應用雷射拖拉法之光罩與立體微結構的製造方法與立體微結構

【19】中華民國　　　　　　【12】專利公報 　（B）

MANUFACTURING METHODS OF PHOTOMASK AND

MICROSTRUCTURE BY USING LASER DRAGGING PROCESS, AND MICROSTRUCTURE

【21】申請案號：100127598 【22】申請日： 中華民國 100 (2011) 年 08 月 03 日 【11】公開編號：201307992 【43】公開日期： 中華民國 102 (2013) 年 02 月 16 日 【72】發 明 人： 李永春 (TW) LEE, YUNG CHUN；邱繼正 (TW) CHIU, CHI CHENG 【71】申 請 人： 國立成功大學 NATIONAL CHENG KUNG

UNIVERSITY 臺南市東區大學路 1 號 【74】代 理 人： 劉正格 【56】參考文獻： TW I231358 TW I274189 TW 200848794A US 6100985 TW I243963 TW I301533 US 5703692 審查人員：吳彥華 [57]申請專利範圍 1.　一種應用雷射拖拉法之光罩的製造方法，包含：一移動決定步驟，係決定一機台使一基 板相對至少一光罩移動之方向及次數；一微結構決定步驟，係決定一立體微結構於該基 板上之外貌特徵；一分析步驟，係依據該方向、次數以及該外貌特徵，使用一數值分析 方法計算得到該光罩之特徵；以及一生產步驟，係依據該光罩之特徵製造出該光罩。 2.　如申請專利範圍第 1 項所述之製造方法，其中於該移動決定步驟中，該機台使該基板相 對該光罩依據至少二方向移動，且該等方向係呈正交或夾一角度。 3.　如申請專利範圍第 1 項或第 2 項所述之製造方法，其中於該移動決定步驟中，該機台使 該基板相對該光罩移動至少二次。 4.　如申請專利範圍第 1 項所述之製造方法，其中於該移動決定步驟中，該機台使該基板相 對複數光罩依據至少一方向移動。 5.　如申請專利範圍第 1 項所述之製造方法，其中於該移動決定步驟中，該機台使該基板相 對複數光罩移動至少一次。 6.　如申請專利範圍第 1 項所述之製造方法，其中該立體微結構之外貌特徵為橢圓、圓錐、 角錐、非對稱、軸對稱、立角最密堆積。 7.　如申請專利範圍第 1 項所述之製造方法，其中該數值分析方法包含單形法(simplex method)。 8.　如申請專利範圍第 1 項所述之製造方法，其中該外貌特徵係由至少一方程式表現。 4265

-9.　如申請專利範圍第 1 項所述之製造方法，更包含：一雷射光決定步驟，係決定一雷射光 之強度與照射時間，並且於該分析步驟中，更依據該雷射光之強度與照射時間，使用該 數值分析方法計算得到該光罩之特徵。 10. 一種應用雷射拖拉法之立體微結構的製造方法，包含：一移動決定步驟，係決定一機台 使一基板相對至少一光罩移動之方向及次數；一微結構決定步驟，係決定一立體微結構 於該基板上之外貌特徵；一分析步驟，係依據該方向、次數以及該外貌特徵，使用一數 值分析方法計算得到該光罩之特徵；一生產步驟，係依據該光罩之特徵製造出該光罩； 將該基板設置於該機台上；將該光罩設置於該基板上；以及藉由該機台使該基板沿該移 動決定步驟中所決定之方向及次數依序移動，在移動過程中，使一雷射光經過該光罩而 照射該基板，藉由上述雷射光的疊加作用而在該基板上產生該立體微結構。 11. 一種應用如申請專利範圍第 10 項所述之製造方法所製出之立體微結構，其係為軸對稱微 結構。 12. 如申請專利範圍第 11 項所述之立體微結構，其係為子彈型或饅頭型軸對稱微結構。 13. 一種應用如申請專利範圍第 10 項所述之製造方法所製出之立體微結構，其係為多面體微 結構。 14. 如申請專利範圍第 13 項所述之立體微結構，其係為六面體角柱微結構、多層次角柱微結 構或多層次曲面微結構。 圖式簡單說明 圖 1 為本發明較佳實施例之一種應用雷射拖拉法之光罩的製造方法的步驟示意圖； 圖 2 與圖 3 為本發明較佳實施例之光罩的製造方法的假想情境示意圖； 圖 4 為本發明較佳實施例之預期的立體微結構的俯視示意圖； 圖 5 為圖 4 之立體微結構之一視角的示意圖； 圖 6 為利用本發明較佳實施例之光罩製造方法所製出之光罩的局部示意圖； 圖 7A 與圖 7B 為本發明較佳實施例之光罩製造方法進行第一次拖拉所得到之立體微結構 的示意圖； 圖 8A 與圖 8B 為本發明較佳實施例之光罩製造方法進行第二次拖拉所得到之立體微結構 的示意圖； 圖 9A 與圖 9B 為本發明較佳實施例之光罩製造方法進行第三次拖拉所得到之立體微結構 的示意圖； 圖 10A 為利用本實施例之應用雷射拖拉法之立體微結構的製造方法所製出之一立體微結 構的俯視示意圖； 圖 10B 為圖 10A 之立體微結構之一視角的示意圖； 圖 11A 為利用本實施例之應用雷射拖拉法之立體微結構的製造方法所製出之另一立體微 結構的俯視示意圖； 圖 11B 為圖 11A 之立體微結構之一視角的示意圖； 圖 12A 為利用本實施例之應用雷射拖拉法之立體微結構的製造方法所製出之另一立體微 結構的俯視示意圖； 圖 12B 為圖 10A 之立體微結構之一視角的示意圖； 圖 13A 為利用本實施例之應用雷射拖拉法之立體微結構的製造方法所製出之另一立體微 結構的俯視示意圖； 圖 13B 為圖 13A 之立體微結構之一視角的示意圖； (2) 4266

-圖 14A 為利用本實施例之應用雷射拖拉法之立體微結構的製造方法所製出之另一立體微 結構的俯視示意圖；以及

圖 14B 為圖 14A 之立體微結構之一視角的示意圖。 (3)

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