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連續波固態綠光雷射退火之面板型類磊晶矽電晶體

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Academic year: 2021

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國 立 交 通 大 學

材料科學與工程學系

博士論文

連續波固態綠光雷射退火之面板型

類磊晶矽電晶體

Continuous-wave solid-state green laser annealing in panel epi-like silicon transistors

研 究 生: 林鈺庭

指導教授:陳 智 博士

謝嘉民 博士

參考文獻

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