保溫材鈣金屬污染對閘極氧化層的影響之影響及防治

國 立 交 通 大 學

工學院半導體材料與製程設備學程

碩 士 論 文

保溫材鈣金屬污染對閘極氧化層的影響之影響及防治

Insulation Material Calcium Metal Pollution on the Impact of

Gate Oxide Layer of Influence and Control

研 究 生 : 余典衞

指導教授 : 張翼教授

保溫材鈣金屬污染對閘極氧化層的影響之影響及防治

Insulation Material Calcium Metal Pollution on the Impact of

Gate Oxide Layer of Influence and Control

研

究

生：余典衞

Student：Tien-Wei Yu

指 導 教 授：張翼

Advisor：Yi Chang

國 立 交 通 大 學

工學院半導體材料與製程設備學程

碩 士 論 文

Submitted to Degree Program of Semiconductor Material and Process Equipment College of Engineering

National Chiao Tung University in Partial Fulfillment of the Requirements

for the Degree of Master of Science in

Semiconductor Material and Process Equipment March 2010

Hsinchu, Taiwan, Republic of China