行政院國家科學委員會專題研究計畫 期中進度報告
以分子束磊晶所長半導體光電元件介觀物理之研究(1/3)
計畫類別: 個別型計畫 計畫編號: NSC93-2112-M-009-033- 執行期間: 93 年 08 月 01 日至 94 年 07 月 31 日 執行單位: 國立交通大學電子物理學系(所) 計畫主持人: 黃凱風 報告類型: 精簡報告 報告附件: 出席國際會議研究心得報告及發表論文 處理方式: 本計畫可公開查詢中 華 民 國 94 年 6 月 1 日
計劃期中報告
本計劃目前進行順利,繼續有不錯之結果產出,但因本系系館搬遷實驗室在過 去三個月均在搬遷狀態,特別是分子束磊晶系統之搬遷相當費時,且搬遷完成後, 實驗仍需花費相當長的時間調整恢復,最近仍然投入在 MBE 系統之調校工作,預 計至九月中可完全回復原來工作狀態。先前大面積之元件均為去年所長,故元件製 作及量測分析工作,仍能順利進行。另外,我們成長了1.3µm微米之飽和吸收體 +DBR,預計可做1.3µm雷射之鎖模研究應可在第一年計劃完成時獲得成果。 本計劃主要目標利用分子束磊晶法所長光電元件,特別是垂直共振腔面射型雷 射,利用其近場及遠場發光特性研究中 mesoscopic physics 特別是 mesoscopic 系統之 波函數。報告第一部份主要針對 SU(2)理論做一說明,PO(1.1)及 PO(2.1)形成之原因 有較詳細之討論,第二部份則為計劃中較新之結果,特別針對本徵態與 PO(1.1)疊加 及2×2,3×3及4× 之 PO(1,1)做完整之理論與實驗之說明。 4第一部份 同調波與雷射橫模 1.1 彈子球檯模型 方形彈子球是彈子球中最簡單的其中一種,其週期性軌道如前章所提及,其中 最簡單的為 (1,1)、(2,1)、(3,1)。根據 Bohr 的相對應原理,當量子數趨近於無大時, 可以和古典相對應。但在二維的方形無限位能井中,當量子數很大時,其波函數卻 不會和古典有所對應。在本章利用SU(2),將能量相近的幾個本徵態 配上相位相疊 加後,發現和古典的PO 有著很好的對應。在實驗中,由於 Schrödinger 和 Helmholtz 方程式的相似,所以面射型雷射(VCSEL)的橫模可視為波函數的解。方形腔中的橫 模一般都可以發現集中在古典的PO 軌道,這個結果使我們確信週期性軌道的波函 數比本徵態更能夠解釋介觀物理系統裡的現象。 1.2 SU(2)同調波 Pollet 等人提出了二維量子簡諧振盪相關的本徵態,經過 SU(2)所得的波函數 是特別的簡單而且侷限在和古典相對應的橢圓軌跡,數學上,SU(2)可確保經由疊加 幾個本徵態ϕK N K, − ( , )x y 其中 N 為一整數而 K = 0,1,2,3…..N;可得到ψN M, ( , ; )x yφ 在 空間上∆ ∆ 有最小的不確定性,其中 x、y 為卡氏座標系中的兩變數。在二維的方x y 形彈子球也就是大家一般熟悉的無限位能井中,其本徵態為 , 2 ( , ) sin[( 1) ]sin[( 1) ] 0,1,,,, K N K y x x y K N K K N a a a π π ϕ − = + − + = (1.1) 在二維卡氏座標系統下,經由SU(2)所得到的波函數為[5] 1/ 2 , , 1/ 2 (2 / ) ( , ; ) cos( ) N J p q N M N J K J K J N a x y K K N K
ψ
φ
−φ
− = = = ∑
∑
sin[ (p K 1) x]sin[ (q N K 1) y] a a π π × + − + (1.2)圖1-1、1-2 分別描述不同參數φ、M、N、p、q 對波函數 , , ( , ; ) p q N M x y ψ φ [8]的影響
(a) 1,1 2 60,9( , ; / 2)x y ψ π (b) 1,1 2 60,9( , ; / 3)x y ψ π (c) 1,1 2 60,9( , ; 2 / 3)x y ψ π (d) 1,1 2 50,5( , ;0.55 )x y ψ π (e) 1,1 2 50,7( , ;0.55 )x y ψ π (f) 1,1 2 50,9( , ;0.55 )x y ψ π 圖 1-1 (a)(b)(c)是φ和ψN Mp q,, ( , ; )x y φ 的關係,當固定p=1,q=1,N=60,M=9 由圖可明顯看 出,φ決定了PO 的起點;而 (d)(e)(f)則探討了 M 和 , , ( , ; ) p q N M x y ψ φ 當M 愈大,其波函 數會越侷限,M=N-2J+1 代表著選取的本徵態的個數。 (a) 1,1 2 20,7( , ; / 2)x y ψ π (b) 1,1 2 40,7( , ; / 2)x y ψ π (c) 1,1 2 60,7( , ; / 2)x y ψ π
在(3.2)式中很有趣的是 φ 這一項,當每一個本徵態有了一個相位差 φ 時,相疊 加後新的波函數,就會有古典的PO 可以相對應,其情形就好像馬或者是蜈蚣在行 走時,他們的每一隻腳必然要配合著很好的相位差,才能夠順利的往前行走,一旦 其中一隻腳的相位配合不好產生錯亂,其他的每一隻腳就沒辦法很順利的接下去; 同樣的,每一個本徵態的相位若是配合不好,就不會有一最侷限的波函數產生(如圖 1-3(b))。 10 20 30 40 10 20 30 40
圖 1-3 (a) 在方形彈子球中的本徵態 K-space,每一個灰點代表不同本徵態,而黑色的 實線代表m2+n2 =262+262,大的黑點則是圖 3-1(d)(e)(f)所選取的本徵態 (b) 利用程 式產生一亂數相位,將本徵態疊加後所產生的波函數,其相位分別為 0.05 ,0.55 ,0.18 ,0.06 ,1.42 ,0.61 ,1.09π π π π π π π (a) (b) 圖 1-2 (a)(b)(c)是當固定 p=1,q=1,φ=0.5π,M=7,N 和 ,, ( , ; ) p q N M x y ψ φ 的關係;而 (d)(e)(f) 則探討p,q 和 p q,, ( , ; ) N M x y ψ φ 的關係,p,q 的數值決定了(p,q)的 PO。 (d) 1,2 2 20,5( , ; / 2)x y ψ π (e) 1,3 2 20,5( , ; / 2)x y ψ π (f) 2,3 2 20,5( , ; / 2)x y ψ π m n
圖1-1 (d)(e)(f)是固定 N=50,φ=0.55π ,分別取5-9 個本徵態所描繪出的圖,當所 選取的本徵態越多時,波函數就會侷限在更小的區域;而每一個本徵態 , ( , ) 2 / sin[ ( / )]sin[ ( / )] m n x y a m x a n y a ϕ = π π 所對應的特徵能量如下 2 2 2 2 ( ) 2 E m n m a π = + h (3.3) 本徵態相對應的能量可以用兩個正整數m、n 來表示,圖 1-3(a)即是 1-1(d)(e)(f)中所 選取的本徵態,這些本徵態並不是簡併,但卻是很接近簡併的, 1.3 微型共振腔(VCSEL) 在討論面射型雷射的橫模前,我們先簡化其結構來加以討論,考慮一大方形孔 徑和很窄的增益介質的三維共振腔結構,DBR 的結構幾乎僅允許單一波長,而氧化 出的方形孔徑定義出了彈子球的橫向邊界。波向量可以分解成k 和z k 兩個分量,其t 中k 垂直方向出光的分量,而z k 則是橫向波向量的分量,而由於垂直方向的超短腔t 結構,因此k 是波向量中的主要分量,而在橫向的二維邊界為z 40 40 m× µ 2因此 z t k >> 。在橫向氧化出的二維邊界中,由於氧化的邊界和半導體有很大的折射率差k 異且因為波向量的k 分量遠大於橫向的z k 分量,因此光子在邊界上會有全反射的行t 為,所以可將其視為在邊界位能無限高的堅固牆裡。此外,在VCSEL 中的鏡子是 DBRs,可以被假設為沒有曲率的平面鏡,光子可以被考慮為一粒子被侷限在邊界位 能為無限高且方形裡位能為零的二維無限位能井中,而在垂直的出光方向則經由 DBR 耦合到外面,因此將電場的分佈簡單的以 ( , , )E x y z =ψ( , ) exp(x y −jk zz )來表 示,在分離出波函數的z 方向後,Helmholta equation 可以寫為一二維的形式 2 2 (∇ +t kt ) ( , ) 0ψ x y = 同時在邊界由於全反射 ( , ) 0ψ x y = ,使得光子好像撞倒一堅固的 牆,面射型雷射因此提供一良好工具來研究量子彈子球的問題,而邊界可以利用半 導體技術使其形成任何形狀,來作不同邊界行為的研究。
(1,2)就有相當明顯的差異,其主要差異在 PO 的交會點所產生的干涉條紋,理論計 算的結果會和x 方向平行(圖 1-2(d)),但實驗的干涉條紋是和 y 方向平行(圖 1-4 (b))。
要解釋這一矛盾的原因,我們可先由VCSEL 探討起,當將電流灌入 VCSEL 且經過 降溫後,由於VCSEL 在出光方向的超短腔結構,因此只允許在縱模只有單一波長, 而VCSEL 不可避免的還是會有一個頻寬,因此在橫模方向就會允許不只一單一頻
率被鎖住(locking),對應到 K-space 圖 3-3(a)就不再是四分之一的圓線,而是一個四 分之一的圓環,降低溫度不僅可以減少熱透鏡效應的影響,同時由於半導體的能階 亦會隨著溫度降低而變大,所以K-space 上的圓環半徑也會隨之變大,因此在相同 的元件上,就可以看到更高階的不同行為。當在做SU(2)本徵態的疊加時,PO(1,1) 所選取的本徵態,事實上就是斜率為-1 的線上的本徵態,但實驗中所能擷取到的本 徵態是為一圓環,因此PO(1,1)所選取的本徵態要同時在圓環和斜率為-1 的線上(如 圖1-5(a)),其恰巧和直接用 SU(2)所選取的本徵態是一樣的,故和實驗有著極佳的 對應;而在PO 為(1,2)所選取的本徵態是斜率為-2 直線上的本徵態,其和圓環的交 點如圖3-5(b)所示,其和直接使用 SU(2)所選取的本徵態是不同的,故造成實驗和理 論計算的落差。
圖 1-4 (a) 30µm×30µm的方形 VCSEL 在溫度為 220K 的近場實驗結果-PO(1,1) (b) 40µm×40µm的方形 VCSEL 在溫度為 276K 的近場實驗結果-PO(1,2) (c)
40µm×40µm的方形 VCSEL 在溫度為 276K 的近場實驗結果-PO(1,2)
5 10 15 20 25 30 35 5 10 15 20 25 30 35
5 10 15 20 25 30 35 5 10 15 20 25 30 35 另外,值得注意的是在圓環的大小相同時,斜率比-1 大或小時所選取到的本徵態, 不會僅有SU(2)所選取的本徵態,圖 1-5(b)不在線上的兩點即代表非 SU(2)所選取的 本徵態,當摻雜這兩項疊加後,PO 軌道就會有如實驗般不對稱的情形。
斜率 -1 斜率 -2 (a) (b) 圖 1-5 (a)黑點代表 PO(1,1)在斜率為-1 和圓環的交點所選取的本徵態 (b) 和斜率-2 的 直線相交的 3 黑點為 SU(2) PO(1,2)所選取的本徵態,其他兩黑點則為交點附近所選 取到的其他本徵態 (a) (b) (c) (d) m n m n
圖 1-6(a)是選取 SU(2)所選取的本徵態,配上π/ 2的相位後所計算出的波函數;而 1-6(b)是再額外加上非 SU(2)所選取的本徵態,由圖可明顯看出和實驗一樣 PO(1,2)的 對稱性,已經被破壞掉。而在 PO(3,1)時,是圓環和斜率為-1/3 線交會處的本徵態, 如圖 1-14,由圖也可以看出其有更多非 SU(2)所選取的本徵態,也因此,其在空間 的不確定範圍愈大,且愈不對稱。當PO 為(1,1)時,斜率-1 的線和圓環的交點是在 圓環角度為45 度附近,當直線和圓環相交的角度離 45 度愈遠時,非 SU(2)所選取 的本徵態會愈來愈多,此外,SU(2)所能選取到的本徵態亦會較少,當交點的角度距 離45 度愈遠時愈不容易形成 PO。 光學的遠場強度分佈,即是近場經過傅利葉轉換後可獲得,而在量子力學中座 標空間經由傅利葉轉換後可以得到動量空間;最近Bäcker 和 Schubert 也透過傅利葉 轉換,來獲得本徵函數的遠場分佈情形,以其對彈子球有更佳的瞭解,而透過VCSEL 的遠場量測,可以輕易的就得到彈子球在動量空間的分佈情形。圖1-7(a)是相關圖 1-4(a)的鑽石形狀波函數實驗中所得到的遠場圖案,可以明顯看出遠場的強度分佈在 45°、135°、225°、315°的地方有較強的分佈,這和近場中彈子球動量方向的四個方向 是一致的;圖1-7(b)是經由理論圖 1-2(c)中的鑽石形波函數所計算出的遠場波函數分 佈情形,實驗和理論的相符使我們確信,我們的理論模型是有效的。 遠場的強度分佈同時也提供了近場的解析工具,當近場的波函數是由多個PO 所組成時,由於同時多個不同的PO 互相干涉的結果,在近場裡無法分辨,但在遠 場卻可以清晰的將其解析出來。圖1-8(a)是 VCSEL 的遠場分佈情形,清楚的可以看 出在45°、135°、225°、315°和 26°、154°、206°、334°附近有較強的分佈,其所對應的 圖 1-6 (a) 疊加方形彈子球本徵態ϕ27,16、ϕ28,14、ϕ29,12配合相位差π/ 2, 27,16 28,14 29,12
( , ; / 2) cos(0x y / 2) cos(1 / 2) cos(2 / 2)
ψ π = ⋅π ϕ + ⋅π ϕ + ⋅π ϕ ,所產生的圖案
(b)ψ( , ; / 2) cos(0x y π = ⋅π/ 2)ϕ27,16+cos(1⋅π/ 2)ϕ28,14+cos(2⋅π/ 2)ϕ29,12
−0.36⋅ϕ28,15+0.33⋅ϕ29,13
(c) 疊加方形彈子球本徵態ϕ10,40、ϕ13,39、ϕ16,38配合相位差π/ 2,
10,40 13,39 16,38
( , ; / 2) cos(0x y / 2) cos(1 / 2) cos(2 / 2)
ψ π = ⋅π ϕ + ⋅π ϕ + ⋅π ϕ ,所產生的圖案
(d)ψ( , ; / 2) cos(0x y π = ⋅π/ 2)ϕ10,40+cos(1⋅π/ 2)ϕ13,39+cos(2⋅π/ 2)ϕ16,38
+0.53×ϕ12,39+0.38×ϕ14,39−0.4×ϕ15,38
是PO(1,1)和 PO(1,2)的遠場分佈,圖 1-8(c)是 PO(1,1)和 PO(1,2)互相干涉後的強度分 佈情形,在近場的波函數完全無法給我們任何的資訊,但當將之作傅氏轉換後(圖 1-8(b)),很清楚的可以解析出其是由 PO(1,1)和 PO(1,2)所組成的圖案。 圖 1-7 (a) 相關於圖 1-4(a)的近場條紋所得到的實驗遠場條紋 (b) 經由圖 1-2(c)座標 空間的波函數所算出的向量空間波函數 (c) (b)圖的三維分佈情形 (c) (a) (b)
第二部份 2.1 PO 和本徵態的糾纏 由於光學的遠場分佈即是量子力學中的動量空間分佈情形,因此可藉由實驗的 遠場分佈,得知K-space 上所選取的本徵態;圖 1-7(a)的遠場分佈可以清楚的告訴我 們,系統所選取的本徵態會如圖1-5(a) 中所示在圓環 45°附近;但當圓環上有一個 本徵態的能量和45°所選取的本徵態能量很接近時,系統就會有機會在其他角度的地 圖 1-8 (a) VCSEL 實驗的遠場分佈 (b) 經由(c)作傅氏轉換後理論計算出的遠場分佈 (c) 結合 PO(1,1)和 PO(1,2)的近場分佈情形 (d) (b)圖的三維分佈情形 (a) (b) (c) (d)
方同時選取這個本徵態,得到的圖案就會介於本徵態和和古典週期性軌道的圖案。 圖2.1 即是 VCSEL 實驗結果和理論計算的結果,本徵態和 PO 交會的地方有很特殊 的干涉節點產生,將能量以m,n 來作表示,在 45°時的能量為 282+292 =1625,而 在大角度本徵態(10,39)能量為 2 2 10 +39 =1621,由於能量差異很小本徵態ϕ10,39同時 亦被系統所選取。 在這裡我們特別也將本徵態和PO 的強度作疊加,如 圖 3-9(c),強度相加代表著 PO 和本徵態彼此間相互獨立,並沒有同時為系統所選取。 2.2 方形彈子球中的多個週期性軌道(PO) 在方形的面射型雷射裝置中,近場的實驗圖案中常常可以觀察到不只一個的週 期性軌道,如圖2.2(a)即是方形面射型雷射同時選取了兩個(1,1)的週期性軌道,實 驗中觀察到的現象甚至可以有多達四個(1,1)的週期性軌道。
圖 2-1 (a) VCSEL 在 276K 實驗的近場量測結果 (b) PO(1,1)和本徵態ϕ10,39疊加後理論計 算的結果 (c) PO(1,1)和本徵態ϕ10,39強度疊加後理論計算的結果
(a) (b) (c)
推測形成多個PO(1,1)可能的原因有兩種,其一為使用相同的 SU(2)相關的本徵態使 其每一個PO(1,1)有不同的相位,自然使的每一個 PO(1,1)的起點不同,調控每一個 PO(1,1)的相位即可以調控每一個週期性軌道的相對位置;另一種方法則是雷射系統 在選取本徵態時有機會選取到不只一個的SU(2)相關本徵態,如圖 2-7 即是雷射系 統同時選取到兩個SU(2)相關本徵態,我們將在下面的探討分析兩種方法,討論其 不同之處。 當圓環半徑選取適當時,圓環在45°附近有機會選取到兩個斜率-1 的本徵態如圖 2-7,因此實驗會有機會出現兩個(1,1),圖 2-3(a)即是實驗中兩個(1,1)的情形,值得 注意的是實驗圖中左上方和右下方波函數分佈的不對稱情形,當選取分別選取L1 和L2 上的本徵態形成 PO 產生干涉後,的確也產生了這種不對稱的情形。 圖2-4(b)和(c)的最大不同之在於,利用相同的SU(2)相關本徵態所計算出來的結果,於 空間上並不會有分佈不對稱的情形,僅有當雷射在 r 方向如圖圖2-5 選取到兩組SU(2)相 關本徵態,疊加後才會在空間上有如實驗強度分佈不對稱的情形,因此在兩個PO(1,1)分 佈不對稱的情形下,我們可以確信其形成的原因為雷射系統在r 方向也選取了另一 組的SU(2)相關本徵態。將這些想法同樣的放到四個PO(1,1)的模擬,一樣的,相同的 圖 2-3 (a) VCSEL 實驗的近場量測結果 (b) 由 L1 和 L2 分別形成兩個(1,1)互相干涉後的 強度分佈 (c) 選取相同的 SU(2)相關本徵態理論計算結果
圖 2-2 (a) VCSEL 兩個 PO(1,1)實驗量測結果 (b) VCSE 三個 PO(1,1) 實驗量測結果(c) VCSE 四個 PO(1,1) 實驗量測結果
SU(2)相關本徵態配上四種不同的相位有著很好的對稱性;而在r 方向選取四個SU(2)相關 本徵態,由於PO(1,1)數目變多,每一個 PO(1,1)必須相對的要選取更多的SU(2)相關 本徵態,才能在有限的空間可鑑別,而因為選取的本徵態變多在空間的不對稱會不若在兩 個PO(1,1)般,由於選取的本徵態少造成空間上有顯著的不對稱性,觀察圖 2-4(b), PO 的軌跡僅有小部分的扭曲。 多個PO(1,1)的原因除了我們前面所探討的兩個因素外,在這裡我們另外作了一 個很有趣的探討;由於面射型雷射裡載子濃度的不平均,造成方形彈子球台底部的 不平坦,在第四章我們將會有更詳盡的探討,在這裡我們假設底部的高度分佈像一 小山丘,靠近邊界的地方是較低的地方,將計算出來的本徵態利用SU(2)選取疊加 後,得到了如圖2-5 的圖案,讓多個 PO(1,1)同時形成的原因又多了一樣,也就是彈 子球平台底部的不平坦。 圖 2-4(a) 選取相同的 SU(2)相關本徵態分別配上四個不同相位理論計算結果(b)在 r 方 向選取四個(1,1)互相干涉後的強度分佈 (a) (b) 圖 2-5 考慮彈子球平台底部
10 20 30 40 10 20 30 40 斜率 –1/3 m n m n L1 L2 圖 3-13 PO(3,1)所選取的本徵態 圖 2-7 兩個 PO(1,1)所選取的本徵態