國 立 交 通 大 學
光電工程學系 光電研究所碩士班
碩 士 論 文
低溫多晶矽薄膜電晶體元件 C-V 特性劣化行
為之研究
Study on the Behaviors of LTPS TFTs C-V
degradation Characteristics
研
究
生 : 邱皓麟 Hao-Lin Chiu
指 導 教 授 : 戴亞翔 博士 Dr. Ya-Hsiang Tai
低溫多晶矽薄膜電晶體元件 C-V 特性劣化行
為之研究
Study on the Behaviors of LTPS TFTs C-V
degradation Characteristics
研 究 生:
邱皓麟
Student :Hao-Lin Chiu
指導教授:戴亞翔 博士 Advisor : Dr. Ya-Hsiang Tai
國 立 交 通 大 學
光電工程學系 光電研究所碩士班
碩 士 論 文
A Thesis
Submitted to Department of Photonics Institute of Electro-Optical Engineering
College of Electrical Engineering and Computer Science National Chiao Tung University
in Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of
Master in
Electro-Optical Engineering January 2006
Hsinchu, Taiwan, Republic of China