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第三章 陣列式鋅鋁合金奈米線氣體感測元件設計與製作

3.2 鋅鋁合金真空熔煉

鋅鋁合金由於壓鑄性良好(比鋁合金佳),機械性質佳,表面精光好,強度及延展性 等亦佳。同時因其流動性良好,可以壓鑄斷面極薄且 形狀複雜之鑄件及尺寸精度較高 之鑄件,因此常被用於壓鑄金屬材料,可製作各類型精密成品,一般市售鋅鋁合金,成 分包含鋅(Zn)、鋁(Al)、鉛(Pb)、鐵(Fe)、鎘(Cd)及銅(Cu)等元素,做適當比例之混合,

可得各類型鋅鋁合金,產品包含五金類、電子類、有線電視傳輸分配器、船類五金等。

在本研究中,以真空熔煉技術製備三種鋅鋁合金並使用 EDS、XRD 與 DSC 觀察其顯微 組織與熔點。

3.2.1 實驗方法及流程

鋅、鋁於高溫時,將產生氣相揮發與固相氧化物。如鋅於高溫時,將產生 Zn(g)氣體,

而鋁將產生 Al(g)、AlO(g)、AlO2(g)、Al2O(g)與 Al2O2(g)氣相氧化物。以上合金於熔煉時所 產生之氣體與氧化物,將造成元素之損失,導致最終合金組成之偏離。利用熱力學平衡 反應,可約略評估,合金於不同溫度下,進行真空熔煉時,元素之損失量為多少,實驗 步驟如下:

一、 首先利用 Gibbs 熱力學,經式 3.1 與式 3.2 計算出 Zn、Al、O2間之各反應式,如表 3.1 所示,其中 P 為分壓(atm)、T 為溫度(K)、K 為平衡常數[94-95],經由下列圖表,

可知元素於不同溫度下之損失量,或氧化物形成之臨界氧分壓。圖 3.10 顯示在相同 的溫度下,各氣相的分壓大小為 Zn(g)> Al(g) ,且各氣相之蒸氣壓隨著溫度增加而增 高。圖 3.11 則顯示,Zn、Al 氧化之臨界氧分壓,其中 Al2O2(g) > AlO2(g) > AlO(g) >

Al2O(g) ,因此,Al2O2(g)不易形成,而 Al2O(g)的臨界氧分壓低,表示 Al 易氧化成 Al2O(g),因此, Zn-Al 合金於熔煉時,Zn 易造成氣相 Zn(g)損失,而 Al 易造成氣相 Al2O(g)損失。當真空熔煉時,氧分壓極低,因此,氣相 Al2O(g)損失有限;然而,氣 相損失量卻隨著時間或溫度的增加而增大。Zn 於真空熔煉時的損失量相對的大於 Al,本實驗在合金熔煉過程中,亦額外增加 0.3wt%Zn 於合金之配料中,以彌補 Zn 於真空熔煉時之損失。

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G H T T ln (3.1) l + + (3.2) G:Gibbs 自由能

H:標準焓變化 :標準熵變化 R:常數

T:溫度(K)

lnK:平衡常數的自然對數

A、B、C:取三種不同溫度聯立求解之常數

表 3.1 鋅、鋁的氣相生成物和氧化化合物的熱力學平衡式

Reactions Equilibration Log K

Al( ) → Al( ) l 𝑙( ) l l − 7 53.6T + 7.319 3.2× 10 4T 2Al( )+ O ( ) → 2AlO( ) l O ( ) 2l l 578.4+ 4.699 3.7 × 10 4T

Al( )+ O ( ) → AlO ( ) l O ( ) l l 9794.4+ 0.713 1.6 × 10 4T 4Al( )+ O → 2Al O( ) l O ( )= 4l l 6787. + 5.414 6.1 × 10 4T 2Al( )+ O ( )→ Al O ( ) l O ( ) 2l l − 73 .4T + 0.949-5.1× 10 4T

Zn( ) → Zn( ) l Zn( ) l l 6846+ 6.457 3.7 × 10 4T Zn( )+ O ( ) → ZnO ( ) l O ( ) l l 8 5.396 + 2.2 × 10 4T

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400 500 600 700 800 900 1000 1100

-50

400 500 600 700 800 900 1000 1100

-100

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二、 根據圖 3.12[96]分別取(a)亞共晶、(b)共晶與(c)過共晶三種成分,將高純度(99.9%) 鋅與(99.7%)鋁,依不等之重量百分比(90%Zn-10%Al) 、(95%Zn-5%Al)與

(98%Zn-2%Al),調配成三種不同比例的鋅鋁合金。

圖 3.12 鋅鋁二元合金相平衡圖[96]

三、將各鋅鋁合金置入單向開口之石英玻璃管內,經機械幫浦(rotary pump)將真空度抽 至 2.5×10-3 torr 再利用分子式渦輪幫浦(turbo pump)抽氣,可將石英玻璃管管內之真 空度降至 3×10-6 torr,在通入氬氣使壓力回升至一大氣壓,反覆此除氣(purging)步 驟共三次,目的為潔淨試管內部避免於高溫時合金受汙染,如圖 3.13(A)(B)所示。

四、經三次除氣(purging)步驟後試管管內之氧分壓降至一較低值,封管後之樣品置於加 熱處理爐內,升溫至 750℃,適當的晃動試管使金屬混和均勻,可得融熔之鋅鋁合 金溶液,冷卻後經機械研磨即形成鋅鋁合金,如圖 3.13(C)(D)。

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(A) provide argon vacuum pump (B) vacuum pump

(C) cooling (D)

圖 3.13 合金融煉步驟示意圖

Alloy

Zn Al

Mechanical Polish

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