微電子工程學門研究發展及推動小組(III)

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 微電子工程學門研究發展及推動小組(3/3) 計畫類別： 個別型計畫 計畫編號： NSC93-2217-E-009-002- 執行期間： 93 年 12 月 01 日至 94 年 12 月 31 日 執行單位： 國立交通大學電子工程學系及電子研究所 計畫主持人： 李鎮宜 報告類型： 完整報告 處理方式： 本計畫可公開查詢 中 華 民 國 95 年 3 月 29 日

國科會微電子學門研究發展及推動小組

94 年度結案報告

學門召集人：李鎮宜 教授 95 年 2 月

前言： 隨著全球經濟緩步復甦之際，各國政府皆不約而同地思考如 何強化科技產業的競爭優勢，我國亦然。藉由國家型計畫的 推動與科技政策的宣導，以便能掌握到這一波的經濟成長的 動能與契機。 半導體產業是「兩兆雙星」中的政策所規劃的一兆產業，在 歷任學門召集人的帶領下，配合政府科技產業政策，已於 2005 年突破兆值得產值，依目前成長的趨勢，預估在 2006 年仍可維持兆元以上的產值。為維持此一產業的持續成長， 並符合晶片系統國家型科技計畫的規劃目標，微電子學門所 規劃的重點研究領域包含奈米級元件及製程，非揮發性記憶 元件，高速元件，射頻電路，單晶片系統，極低功率設計技 術…等，這些重點分別以整合和個別型計畫來推動執行，藉 由團隊合作的研究模式，來提昇整體的研發能量和掌握關鍵 的技術。值得一提的是，過去三年來整體論文的發表，不僅 在量上有顯著的成長，在品質更有大幅的提升，尤其是在指 標型國際會議上所發表的論文(IEDM 和 ISSCC) ，分別成長 到 20 篇左右，顯示我國在固態電子和電路設計領域的研發 能量已深獲國際認同，以篇數而言，排名約為全球 3~4 名， 僅次於美國和日本，和韓國在伯仲之間。尤其 ISSCC 論文的 成長數更是由 2002 年的 0 篇，跳躍式成長到 2006 年的 18

篇(以來自台灣的作者為計算基礎) ，研發成果和能量深獲國 際肯定，因此在 ISSCC 的 ITPC(國際技術委員)也持續增加 中，這些具體的成就，除了 NSOC 國家型計畫的政策性鼓勵 和經費支援外，最主要還是來自學門內相關老師的長期投 入，產出世界級的研究成果，進而強化我國半導體產業鏈的 整體研發能量。 為來在學門研究的推動，除了持續強化相關領域的研究成果 外，亦可規劃跨領域的研究主軸，藉由不同領域的結合來激 發更豐碩的研究成果，創造藍海的研究契機，同時在研究成 果的質與量，皆能有所提升，尤其如何將研究成果轉化為我 國科技產業的基石和創新的動能，亦應加以妥善規劃。另外 如何鼓勵具研發能量的團隊，積極參與跨國性的研究計畫和 國際性的學會(含技術委員會期刊編輯等) ，藉由點的突破到 線和面的結合來具體展現我國的科技實力，進而向國際社會 發聲，亦是另一重要的課題。 以下為 94 年度微電子學門專題研究計畫申請和核定資料， 總計共通過 265 件，總金額為二億五仟六佰一拾二萬元整。 另外亦提供部分成果發表會的相關照片，請參閱。最後感謝 國科會工程處長官在業務推動上的支持和學門相關領域教 授的投入，期盼未來在大家的努力下，所產生的研發成果能 轉化為國內半導體和資訊科技產業持續成長的動能。

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Outline

• 學門規劃重點

• 學門成果總覽

• 年度會議紀錄

• 矽導計畫—晶片系統國家型科技計畫

• 94年度VLSI/CAD領域成果發表

3 94年微電子學門規劃重點 ¾ 元件與製程 前瞻性技術 化合物半導體 矽基元件與製程技術 ¾ VLSI/CAD 晶片系統模組及介面設計 類比混合訊號及RF模組設計 晶片系統之設計、驗證自動化與EDA特色研究 圖一：94 年度國科會微電子學門規劃重點 4

計劃通過總覽

966.5 平均每案 256,120 265 總 計 103,137 129 VLSI/CAD 152,983 136 矽半導體材料與元件 補助金額（仟NT） 案數 微電子學門 圖二:94 年度計畫通過總覽

5 各子學門計劃申請/通過狀況 800 1125 平均每件通過 金額 46% 55% 42% 55.3% 通過率 103,137 129 152,983 136 通過 225,374 234 361,830 246 申請 申請金額(千元) 案數 申請金額(千元) 案數 VLSI/CAD 固態電子組 項目 圖三：94 年度兩大領域申請及通過案數及金額 6

近四年計劃核定情形

961.2 259,519 586,192 56.6% 270 477 93 966.5 256,120 587,203 55% 265 480 94 1024.9 279,800 526,045 63.6% 236 371 91 968 326,029 607,986 62% 223 359 92 每案平均經 費(千元) 核定經費 (千元) 申請經費 (千元) 通過比例 核定件數 申請件數 年度 圖四：91 年度至 94 年度計劃核定情形

7 國科會微電 子學門 固 態電子 vs. VLSI/CAD 之申請/通 過件數比較 圖 214 191 149 246 210 234 93 136 110 114 130 129 235 185 180 242 122 116 136 134 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160 170 180 190 200 210 220 230 240 250 260 90年度 91年度 92年度 93年度 94年度 固態電子申請件數 VLSI/CAD申請件數 固態電子通過件數 VLSI/CAD通過件數 圖五：90 年度至 94 年度兩大領域申請/通過比較圖 8 國科會微電子學門近五年VLSI 及固態電子專題計畫申請與通過金額分析圖 260,575 259,064 278,682 586,192 361,830 152,983 259,519 126,569.50 114,252 103,286 175,801 196,692 196,549 250,286 225,374 103 ,137 109,608 78 ,928 98,55 8.20 103,6 06.40 42% 39% 44% _44.30% 45.40% 46% 44% 50 % 52.70% _{43 .80%} 0 100,000 200,000 300,000 400,000 500,000 600,000 700,000 90年度 91年度 92年度 93年度 94年度 0 50,000 100,000 150,000 200,000 250,000 300,000 固態電子申請金額 固態電子通過金額 固態電子通過比例% VLSI/CAD申請金額 VLSI/CAD通過金額 VLSI/CAD通過比例 圖六:90 年度至 94 年度兩大領域申請/通過金額分析圖

9 國科會微電子學門專題研究計畫近五年申請/通過件數比率 399 371 359 477 480 226 236 223 270 ₂₆₅ 5 6 .7 0 % 6 3.6 0% 6 2% 5 6.6 0% 5 5 % 0 100 200 300 400 500 600 90年度 91年度 92年度 93年度 94年度 申請總件數 核定總件數 通過比例 圖七:國科會微電子學門專題研究計畫 90 年度至 94 年度申請/通過比率 10 國 科 會 微 電 子 學 門 近 五 年 通 過 經 費 之 分 析 586,192 587,203 607,985.68 526,045 536,351 256,120 259,519 326,029 217,334 279,800 879.9 968 961.2 966.5 4 4 .6 0 % 4 4 .3 0 % 6 0 % 5 3 .2 0 % 4 0 .5 0 % 1,024.90 0 100,000 200,000 300,000 400,000 500,000 600,000 700,000 90年度 91年度 92年度 93年度 94年度 0 200 400 600 800 1000 1200 申請經費(千元) 核定經費( 千元) 通過比例 每案平均經費(千元) 圖八:國科會微電子學門 90 年度至 94 年度經費通過分析圖

VLS

I/CAD

MICRO ELECT

R

O

N

IC

2004

國科會微電子學門

國科會微電子學門

VLSI/CAD領域93年度專題研究計畫

Forum

學術成果研討會議 主持人:郭峻因教授 A) PM 19:30 ~ 19:50 成大電機工程系 李昆忠教授 「前瞻性掃瞄測試技術及架構之研發」 B) PM 19:50~ 20:10 雲科大電子工程 周榮泉教授 「酸鹼值測量系統應用於酵素感測器與溫度控制電路 之研究」 C) PM 20:10 ~ 20:30 中正資訊工程 郭峻因教授 「通曉內容之多媒體資料壓縮/索引系統及數位矽智 財/晶片設計」 D) PM 20:30 ~ 20:50 微電子學門VLSI/CAD相關事項報告與討論 圖九: 94 年度 VLSI/CAD 領域專題研就計劃成果發表會海報