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電
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交大電子大放異彩
體賽
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元件論文數世界排名第
甫榮膺第二十一屆 中研院院士的張俊彥教授第一，每位進入交大
半導體研究中心的( SRC) 的同學均須經 過 Quali旬，因此訓 練效果顯著提高。 此外， NDL 供 應 SRC 的清淨空氣 純水、純氣均為世界 級，保障了元件製作 的成功 O 許多分析設 備的日SIMS 、 AES 、 ESIA) 均為世界一流。製程設備的維修也貢獻 不少，其中自建目製的 FurnaceSystem
(包含 LPCVD 、 ox 、 Anneal 等) ，更提供世界級的服 務，雷添福教授及張昭檳博士的功勞不可沒。 NDL 的氣體管路由日本 JPC 承建(三菱子 公司) ，其教學及事業水準己臻世界水準 0 余 和鄭晃忠教授、詹世雄博士對其督導，確保品 質。尤其二次配管由二億七千萬，縮到九千萬 仍能確保品質，鄭晃忠教授及詹世雄博士功不 可沒。純水是由日本野村公司承建，水質可作64MDRAM
0Clean
room造價從兩億換成一億四 千萬，雷添福教授及何道銘先生的監督及品質 保證居功厥偉 C NDL 從各種艱難中建立起來，成為世界級 的Lab' 肇路藍縷，誠非易事 C 交大電工系雖然成效己為世界級，但聯招 分數一直無法恢復早年的坐二望一的地位。 )護即維
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編按:張俊彥教授現任國家毫微米實 驗室 (NDL) 主任兼本校電子工程系所教授， 近日榮膺中央研究院數理系且院士，在此恭 賀。 交大電子元件論文在權威期刊 IEEETrans."
on Electron
Device 及 ElectronDevice
Letters 貢獻 數均名列世界之冠，如附表一 O 一九六四年，交大首創園內半導體研發， 成功研製第一枚矽平面半導體于研究工場(現 為實驗二館) ，一九六五年第一枚積體電路( I.e.)亦順利完成。當時余和郭雙發兄成立半導 體中心(一九六五) ，其中設備均自建白製完 成，並於實驗一館成立教學實驗室，同學可製 作電晶體。一九八 0 年成立第二代半導體館，一九八七年余從成大返校時，交大以實驗
Contact 及 Silicide 為主 G 同學只需作 Diode 0 另 有相當不錯的 Simulation modeling 研究，不用實 驗。當時全校獲國科會傑出研究獎只有兩位( 吳慶源及吳培元教授)。如今一九九六年獲傑 出研究獎之教授已近三十位。施敏教授更於一 九九四年榮獲中央研究院士及美國國家工程院 士，為本校大增榮光 G 我們發現交大電工系中有近十位之多的教 授表現極為傑出。在國內，論人數、水平均首 屈一指，他校很難匹敵。分析其中論文性質，
固然 Simulation 及 Modeli月及 Circuit 論文不少
(40%)
，但 Device 及 Process 論文仍居多，此與一九八七年只做 Contact 及 Silicide 不可同日
而語。
Ia事
體畫
但事在人為，相信只要盡心盡力，全力以 赴，應可改變現況。記得 1977年全國電機、電 子系所評價，交大得第一，成大電機卻敬陪末 座(甚至低於大同工學院電機系)。十年後，成大電機卻以發明Modulation
Base Hot Electron
Transistor 及 α-Si Transistor 揚名于世。證明如 果繼續努力，應會有成 O 交大既已成為世界第
一，應該也是台灣第一才對。
IEDM95
VLSI95
NCTU
Taiwan 4 NCTU Taiwan 3
Tohoku Japan
2 Tohoku Japan
1
NCTU=National Chiao Tung Univ.
,
Hsinchu
NTU=National Taiwan
Uni孔，TaipeiPrepared by
C.y'
Chang and H.
C.
Cheng at
NCTU &NDL
1.
23
.1
996
(表一)
