國 家 奈 米 元 件 實 驗 室
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系統安全資料表
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Mask Aligner MJB3 機台身份證
全名: 光罩對準曝光機 MJB3
位置: R502 / class 10k
工程師: 湯淵富 (O) ext.: 6624 (C) 0922585916
代理人: 李彥希 (O) ext.: 6629 (C) 0988426542
機台負責人: 周勝鴻 組長 (O) ext.: 6614 (C) 0987675158
作業區域化學品:(1) 大宗氣體:
N
2 (2) 特殊氣體:(3) 瓶裝化學品:
a. 有機化合物:
b. 酸/鹼劑:
c. 氧化物:
d. 其他:
製造商或代理商: Karl Suss Taiwan Corp.
代理商工程師: 姚鑚豪 ， 電話: 07-3496970 、 行動: 0922952641
更新日期: 11 / 01 / 2008國 家 奈 米 元 件 實 驗 室
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實驗室機台設備安全宣告
1. 操作期間無論發生有感地震、停電、毒氣或火災警報的狀況時，應立即循逃 生方向撤離。
2. 遇 有 液 體 外 洩 、 火 災 燃燒或人員傷害等 緊 急 狀 況 時 ， 請 通 知
緊 急 應 變 指 揮 中 心 協 助 處 理 ( 分機 6601& 6613)。
3. 確認使用該機台可能需要防護具的使用方法及其所在位置，例如：緊急沖淋 器、空氣呼吸器、滅火器、藥膏等。
4. 曝光機放出之 UV 光對眼睛有傷害，曝光時勿直視。
5. 實 驗 條 件 之 設 定 狀 況 不 得 超 過 原 有 之 設 定 範 圍 。 6. 請注意工程師公告機台設備相關之停用製程或服務功能。
7. 有發現其他同學不按照規定使用機台設備（未登記使用紀錄、未依 SOP 操
作，使用不被允許或其他可能造成機台損壞的物料），請儘速告知工程師 (分
機 6624) 處理或工安人員(分機 6602)
8. 機台設備如果有不能正常工作的狀況時，請先查閱之前紀錄且將發生狀況說 明於紀錄簿上，工程師會儘速診斷原因並予以回應。
9. 詳 實 填 寫 實 驗 紀 錄 簿 。
10. 每 週 預 約 時 間 在 星 期 五 早 上 十 點，嚴 格 禁 止 提 早 預 約、偽 造 簽 名 或 其 他 欺 騙 行 為 。 (Aligner 預約項目為使用 4” 製程)
11. 若 要 使 用 其 他 材 質 基 板 請 先 與 工 程 師 (ext.6624)討 論 。 12. 請保持機台設備附近的環境清潔及秩序。
13. 任 何 人 若 不 遵 守 以 上 指 示 將 會 依
國 家 奈 米 元 件 實 驗 室 管 理 規 則
懲 處。國 家 奈 米 元 件 實 驗 室
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Mask Aligner MJB3 標準操作程序
壹、 開機程序：
1. 開汞燈前先將 Aligner 控制面板上 Air pressure 與 Nitrogen azote 開關向上扳 起，並檢視開啟後控制面板上表壓及鋼珠高度是否在標記範圍內。
2. 確認冷卻氣體開啟後才可開啟汞燈 power supply，Power 由 O 扳下 I ，機器 初始化完畢後螢幕會出現 rdy，之後按下 START，點燈成功會出現 Cold，最 後螢幕出現 475Watt(若沒點起會重回到 rdy，關起 power 至 O，過 5 分鐘後 再試一次)。
3. 按下控制面板上的 Power 即完成曝光機開機。
貳、 曝光：
1. 放光罩
a. 鬆開光罩固定螺絲。
b. 將光罩真空架輕輕拉出放置在桌面上，且真空槽面朝上。
c. 將光罩放置在真空槽中央後將 vacuum mask 扭按下。
d. 光罩架放回並鎖緊。
e. 調整欲曝光秒數，將 Exposure 扭(綠色)按下，完成曝光。
