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低介電常數材料在多層導體連線系統上之製程整合研究

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Academic year: 2021

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(1)國 立 交 通 大 學 電子工程學系 電子研究所 博 士 論 文 低介電常數材料在多層導體連線系統上之製程整 合研究. The Process Integration of Low-k Dielectrics for Multilevel Interconnection Applications. 研 究 生 : 指導教授 :. 中 華 民 國. 蔡 宗 鳴 曾 俊 元 博士 張 鼎 張 博士. 九 十 四. 年. 二. 月.

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