SEM 機台維修 維修及紀錄：謝文興、張紓語
(一)情況：燈絲燒斷 (原廠燈絲壽命在 90 小時左右,以往我們使用 60~200 小時，
視使用率而不同)。在 SEM 機台使用中，影像忽然消失，電流變零(看 SEM 面板第二頁)見圖 1-1。
處理步驟：拆裝電子槍匣和換燈絲 1.拆卸電子槍匣：見圖 1-2
a 將電子槍匣放置在燈絲固定座上。
b 逆時針把閘極蓋鬆卸下來(閘極蓋和燈絲座之間有一銅墊片) 。
c 鬆開固定燈絲的螺絲(有四支)，即可拿起燈絲座，再將燒斷的燈絲放入回 收盒並註名日期。
2.清理閘極蓋、燈絲座和銅墊片：
a 用棉花棒沾酒精再裹些氧化鋁粉，將積在其上的鎢(呈深藍色)磨下來，需 拋光至原來的亮面。
b 將閘極蓋、燈絲座和銅墊片震洗 (Aceton→Methanol→DI Water) ，把殘 餘的氧化鋁粉震洗掉。
＊組裝電子槍匣前要確定閘極蓋、燈絲座和銅墊片上沒有沾附任何髒東西。
尤其特別要注意的部分：燈絲座裡面的螺牙、閘極蓋裡的螺牙。
3.組裝電子槍匣：
a 將新的燈絲插入燈絲固定座上。
＊注意:千萬不可碰觸到燈絲或對著燈絲說話，以免毀壞燈絲而減少燈絲壽 命。
b 依序把燈絲座、銅墊片、閘極蓋輕放回燈絲固定座上。
c 緩慢地將閘極蓋順時針鎖上燈絲座，同時注意燈絲尖端的位置，輕鎖固 定燈絲的螺絲，把燈絲尖端調整在閘極蓋孔的中心。重複此動作，直到燈 絲尖端與閘極蓋孔水平切齊，見圖1-3。
d 再轉鬆閘極蓋，讓燈絲尖端比閘極蓋孔低 0.5mm，見圖 1-4。
4.每次換燈絲要順便清理正極蓋。清潔方法同 2。注意：清潔後，一定要檢查 清楚有沒有殘留物，若有殘留物將污染整各腔體。
(二)情況：
A. 電流不穩。將電子束全部打在 Faraday Cup 裡面，調上面的 aperture 至電 流的最大值，但沒過多久電流就漂掉變小或為零。
B. 電流太小。將電子束全部打在 Faraday Cup 裡面，調上面的 aperture 至電 流的最大值。當電壓加到30KV，Spot size=9 時，Beam current 至少要有 25pA。
處理步驟：
1. 先確定燈絲尖端是不是在閘極蓋孔的正中央，然後調整燈絲尖端到閘極蓋 孔的距離。目前這個部分只能用目測，所以可能要多試幾次，找電流的最 大值。
2. 若 A 步驟確實完成，但電流值還是不如預期，我們就要檢查上下兩支 aperture 是否受污染。將 Tightening ring 逆時針轉鬆，呈水平緩慢地拉出 來(＊小心!!不要撞到 aperture)，查看孔洞周圍的顏色，若和原來的顏色不 同，就要更換新的aperture(見 2-1)。
3. 若 A、B 步驟確實完成，但電流值還是不如預期，我們就要檢查無氧銅圓 筒套管是否受污染。
a.拿起正極蓋。
b.用夾具將無氧銅圓筒套管垂直地從腔體拔出來(＊小心!!不要撞到周圍 的電磁透鏡)，檢查圓筒套管是否呈亮面的黃銅色(見 2-2)。若顏色改變了 (見 2-3)，就要拆卸下來清洗。
c.用柱狀黃銅座(見 2-4)將內套管從外套管推出來。內套管包括：一支 8.1cm 長的套管、兩支 4.8cm 長的套管、一支 4.1cm 長的套管，總長 21.8cm。
另外，每個套筒之間有一開孔薄片及一個長6mm 的狹縫扣環(見 2-5)。
d.清洗套管的方法同情況一：步驟 2。
e.清潔完後，將內套管組裝起來，放入外套管，再用夾具把無氧銅圓筒套 管垂直地放入腔體。
f.放回正極蓋。
圖1-1
圖1-2
圖1-3
圖1-4
圖2-1
圖2-2
圖2-3
圖2-4
圖2-5
