發現進行 科學應用教學時，學童喜歡動手做科學玩具，從科學玩具的製作中學習科學知 識，而學習的動機會因課程內容的難易、教學者的引導或教學活動而有所變化，
是以結合生活情境的教學方式在科學應用教學中，是為大多數學童所接受的教學
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方式。
林嘉祥(2008)以 SWOT 模式進行分析行政院國科會科學志工計畫發展現 況，運用 CORPS 理論、Glueck 外部環境三面向分析行政院國科會科學志工計畫 內、外部環境之優劣勢與機會威脅。研究結果發現：行政院國科會科學志工計畫 內部環境之劣勢多於優勢，乃因於政府科層組織之下，導致繁文縟節且瑣碎，而 必須符合之公部門規定過多，對於組織發展之彈性頗為限制，無法確切發揮科學 志工實質之第三部門功效。外部環境則機會多於威脅，機會較多之因皆顯現在行 政院國科會科學志工計畫其組織願景上：對於數位落差之解決與科學普及知識之 推廣，其乃因應時代背景與立法且符合科技時代種種志願服務之需求，進而提倡 科學志願服務，在供應永不止歇之需求上是其機會頗多之處。然國科會科學志工 計畫其所受到外部環境之威脅諸多來自志願服務法之限制，志願服務法對於多元 之非營利組織議題顯不具宏觀性，導致多元之議題容易受限於志願服務法的框 架，無法確切深入社會問題之核心。
李建南(2007)針對國內廚餘資源化處理方法之營運狀況及內外部環境指標 進行問卷調查，運用多變量統計並配合 SWOT 分析方法，模擬出最適合廚餘處 理之處理方式，並探討各種廚餘資源化處理之間的特性及其優劣性。實證結果顯 示，影響廚餘資源化處理方式的主因，有由飼料化處理、堆肥化處理及有機廢棄 物厭氧消化處理所組成的「廚餘加工處理因子」及養豬處理方式所組成的「廚餘 直接處理因子」。經由量化 SWOT 綜合結果分析顯示以廚餘堆肥化法為目前最具 有絕對優勢的廚餘處理方式，其次依序為飼料化、有機廢棄物厭氧化及養豬處理。
楊天約(2008)，運用五力分析法探討私立高中職學校所面對的競爭壓力，除 來自出生人口下降、公私立學校之間的差異、社會的價值觀、教育政策的改變，
更有來自於各校際間為了因應此一變化不斷提昇自己競爭優勢在經營策略、教育 方針、行銷手法、教學手段與學校的定位等作法改變帶來的競爭壓力甚為空前。
研究結果提出策略如下：(1)秉持愛心辦學理念擴大照顧弱勢學生層面推行獎學
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金策略；(2)強化招生宣導與公共關係；(3)鼓勵老師進修提升師資水準，完善課 程規劃落實教學品質；(4)充實教育環境與設備策略；(5)推行建教合作計畫；(6) 發展學校特色；(7)培養學生國際觀，推展英語教學環境。
王順靜(2008) 以收益力、活動力、生產力、成長力、安定力等五力，評估 台灣觸控面板產業，探討其經營績效與技術創新策略之關係，以提供業界應用績 效指標作為技術創新策略之執行，進而推動經營績效之改善與企業價值之提昇。
研究分析顯示：台灣觸控面板廠商經營卓越之企業為宏達電，再經過深度探討後 可以瞭解宏達電在經歷產業變革的過程中，能制定合適的技術創新策略，故能創 造驚人的經營績效。
鄭勵君(2007)以 Porter 五力分析策略為基本架構，融入個人申辦世界運動會 的策略經營實戰經驗提出觀點，重新闡釋其策略，輔之以實際成功申辦 2009 年 世界運動會為例證，提出結論讓後人能即時運用。實證發現慎選申辦的國際賽 會、慎選申辦城市、中央與地方應緊密合作及世界運動會主辦城市申辦策略模 式，均為申辦世界運動會之重要策略。
王啟宏(2011)採個案研究方式，針對台灣某一家連續式真空濺鍍設備廠商及 已公開發行之兩家競爭廠商進行深入調查與分析，觀察產業內廠商對於鍍膜產業 應用發展與產業供應鏈資源的經營策略，期望可以針對連續式真空濺鍍設備產業 之現經營策略及發展方向進行比較與分析，做為未來提升產業競爭優勢以及連續 式真空濺鍍設備廠商永續經營的經營策略參考。
林穎宏(2010)應用限制理論結合企業經營診斷，建構一套企業經營診斷應用 TOC 電腦輔助系統，協助個案公司訂定企業願景、找尋核心問題並提出解決方 案。研究結果顯示：(1) 運用 TOC 限制理論結合企業經營診斷可找出企業的核 心問題；(2)有助於提升企業進行效率較佳的診斷模式；(3)有助於提出企業內部 衝突的解決方案；(4)診斷結果能作為企業經營決策的依據；(5)有助於協助企業 知識累積進而提升企業績效。
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盧建榮(2011)探討 LCD Array 段生產製程的真空濺鍍機作業流程，經由實際 改善專案方式執行，來驗證精實生產的理念，精實六標準差的改善方法，最後透 過整體設備效率的提升，使產能最大化以滿足公司旺季需求。
吳鴻信(2010) 於台灣真空腔體濺鍍設備產業供應鏈管理創新中，以供應鏈 管理之概念為出發點，採用個案分析方式，針對真空腔體濺鍍設備產業供應鏈所 面臨的問題與困境，提出有效改善方案，從零組件標準共用化、模組化設計、PDM 系統的導入到夥伴關係的建立。由內而外改善，以建立更穩固的供應練流程，並 達到提升台灣真空腔體濺鍍設備產業競爭力的目的。
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第參章 研究方法
本章區分為研究對象、問卷量表設計與分析方法等三節，首先於第一節中，
本章區分為研究對象、問卷量表設計與分析方法等三節，首先於第一節中，