表 Y04
科技部補助國內專家學者出席國際學術會議報告
2014 年 09 月 16 日 報告人姓名 黃博勤 服務機構 及職稱 國立成功大學尖端光電科技中心 博士後研究人員 時間 會議 地點 2014 年 09 月 08 ~ 11 日 日本‧坎城縣筑波 本會核定 補助文號 103-2914-I-006-049-A1 會議 名稱 (中文) 2014 國際固態元件與材料研討會(英文) 2014 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) 發表 論文 題目 (中文) 運用氧化鉿及氧化鋯作為絕緣材料之高介電層優先/金屬閘後製 N 型金氧半場效電晶體低頻雜訊特性研究
(英文) Investigation of Low-Frequency Noise in High-k First/Metal Gate Last HfO2 and ZrO2 nMOSFETs
表 Y04
一、參加會議經過
本次的國際固態與材料研討會在日本坎城縣筑波國際會議中心(International Congress
Center EPOCHAL TSUKUBA)舉行，從 9 月 08 日起至 9 月 11 日為期一共 4 天，與會人士包
含世界各大學教授、研究生、相關科技產業公司人員及各研究中心學者。本人於今年 7 月初 接獲大會通知論文被接受後，便積極進行相關準備，期望在發表時能有好的表現，提升台灣 及成功大學在國際學術上的形象；而在準備發表的期間，也同時進行相關出國所需之手續及 申請。 第一天，09 月 07 日，搭乘日本航空公司班機由高雄小港機場飛往日本成田國際機場， 於當天下午抵達東京，順利進到市區並住進飯店，隨後在飯店附近短暫停留參訪與休息。第 二天下午為會議所舉辦的short course，相關內容與本人的研究領域沒有直接之關係，因此沒 有出席；第三天會議即正式開幕，因為沒有論文需要發表，所以可以專心聆聽演講，由美國
普渡大學(Purdue University) Peide D. Ye 教授帶來的 Technical Plenary 演講，其題目為”New
Channel Materials and Devices Beyond Si CMOS”，暢談了在往後金氧半場效電晶體可能之發展
趨勢及應用之材料；下午則聆聽了由東京大學的 K. Tanaka 所帶來的演講，其演講題目
為”Quantitative Evaluation of Slow Traps near Ge MOS Interfaces by Using Time Response of MOS Capacitance”，內容為運用時間跟電容的量測方式來萃取分析金氧半電容元件絕緣層內
部慢缺陷(Slow trap)，除上述之演講之外，由於我的研究與金氧半場效電晶體相關電特性及絕
緣層之缺陷性質有關，也挑選了相關領域之演講進行聆聽，這讓我收穫豐富。第三天，所有
被選為用海報張貼發表的發表者，都被安排在早上 11 點半先進行一簡單約 3 分鐘的口頭發
表，而海報的張貼則被安排在下午2~4 點，期間與來自東京大學的 Shinichi Takagi 教授與 Roger
Hӓusermann 博士、日本住友化學的 Masafumi Yokotama 博士以及東芝的 Fumitaka Arai 博士進 行論文內容的相關討論，除了介紹自己的研究內容之外，也透過他們的提問發現了一些之前 未曾想過的問題，這都可以成為我往後的研究方向，另外也挑選一些跟自己的研究方向相關 的發表，趁機當面與作者進行意見交流。大會的最後一天，則是聆聽了幾篇與低頻雜訊相關 的發表，相關的實驗或模擬結果都讓我對於低頻雜訊有新的見解，對於往後用來分析元件的 界面特性時將會有很大的幫助。 最後，在會議結束之後，取得學校的休假許可，藉由這個機會前往東京的各個地方見識 一下不同的民俗風情，並藉由這個機會與外國人交談來磨練自己的日文及英文能力。最後於 9 月 14 日晚上搭乘日本航空班機由日本東京成田國際機場，返抵高雄小港國際機場，結束此 次會議行程。 二、與會心得 這次參加SSDM 會議可說是獲益良多，不但更了解將來研究的趨勢，也看到了各個領域 的研究成果，充實了知識。在報告過程中，因為其他學者聽眾的問題，激發更新的研究想法， 從中也看到了自己所沒有見到的盲點。此外自己能夠有機會參加此一盛會，除了感到相當榮 幸之外，也特別要感謝科技部在經費上的補助，若沒有這項補助，很可能會基於自身經濟上 的考量，而無法親自前往參加。 另外，在許多優質期刊發表研究成果，往往需要經過多重之審查步驟，至刊出至少需六 個月至一年之久，資訊獲得上略顯緩慢許多，甚至有些重要結果牽涉到專利等問題因此並不 急於在期刊上發表，因此相較於期刊之搜尋與閱讀，透過研討會之方式許多研究團隊所發表
表 Y04 之內容皆為最新的發現，即便對於物理現象之解釋尚無較完整精確深入之探討，尚須進一部 經過實驗的驗證後才會再投至期刊，但卻可獲得最新之資訊。而在觀看其他全球知名大學之 研究報告後，深深覺得其實國內一些大學之研究團隊並無較差，我們也有信心可以迅速的修 正我們的研究方法，以趕上全球在相關領域之研究團隊，因此相信除了在研究上可更進一步 突破之外，同時也能夠提高國內大學在國際間之能見度，如此一來國際學術單位方能接受國 內之大學機構，進而進入全球前百大。 三、考察參觀活動(無是項活動者省略) 無 四、建議 參加此類大型國際研討會，不僅可藉論文發表提升台灣在國際學術領域的知名度，亦可 使獲得學習與磨練的機會，尤其是能與世界一流研究人員進行想法交換與學術討論，更是難 得之經驗，建議可多鼓勵國內學生、學者或研究員多出席類似之國際會議，並增加出席會議 補助次數，期望政府今後對於補助出席國際會議之制度可以更加完整與完善。 五、攜回資料名稱及內容 1. 2014SSDM 論文集光碟 1 片 2. 2014SSDM 論文集 USB 1 支 3. 2014SSDM 大會手冊 1 本 4. 2014SSDM 紀念環保手提袋 1 個 六、其他 無
