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低溫複晶矽薄膜電晶體藉由直流偏壓製造缺陷態之光漏電特性分析

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Academic year: 2021

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Study on the Photo Leakage Current of

LTPS TFTs by Extra Defect Creation

with DC Stress

研 研 研 研 究究究究 生生生生 : 李允翔李允翔李允翔 Yun-Hsiang Lee 李允翔 指導教授 指導教授 指導教授 指導教授 : 戴亞翔戴亞翔戴亞翔 博士戴亞翔 博士博士 Dr. Ya-Hsiang Tai 博士

中華民國 九十七 年 六 月

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低溫多晶矽薄膜電晶體藉由直流偏 低溫多晶矽薄膜電晶體藉由直流偏低溫多晶矽薄膜電晶體藉由直流偏 低溫多晶矽薄膜電晶體藉由直流偏壓製造缺陷壓製造缺陷壓製造缺陷壓製造缺陷 態之光漏電特性分析 態之光漏電特性分析態之光漏電特性分析 態之光漏電特性分析

Study on the Photo Leakage Current of LTPS TFTs by Extra Defect Creation with DC stress

研 究 生 : 李允翔 Student : Yun-Hsiang Lee

指導教授 : 戴亞翔 博士 Advisor : Dr. Ya-Hsiang Tai

國 國國 國 立 立立 立 交交交 交 通通 通通 大大大 大 學學學學 顯示科技研究所 顯示科技研究所 顯示科技研究所 顯示科技研究所碩士班碩士班碩士班 碩士班 碩 碩碩 碩 士 士士 士 論論 論論 文文文 文 A Thesis

Submitted to Department of Display Insititute College of Electrical Engineering and Computer Science

National Chiao Tung University in Partial Fulfillment of the Requirements

for the Degree of Master

in

Display

June 2008

Hsinchu, Taiwan, Republic of China

參考文獻

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