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Academic year: 2022

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(1)

99年度工業區職場安全健康週 危險性工作場所製程安全評估金鑰

財團法人 安全衛生技術中心

(Safety and Health Technology Center, SAHTECH)

SAHTECH

安全衛生技術中心 財團法人

SAHTECH

安全衛生技術中心 財團法人

(Safety and Health Technology Center, SAHTECH)

林瑞玉

September 7~8, 2010

課程大綱

一、製程安全管理概念

二 製程安全評估方法與實例 二、製程安全評估方法與實例 三、評估方法共通性介紹 四、製程安全報告書

五 甲乙丙類危險性工作場所主要潛在危害

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五、甲乙丙類危險性工作場所主要潛在危害

六、結語

(2)

一 製程安全管理概念 一、製程安全管理概念

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Risk?! Emergency ?! Crisis ?!

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(3)

執行風險評估的時機

¾ 建立安全衛生管理計畫或職業安全衛生管理系統時。

¾ 新的化學物質、機械、設備、作業或活動等導入時。

¾ 新的化學物質、機械、設備、作業或活動等導入時。

¾ 機械、設備、作業方法或條件等變更時。

¾ 遇下列情形,須檢討修正其原有的風險評估結果:

1. 發生職業災害或其他重大事件時。

2. 安全衛生法規修正時。

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3. 新的安全衛生知識、技術或實務產生時。

4. 定期,例如每年。

風險評估相關主要法規

¾勞工安全衛生組織管理及自動檢查辦法第12條之1 第一項第一款規定,雇主應依其事業規模、 特性,

訂定勞工安全衛生管理計畫,執行工作環境或作業 危害之辨識、評估及控制

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¾勞動檢查法第二十六條/危險性工作場所審查

暨檢查辦法

(4)

第十二條之二 第一類事業勞工人數在三百人以上之事業單位

,應參照中央主管機關所定之職業安全衛生管 理系統指引,建立適合該事業單位之職業安全 衛生管理系統。

前項管理系統應包括下列安全衛生事項:

一、政策。

二、組織設計。

三、規劃與實施。

四、評估。

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四 評估

五、改善措施。

前二項安全衛生管理之執行,應留存紀錄備查,並保 存紀錄三年。

危險性工作場所主要法規

勞動檢查法

依據勞檢法第26 條第二項訂定危 險性工作場所審 依據勞檢法第39

條訂定勞動檢查 勞動檢查法

第二十六條第一 第25-29條主要 針對符合第二十

險性工作場所審 查暨檢查辦法

依據第二十六條

條訂定勞動檢查 法施行細則

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項規定何謂危險 性工作場所

針對符合第二十 六條第一項每款 危險性工作場所 之定義說明

第一項規定之危 險性工作場所分 類甲/乙/丙/丁、

審查及檢查事項

(5)

勞動檢查法第二十六條

一、從事石油裂解之石化工業之工作場所。

下列危險性工作場所,非經勞動檢查機構審查或檢查合 格,事業單位不得使勞工在該場所作業:

二、農藥製造工作場所。

三、爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所。

四、設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐,其壓力或容量達中 央主管機關規定者之工作場所。

五、製造、處置、使用危險物、有害物之數量達中央主管機關 規定數量之工作場所。

六、中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工

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六 中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工 作場所。

七、其他中央主管機關指定之工作場所。

前項工作場所審查或檢查之事項,由中央主管機關定之。

API 750 Management of Process Hazard

CCPS/AIChE Technical Management

of Chemical Process Safety

OSHA Process Safety Management of Highly Hazardous

Chemicals

CMA Responsibe

Care

台灣 危險性工作場所審查

暨檢查辦法

製程危害分析相關法規/規範/標準

1.製程安全資訊 2.製程危害分析 3.變更管理 4.操作程序 5.安全工作實務 6.訓練

7.關鍵性設備之品保 及機械完整性 8 開車前安全審查

1.管理階層之責任與承諾 2.製程原理及文件記錄 3.建廠設計及審核程序 4.製程風險管理 5.變更管理 6.製程及設備完整性 7.事故調查 8.訓練及執行成效 9 人因工程

1.員工參與 2.製程安全資訊 3.製程危害分析 4.操作程序 5.訓練 6.承攬管理 7.開車前安全檢查 8.機械完整性 9 動火工作許可

1.領導與管理 2.技術

.設計文件

.製程危害 3.資訊

.製程危害分析

.變更管理 4.設施 5 檢查

1.安全衛生基本資料 2.製程安全評估報告書 3.製程修改安全計畫 4.緊急應變計畫 5.稽核管理制度

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8.開車前安全審查 9.緊急應變及控制 10.製程意外事故調查 11.製程危害管理稽核

9.人因工程 10.標準、規範及法令 11.稽核及改善計畫 12.製程安全知識之增進

9.動火工作許可 10.變更管理 11.事故調查 12.緊急應變計畫 13.執行狀況稽核 14.商業機密

5.檢查 6.人員

(6)

製程安全管理系統需求

i員工參與 i機械設備完整性 i製程安全資訊 i動火許可

i製程危害分析 i變更管理

i操作程序 i事故調查

i訓練 i緊急應變計畫

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i承攬管理 i稽核

i開車前安全檢查 i商業機密

製程初步危害分析

‧化學物質本質危害分析

‧系統作用危害分析

製程重大危害辨識 火災 事故

調查

製程安全資訊

變更管理 危險性工作

場所或高潛 在危害場所

製程危害分析與安全衛生管理之關聯性

‧火災

‧爆炸

‧毒性物質外洩

管線儀錶(P&ID)安全檢討

‧HazOp

‧FMEA

……….

頻率分析 設備完整性

定期 檢查

預防/

預知保養

操作程序 開車前檢查

訓 練 安全工作許可

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頻率分析

‧FTA

‧ETA 後果分析

風險分析及管理

‧Fatal Accident Rate

‧F-N Curve 可靠度資料

安全工作許可

防爆危險區劃 管理

緊急應變

(7)

二、製程安全評估方法與 二、製程安全評估方法與

實例

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風險評估模式

作業 1

批式製程、裝配作業 、維

風險評估 模式選擇

製程導向 導向模式 1 修作業

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製程導向

模式 2 連續製程、反應器、塔

槽及管線系統

(8)

危險性工作場所審查暨檢查辦法

實施初步危害分析(Prel iminary Hazard Analysis)以分析發掘工 作場所重大潛在危害,並針對重大潛在危害實施下列之一 之 作場所重大潛在危害 並針對重大潛在危害實施下列之一 之 安全評估方法,實施過程應予記錄並將改善建議彙整:

(一) 檢核表(Checklist)

(二)如果--結果分析(What -- If)

(三)危害與可操作性分析(Hazard and Operability Studies)

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(四)故障樹分析(Fault Tree Analysis)

(五)失誤模式與影響分析(Failure Modes and Effects Analysis) (六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法

工廠生命週期中各階段的評估方法應用

製程階段 製 程 研

基 本 設

試 驗 工

細 部 設

建 廠 階

試 車 階

正 常 運

擴廠 或修 改

停 廠 拆 研

發 設 計

工 廠

設 計

階 段

階 段

轉 改 拆 除 評估方法

初步危害分析 z

如果…會如何 z z z

檢核表 z z z z z z z

危害與可操作性分析 z z z z z

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危害與可操作性分析 z z z z z

失誤模式及影響分析 z z z z

失誤樹分析 z z z

(9)

製程安全評估分析方法的特徵

腦力激盪

使用“Guidewords”

--製程偏離引導字:HazOp

+

--設備元件故障模式引導字:FMEA --用OR或AND Gate果導因:FTA What-if

-

結構化

+

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-

Checklist

製程安全評估流程

危險性工作 場所或高潛 在危害製程?

初步危害分析 半定量 相對風險 等級評估法 製程安全資訊蒐集

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HazOp/FMEA/What..if 風險預防與 控制碩施 是否具重大

潛在危害或 高風險?

(10)

初步危害分析之目的

1. 辨識製程中化學物質的危害性 2. 辨識健康及環境的危害性 3. 檢討塔槽裝置的配置

4. 檢討製程對廠區內其他區域的影響 5. 評估工廠位置與對社區的影響

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„製程安全資訊是執行製程危害分析、建立標準操作 程序、作業勞工訓練及規劃緊急應變計畫等所須之 基本資料 也就是執行PSM的最先期工作

製程安全資訊

基本資料,也就是執行PSM的最先期工作。

„製程安全資訊內容應包括製程化學物質特性、製程 設計技術和詳細的製程設備資料。

„雇主和製程相關之員工須充份的瞭解製程內危險物

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或有害物的特性,進一步辨識和提出可能存在的火

災、爆炸或毒氣外洩之潛在危害。

(11)

製程安全資訊(續)

製程安全資訊

製程設計技術 製程設備資料 製程化學物質特性

1.毒性資料 2.容許濃度暴露 3.物理性資料 4.反應性資料 5.腐蝕性資料 6.熱安定性資料

1.方塊流程圖(BFD)或 製程流程圖(PFD) 2.製程化學 3.最大的存量 4.製程操作參數

1.管線和儀錶圖(P&IDs) 3. 製程設備之規格和結構材質 4.電氣分類防爆區域等級 5.安全系統,含聯鎖、關斷、

警報系統

6.製造商所提供之操作和維修 手冊

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7.預測不希望發生之物 質混合的危害效應

手冊

7.設計規範和工程標準 8.質能平衡

a. 檢核表A:物質危害檢核表

檢討化學物質的易燃性、安定性、毒性及健康危害。)

初步危害分析之本質危害分析

b. 檢核表B:物質相容性檢核表

檢討化學物質間及化學品與設備材質間之相容性,是否 彼此間在製程中不正常接觸時會有化學反應發生?

c. 檢核表C:處理方法檢核表

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考慮化學物質危害對裝置/製程系統設計的可能需求。

(12)

物質本質危害分析

品名 狀態 總量 庫存量

火災/爆炸之危害 反應 性/

安定 毒性危害 其他之健康危害

表 A 物質危害檢核-液氨範例

品名 狀態 (庫存量/

生產量)

火災 爆炸 靜電 性之

危害 急性 慢性 致突

變性 臭味 粉塵 危害腐 蝕

性 放 射 性 燙傷/

凍傷 其他

氨 液體22.6M3/da

y V 1 V 1 V 1 V 2 V 3 V 3 - V 3 - V 3 - V 3 -

註:1.火災/爆炸之危害

(1)氨之八小時日時量平均容許濃度為50ppm,短時間時量平均容許濃度為75ppm,嗅覺閾值:

0.6 - 53 ppm;自燃溫度:850℃,爆炸範圍為15.5~25%。

(2)火場中的壓力容器可能會破裂、爆炸並放出有毒及刺激性氣體。氨不易著火,但是在密閉空

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(2)火場中的壓力容器可能會破裂、爆炸並放出有毒及刺激性氣體。氨不易著火,但是在密閉空 間,氨與空氣的混合物會爆炸。

(3)...

2.安定性和反應性之危害

(1)正常狀況下安定(2)應避免之狀況:高溫、靜電、火花、焊接操作(3)...

3.毒性危害

(1)暴露途徑:吸入、皮膚接觸、眼睛接觸

(2)症狀:皮膚灼傷及凍瘡、眼睛出血、眼皮腫脹、刺激感

化學品 化

學 氨

碳鋼 (CS) A516 70

結構 材質 化 學

物質本質危害分析

表B 物質相容檢核-液氨範例

學 品

A516-70 學 品

氨 1 2 氨

-

註:1.只有單一成分,無相容性問題。2.氨槽本體為碳鋼材質,不會與氨起反應。

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(13)

物質本質危害分析

表C 物質處理方法檢核-液氨範例

品名 狀態 總量 (庫存量/

儲存

/ 製程 工廠 區域

排氣 釋壓 煙道 燄/

產品

品質 公用 結構 噪音 排放 除污

緊急 處理

法規

/ 品名 狀態 (庫存量/

生產量)

處理 條件 配置 劃分 排氣 釋壓 燄/

焚化爐 品質

控制 設施 材質 控制 處理 除污 處理 方法

/ 標準

氨 液體 22.6M3/day V 1 - V 2- V 3 V 4- V 5- V 6 - V 7 V 8 V 9 V 10

註:1. 儲存/處理

(1)貯存於陰涼乾燥通風良好的地區,遠離熱源、引火源,避免陽光直接照射,遠離不相容物。

(2)貯存區應標示清楚,無障礙物並只允許指定或受過訓的人員進入。

(3)………

2.工廠配置:此區域位於整廠東南方,為陰涼乾燥通風良好的地區。

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3.排氣

液氨卸料壓縮機將槽車內的液氨卸載入液氨儲槽,儲槽輸出之液氨於蒸發器內蒸發為氣氨,

再經由液氨儲槽至緩衝槽送達脫硝系統。緊急排放之氨氣則排入稀釋槽中,經水吸收後直接 流入廢水池中,並由廢水幫浦送到廢水處理廠處理。

4.釋壓

(1)在進行液氨卸料作業時,壓縮機抽取液氨槽中氣氨,經壓縮後將槽車內液氨擠壓入儲存槽 內,其管線上並配有安全閥避免管中殘餘氨氣因太陽照射壓力上升而洩漏。儲槽中有液位 自動開關,當液位過高時,可關停壓縮機,停止卸料。

5………..

a. 依製程工場實務劃分製程區域,如:反應區、回收區、純化區、儲槽區等。

b. 針對各製程區域以下列問題進行檢核,符合以下任一條件即為重大潛在危害區

域:

□Q>20% TQ。

初步危害分析之系統作 用危害分 析

□Q>20% TQ

□高放熱反應:氧化(Oxidation)、硝化(Nitration)、鹵化(Halogenation)、有機 金屬化(Organmetallics)、偶氮化(Diazotization)、氫化(Hydrogenation)、

裂解/熱分解(Thermal Decomposition)、聚合(Polymerization)、磺化(

Sulphonation)、縮合(Condensation)。

□製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上,爆炸上限(UEL)以下,或濃度在此範圍附近 者。

□具有在100℃以下熱不安定性,或與一般物質,如空氣、水、其他可能污染物接觸後起 反應之物質,P≥10psig(1.75atm. Abs.)。

□T>A.I.T.或為易燃性氣體。

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26 財團法人

□P≥20㎏/㎝2 或 P≤500㎜Hg。

□製程中有明顯之高低壓差,ΔP;(上游壓力)≥ 4(下游壓力)。

符號說明:

  Q:製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量,概估該製程區內塔槽與管線中的總量,單 位為kg。

  TQ:勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量,或附表二中有害物的法定限量。

  T:製程區中的最大操作溫度。

  A.I.T.:可燃性或易燃性液體的自燃溫度。

  P:製程區中的最大操作壓力。

  ΔP:製程中上下游的操作壓差。

(14)

氨儲槽製程流程示意圖

氨槽

蒸 發 器

緩 衝 槽

稀 釋 槽

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槽車

初步危害分析評估表範例

項 次 系統分 析區域

系統作業危害分析項目

重大潛在 危害區域

備註:系 統分析區 域對應的 P&ID圖號

及主要評 估結果 Q>

20

%TQ 高放 熱反 應

組成 在 LEL~

UEL 間

熱不安 定性

T>A.I.T.

或 易燃氣體

P≥/cm2或 P≤500mmHg

明顯上下 游高低壓差ΔP≥4

倍 估結果

間 倍

1

液氨卸 料壓縮 機(含卻 液器)

否 NA NA NA NA 是 否 是

2 液氨儲

槽 是 NA NA NA NA 是 否 是

3 氨氣蒸

發器 否 NA NA NA NA 是 否 是

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4 氨氣緩

衝槽 是 NA NA NA NA 否 是 是

5 稀釋槽 否 NA NA NA NA 否 否 否

(15)

Central Scrubbe r

大氣

矽甲烷(SiH4)供應系統製程流程示意圖

Purge vent Scrubber Fume

Exhaust

一次配管 二次配管

r

VMB

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PECVD Vacuum

Cabinet

項 次 系統分 析區域

系統作業危害分析項目

是否為 重大潛 在危害 區域

備註:

系統分 析區域 對應的 P&ID圖 號及主 Q>

20

%T 高放熱

反應

組成可 能在 LEL~

UEL 熱不 安定 性

T>

A.I.T.

或 易燃

P≥/cm

2

P≤500m 明顯上下 游高低壓 差 倍

初步危害分析評估表範例

區域 號及主 要評估 結果

%T Q

反應 UEL (1.4~9 6%)間

性 易燃

氣體 mHg 差ΔP≥4倍

1 氣瓶櫃 有 否 有 有 有 有 有 是

2 Vent Gas

處理 否 否 有 有 有 否 否 是

3 VMB 否 否 有 有 有 否 否 是

4

Tool(含

Gas box 否 有 有 有 有 是

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4 Gas box

及Pump) 否 有 有 有 有 是

5 Local

Scrubber 有 有 有 否 是

6 Central

Scrubber 否 否 否 否 否 有 否 是

(16)

分數

項目 10分 5分 2分 0分

NFPA (F) 4,3 2 1

Vp(kg/cm2)

20℃ V ≧3 3>V ≧0 8 0 8>V ≧0 2 V <0 2

危險物重大潛在危害判定表

20℃

蒸氣壓

Vp≧3 3>Vp≧0.8 0.8>Vp≧0.2 Vp<0.2

Q(kg)

存在量 Q≧5000 5000>Q≧1000 1000>Q≧100 Q<100 T(℃)

操作溫度 T≧1000 1000>T≧250 250>T≧70 T<70 P(kg/cm2G)

操作壓力 P≧1000 1000>P≧200 200>P≧10 P<10 各項總合大於 分(不包括 分)為重大潛在危害

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各項總合大於20分(不包括20分)為重大潛在危害

註:1.若系統內同時含多種危險物或有害物,其物料危害分數(指NFPA等級及Vp)均 應分別計算,並取其最高值。

  2.若系統內同時含多種危險物或有害物,應分別計算其存在量,並取其最高值。

  3.操作溫度及壓力均以系統內最高之操作溫度及壓力計算之。

  4.輕油裂解工作場所以危險物計算。

分 數

項 目 10分 5分 2分 0分

NFPA (H或 R) 4或 Ca 3 2 1

Vp(kg/cm2)

20℃ Vp≧ 3 3> Vp≧ 0 8 0 8> Vp≧ 0 2 Vp< 0 2

有害物重大潛在危害判定表

20℃

蒸 氣 壓

Vp≧ 3 3> Vp≧ 0.8 0.8> Vp≧ 0.2 Vp< 0.2

Q(kg) 存 在 量

Q> 50%

附 表 二 規 定 數 量

5%≧ Q> 30%

附 表 二 規 定 數 量

30%≧ Q> 10%

附 表 二 規 定 數 量

10%≧ Q 附 表 二 規 定 數 量 T(℃ )

操 作 溫 度 T≧ 1000 1000> T≧ 250 250> T≧ 70 T< 70 P(kg/cm2G)

操 作 壓 力 P≧ 1000 1000> P≧ 200 200> P≧ 10 P< 10

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各 項 總 合 大 於 20分 (不 包 括 20分 )為 重 大 潛 在 危 害

註: 1.若系 統內 同時含 多種 危險物 或 有害物, 其 物料危 害分 數(指 NFPA等級及 Vp)均 應分 別計算 ,並取 其最高值 。

   2.若系 統內同時 含多種 危險物或 有害物 ,應分 別計算其 存在量 ,並取 其最高值 。    3.操作 溫度及壓 力均以 系統內最 高之操 作溫度 及壓力計 算之。

   4.輕油 裂解工作 場所以 危險物計 算。

(17)

如何應用各分析方法-液氯儲槽

至洗滌塔 至洗滌塔

至洗滌塔 1英里

PI

至洗滌塔

PCV-1

SP. 250 psig

N2

液氯儲槽

90 T HCV 1 HCV 2

液氯 進料槽

SP. 250 psig

A.O.

A.O.

LAH MV-2

MV 1 SV-1

MV-4 SV-2 (200psig)

PI

LI

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90 T HCV-1 HCV-2 進料槽

N2

沖吹 (50psig)

LAH

至反應器 MV-1

MV-3

HCV-3

LI 1T

如果…會如何(What-if)腦力激盪法

․非結構性的腦力激盪

․由小組會議來完成,小組成員交換彼此間的專業經驗

․小組成員的專業經驗將會嚴重的影響分析結果

․大多應用於設計規劃初期之系統的風險評估;或中、低 危害之風險評估

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危害之風險評估

(18)

液氯製程之What if 問題

ƒ如果液氯進料錯誤會怎麼樣?

ƒ如果液氯濃度太低會怎麼樣?

ƒ如果液氯被污染會怎麼樣?

ƒ如果液氯進料閥被關閉會怎麼樣?

ƒ如果液氯儲槽破裂會怎麼樣?

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項次 如果…怎樣 可能危害與後果 防護措施 改善建議 1 液氯進料錯

‧污染物與磷酸或氨 水反應之潛在危害

‧可靠的供應商

‧正確的物料處理

What if分析工作表

誤 ‧產品品質不良 步驟

2 液氯濃度太 低

‧未反應之氨流到DAP 槽,並排放至作業 區中

‧可靠的供應商

‧正確的物料處理步 驟

3 液氯洩漏

‧氯氣洩漏至環境面,

造成環境汙染,嚴 重時導致人員受傷

‧定期維修保養

‧洩漏偵測及警報器 管線設有PT

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液氯洩漏 重時導致人員受傷

或死亡。 ‧管線設有PT

(19)

檢核表(Checklist)分析技術

¾ 定義檢查的區域

¾ 組織一具有各種專業知識成員的小組

¾ 針對被檢核系統的特性,準備必要的工具:適當的檢 核表,或另外發展新的檢核問項

¾ 針對被檢討的區域,回答檢核表上的每一個問項

¾ 調查無法滿足檢核表標準的問題或缺點

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¾ 提出改善建議或改善計畫

安全衛生影響評估-檢核表參考例(1/2)

評估項目 是 否 不適用 評估結果

說明 1.製程

1.1本次修改或變更是否會引用新的化學物質,如:

反應物、溶劑、觸媒或新的原料來源中可能的不 純物?

□ □ □ 1.2新的化學物質是否為易燃物、爆炸性、毒性、

致癌性、刺激性、具分解能力、氧化劑?是否有 物質安全資料表?

□ □ □

□ □ □ 1.3新的製程技術是否增加熱生成速率、反應壓力?

在開車、停車、正常操作或攪拌故障、公用系統 失常時是否具有發生異常高溫的潛在危害?

□ □ □

□ □ □ 1 4原有之排放及釋壓系統在新的操作條件下是否

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1.4原有之排放及釋壓系統在新的操作條件下是否

足夠? □ □ □

1.5是否會產生破真空條件的風險? □ □ □ 1.6是否會增加逆流或交互污染的風險? □ □ □ 1.7製程修改或變更後之易燃性液體或氣體或可燃

性粉塵,是否仍適用於原電氣/防爆區劃分? □ □ □

(20)

安全衛生影響評估-檢核表參考例(2/2)

評估項目 是 否 不適用 評估結果

說明 2.設備

2.1本次修改或變更是否包括新的壓力容器?如

□ □ □ 果是,是否完成工檢程序並取得合格使用證? □ □ □ 2.2新的操作壓力與塔槽的最大允許工作壓力間

是否有足夠的壓差? □ □ □

2.3釋壓系統的釋壓能力對製程偏離、閥或管線

故障、公用系統失常或火災而言是否足夠? □ □ □ 2.4遙控隔離閥是否需要?雙隔離閥與盲封設計

是否需要? □ □ □

2 5與安全有關之關鍵性的製程警報與連鎖系統

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2.5與安全有關之關鍵性的製程警報與連鎖系統

是否因製程修改而處於另一種新的狀態? □ □ □ 2.6是否產生新的引火源(包括:熱表面、機械

火花、靜電、電弧等)? □ □ □

2.7氣體偵測系統、消防水系統、防溢堤或排水

系統是否需要修改以適應新的變更? □ □ □

危害與可操作性分析

¾ 利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合

¾ 利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合 後發展出有意義的製程偏離(Process

Deviation),以檢驗製程區段之異常偏離是否 會發生?發生的原因為何?發生後的後果及危 害是什麼?並辨識系統既有的防護措施和設計 是否足以保護?風險是否可接受?

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是否足以保護?風險是否可接受?

(21)

危害與可操作性分析(續)

製程偏離 可能原因 可能後果 防護措施 風險等級 製程操作條件偏

離原先設計安全 或正常操作範圍

•流量中斷(低/無 流量)

•溫度升高(高溫)

•液面降低

嚴重的後果或 損失:

•人員傷亡

•財物損失

•營運中斷

•環境污染 等

辨識系統既有的防 護措施和設計是否 足以保護:

•進料槽設 有液位指示

•設有標準操 作程序

風險是否可 接受:

•嚴重性 •可能性 發生製程偏離的

原因:

•維修錯誤

•管線腐蝕

•手閥誤關

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•進料錯誤等

引導字 + 製程參數 = 製程偏離

(G id d) (P P t ) (P D i ti )

製程偏離範例

(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)

無 + 流量 = 無流量 較多 + 壓力 = 高 壓

不僅 又 一相 兩 相

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不僅…又 + 一相 = 兩 相

除…之外 + 操作 = 維 修

(22)

製程偏離矩陣引導圖

Guide Words Process Parameter

No.

Not None

Less, Low, Short,

More, High Long

Part of As well As,

Also Reverse Other Than Flow 無流量 低流量

低總流量 高流量 高總流量

缺少某成份 原料

流動方向 錯誤,

逆流 錯誤的流動 物質

( 含不純物

Pressure 與大氣連通 低壓力 高壓力 真空

Temperature 結冰 低溫度 高溫度 自發冷凍

Level 空的 (Empty)

低液位 高液位 低界面 高界面 Agitation 未混合 混合效果

過度混合 混合過程突 然中斷

起泡現象 (Foaming)

相分離 Reaction 無反應 反應速率

過慢

部份反應 副反應 解離反應 非預期的反 應

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Time, Procedure

未執行 或程序內容 有缺失 不完整

較快或較 早 時間太短 定量的減 少

較慢或較晚 時間太長、

定量的增加

部份動作未 執行

執行額外 的動作

未依照規 定順序執 行步驟 或邏輯上 相反的

錯誤的動作 (

Speed 停止運轉 轉速太慢 轉速太快 非同步運轉 運轉方向 錯誤

皮帶斷裂 Special或其

公用系統故 障無供應

外漏 外部破裂 管子漏 管子破裂

確認分析範圍

分析前準備 撰寫報告 追蹤考核

危害與可操作性分析程序

執行 評估 確認分析範圍

評估小組成員 資料蒐集與準備

研討節點劃分及進度安排 會議安排

撰寫報告 追蹤考核

HazOp分析工作表 HazOp

分析

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製程 偏離 可能原因 可能後果 防護措施 風險等級 改善建議

(23)

研討節點劃分範例

至洗滌塔 至洗滌塔

至洗滌塔 1英里

PI

至洗滌塔

PCV-1

SP. 250 psig

N2

液氯儲槽

90 T HCV 1 HCV 2

液氯 進料槽

SP. 250 psig

A.O.

A.O.

LAH MV-2

MV 1 SV-1

MV-4 SV-2 (200psig)

PI

LI

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90 T HCV-1 HCV-2 進料槽

N2

沖吹 (50psig)

LAH

至反應器 MV-1

MV-3

HCV-3

LI 1T

危害與可操作性分析表

項目 製程偏離 可能原因 可能後果 防護措施 嚴重性 可能性 風險等級 改善建議

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(24)

項目 製 程

偏 離 可 能 原 因 可 能 危 害 ╱ 後 果

防護措施╱補充 說明

嚴 重 性

可 能 性

風 險 等 級

改 善 建 議

1.承攬施工。

2 外力撞擊。

A.導致酸氣外洩,

造成人員中毒或

1,2-設有新人訓練 工程師訓練。

1.建議未來於 年度歲修時

危害及可操作性分析工作範例(1/2) 危害及可操作性分析工作範例(1/2)

2201.

15

破裂/洩 漏

2.外力撞擊 3.管壁腐蝕。

4.管線(泛指管 線或法蘭連接點 及管件(泛指閥 體、格蘭密封和 軸封等)洩漏。

5.地震。

造成人員中毒或 火災爆炸而有傷 亡之危害。

說明:

HCN:火災爆炸 及人員中毒 NH3:腐蝕及刺 激皮膚 H2S:火災爆炸 及人員中毒

工程師訓練 1,2-承攬商管理辦 法,以避免人為 造成之外力撞擊 或施工不良。

3,4-管線為特殊防 腐材質(Hastelloy) 赫斯特。

3,4-管線上設有 (PZ130101),當壓

B 2 2

年度歲修時, 能作管線非 破壞性厚度 檢測。

2.建議建立地 震後的檢查 表.

3.脫硫區共設 有5組H2S偵 測器 ,目前

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力低於設定值時, 燃燒器會 shutdown。

3,4-試車前會完成 管閥件的試壓。

3,4-年度歲修檢點

只設定一段 high alarm,

建議增設第 二段HH alarm及

機制。

項目 製 程 偏

離 可 能 原 因 可 能 危 害 ╱ 後

果 防護措施╱補充說明

嚴 重 性

可 能 性

風險

等級 改 善 建 議 1.承攬施工。

2.外力撞擊。

3.管壁腐蝕。

4.管線(泛指管線

A.導致酸氣外洩,

造成人員中毒或火 災爆炸而有傷亡之 危害。

1,2,3,4-操作人員會定期 巡檢。

5-管線上設有支撐架。

A-1附近設有沖淋設備.

1.建議未來於年 度歲修時,能作 管線非破壞性厚 度檢測。

危害及可操作性分析工作範例(2/2)

2201.1 5

破裂/洩 漏

4.管線(泛指管線 或法蘭連接點)及 管件(泛指閥體、

格蘭密封和軸封等) 洩漏。

5.地震。

危害 說明:

HCN:火災爆炸 及人員中毒 NH3:腐蝕及刺激 皮膚

H2S:火災爆炸及 人員中毒

A 1附近設有沖淋設備.

A-2環境面設有H2S氣體 偵測器,當偵測濃度達 3ppm時,系統 H alarm 人員會前往確認 A-3 H2S Gas Detector 會定期校正。

A-4當現場gas detector alarm時,人員會再手持 四用型的氣體偵測器前 往確認。

A 5作業區設有消防栓、

B 2 2 度檢測 2.建議建立地震 後的檢查表.

3.脫硫區共設有 5組H2S偵測器 , 目前只設定一段 high alarm,建 議增設第二段 HH alarm及

機制。

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A-5作業區設有消防栓、

手提式乾粉滅火器,

A-6現場設有緊急按鈕 EMO。

A-7本廠有制定緊急應變 計畫,並定期進行演練。

A-8線常備有解毒劑,另 外鄰近童綜合醫院亦可 處理氰化物。

(25)

失誤模式與影響分析

• 鑑認單一設備/系統的失誤模式(Failure Modes)

,以及每一個失誤模式對系統/工廠的潛在影響,

並提出可增加設備可靠度之改善建議,藉以提昇 安全性

• 利用設備元件之故障模式引導進行

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• 利用設備元件之故障模式引導進行

設備元件之失誤模式範例

設 備 元 件 失 誤 模 式

泵浦

(pump)

外漏(external leak)

‧破裂(external rupture)

‧啟動失效(fails to start)

‧運轉中故障(fails off while running)運轉中故障(fails off while running)

‧過早啟動(started prematurely)

‧運轉時間太長(operates too long)

‧退化運轉,如:太快、太慢等等

(operates at degraded head/flow performance: too fast, too slow, etc.)

過濾器

(filer/strainer)

外漏(external leak)

‧破裂(external rupture)

‧內部零件破裂(internal element rupture)

‧零件阻塞(element plugged)

感測器元件

外漏(external leak) 破裂(external rupture)

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(sensor element) ‧破裂(external rupture)

‧接栓阻塞(tap plugged)

‧無輸出訊號(fails with no output signal)

‧輸出訊號過低(fails with a low output signal)

‧輸出訊號過高(fails with a high output signal)

‧對輸入訊號之改變無回應(fails to respond to an input change)

‧假輸出訊號(spurious output signal)

(26)

失誤模式與影響分析範例(1/2)

設備元件

失誤模

可能危害/後果 防護措施 改善建議

1.1

氣 動 閥

(AV-1)

無法開啟 廢氣中CO濃度過高,下游氧化

設備有潛在火災爆炸之危害。

FI-3。PI-4。FIA-1。TICA- 1,TIA-2/3/4 可 聯 鎖 切 斷 進 料及加熱源。

1.2 無法關閉 浪費氮氣,無安全顧慮。

1.3 開度不正

無安全顧慮。 氮氣管線上游有FI-3可調節

氮氣流量。

1.4 過早打開 浪費氮氣,無安全顧慮。

1.5 過早關閉 廢氣中CO濃度過高,下游氧化

設備有潛在火災爆炸之危害。

FI-3。PI-4。FIA-1。TICA- 1,TIA-2/3/4 可 聯 鎖 切 斷 進 料及加熱源。

1.6 外洩 浪費氮氣,無安全顧慮。 本系統非於密閉空間操作

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1.7 內漏 浪費氮氣,無安全顧慮。

2.1

軟管

外洩 毒性及易燃性氣體外洩,若遇火

源,可能造成火災爆炸及人員傷 亡。

BL-2可將洩漏氣體抽至主 洗 滌 塔。 箱櫃 有 PI-5可 監 視內壓。

於箱櫃裝設高壓聯鎖系統 可聯鎖關斷進料。

2.2 破裂 毒性及易燃性氣體外洩,若遇火

源,可能造成火災爆炸及人員傷 亡。

BL-2可將洩漏氣體抽至主 洗 滌 塔。 箱櫃 有 PI-5可 監 視內壓。

於箱櫃裝設高壓聯鎖系統 可聯鎖關斷進料。

失誤模式與影響分析工作表(2/2)

設備元件 失誤模

可能危害/後果 防護措施 改善建議

2.3 阻塞/扭緊 易造成接頭脫落或軟管破裂

毒性及易燃性氣體外洩

BL-2 可 將 洩 漏 氣 體 抽 至

主洗滌塔 箱櫃有PI 6可 於箱櫃裝設高壓聯鎖系統

,毒性及易燃性氣體外洩,

若遇火源,可能造成火災爆 炸及人員傷亡。

主洗滌塔。箱櫃有PI-6可

監視內壓。 可聯鎖關斷進料。

3.1 R-1 酸 氣 脫 除終點指示 器(CIA-2)

指 示 器 故 障 未變色

R-3觸媒失效,CO氧化效率 降低,可能造成CO外洩,有 潛在火災爆炸之危害。

定期檢視CI-1/CIA-2顏色 指示,並定期更換觸媒。

有AIA-1-1高CO濃度警報

於 R-3 出 口 廢 氣 CO 高 濃 度時,考慮將AIA-1-1訊 號聯鎖切斷設備進氣並供 應氮氣稀釋。

3.2 指 示 器 故 障 過早變色

提早更換觸媒,影響生產效 率。

有CI-1及CI-3可多重檢視

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4.1 溫 度 控 制 器 (TICA-1)

於 較 低 設 定 點作動

CO氧化效率降低,可能造成 CO外洩,有潛在火災爆炸之 危害。

TIA-2/TIA-3 溫 度 指 示 。 有AIA-1-1高CO濃度警報

於 R-3 出 口 廢 氣 CO 高 濃 度時,考慮將AIA-1-1訊 號聯鎖切斷設備進氣並供 應氮氣稀釋。

4.2 於 較 高 設 定 點作動

R-3氧化反應劇烈,造成設備

/管線受損,嚴重時廢氣外 洩,有潛在火災爆炸之危害

TIA-2/TIA-3 高 溫 警 報 可 聯鎖切斷設備進氣及電源 供應。

(27)

失誤樹分析

J

針對已辨識出的單一事件,使用邏輯分析的方式找出造成 此事件發生的基本事件(Basic E ents)組合

此事件發生的基本事件(Basic Events)組合

J

由上而下式的方式,回溯(Backward)發展模示,演繹 (Deductively)或推論後果(Effect)至其原因(Causes)

J

基本事件可考慮等同於“危害與可操作性分析(HazOP)”所辨 識之原因

J

失誤樹所分析之單一事件,通常稱為頂端事件(Top Event),

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J

失誤樹所分析之單一事件,通常稱為頂端事件(Top Event),

可考慮等同於“危害與可操作性分析(HazOP)”所評估之後果

J

失誤樹依據邏輯分析的方式,會建構出具有結構特性 (Structured)之邏輯圖

失誤樹分析評估前準備

J

充分的瞭解製程/系統的設計與如何操作

J

充分的瞭解製程/系統所包含設備/元件之失誤模式 (Failure Modes),若發生失誤模式對製程/系統的影

J

若製程/系統較複雜,建議可先經由FMEA或HazOP等 安全評估技術加以分析瞭解

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(28)

失誤樹分析轉頁號使用範例

Top Event AND

中間事件1

中間事件2

AND

中間事件3 基本事件1 基本事件3

Condition(4) AND

1

Transfer Out Inhibit Gate

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基本事件2 中間事件2

2

OR 3

1

1

Transfer IN

Undeveloped Event

失誤樹分析範例

反 應 器 爆 炸

3 . 6 × 1 0- 4F / Y R

失 控 反 應 破 裂 盤 故 障

流 量 控 制 迴 路 故 障 溫 度 聯 鎖 故 障

1 . 8 × 1 0- 2F / Y R

0 3 / 0 0 6

0 . 0 2 P r o b a b i l i t y o f f a i l u r e o n d e m a n d

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流 量 控 制 器 故 障 控 制 閥 阻 塞 全 開 熱 電 偶 及 繼 電 器 故 障

緊 急 關 斷 閥 無 法 關 閉 0 . 2 F / Y R 0 . 1 F / Y R 0 . 0 5

P r o b a b i l i t y o f f a i l u r e o n d e m a n d

0 . 0 1 P r o b a b i l i t y o f f a i l u r e o n d e m a n d

0 . 3 F / Y R 0 . 0 6

(29)

三、製程安全評估方法 共通性介紹

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可能危害後果之判斷

後果是自起始原因/事件發生時,在無防護設施或現有防護設 施失效情況下,可能造成合理且最壞的結果 合理且最壞的結果。

起始 起始 原因 原因/ /事件 事件

控制措施 控制措施

失效 失效

可能造成 合理且 最壞的結果

例如

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例如:

¾ 因冷卻水供應失效,反應器溫度上升而引起反應失控,導致反

應器破損。(考量高溫/高壓警報連鎖系統及安全閥等失效情況

下的後果)

(30)

多層放護功能設計 多層放護功能設計

Physical Protection (Relief) Plant Emergency Response

Process Design Basic Controls, Alarms, Critical Alarms, Operator Supervision,

and Manual Intervention

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Basic Controls, Alarms, Operator Supervision Safety Instrumented System

Physical Protection (Dikes) Community Emergency

Response

現有防護措施

係指目前為預防或降低危害發生之可能性,或減輕其後果 嚴重度所設置或採取的相關設備及措施,包含:

嚴重度所設置或採取的相關設備及措施,包含:

¾ 工程控制:係指可避免或降低危害發生可能性或後果 嚴重度之裝置或設備

¾ 管理控制:係指可降低危害發生可能性或後果嚴重度 之管理措施

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¾ 個人防護具:係指可避免人員與危害源接觸,或減輕

人員接觸後之後果嚴重度的個人用防護器具

(31)

現有防護措施-工程控制 (續一)

¾ 火災:防爆電氣設備、火災偵測器、消防設施、高溫自動灑水 系統、靜電消除設備(如靜電夾、靜電刷、靜電銅絲、靜電布

、增加作業環境濕度等)、冷凍/冷藏儲存等。 增加作業環境濕度等) 冷凍/冷藏儲存等

¾ 爆炸:防爆電氣設備、火災偵測器、消防設施、高溫自動灑水 系統、防爆牆、靜電消除設備(如靜電夾、靜電刷、靜電銅絲

、靜電布、增加作業環境濕度等)、冷凍/冷藏儲存等。

¾ 物體破裂:本安設計(設計壓力高於異常時之最高壓力)、溫 度/壓力計、高溫/高壓警報、高溫/高壓連鎖停機系統、釋壓裝

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置(含安全閥、破裂盤、壓力調節裝置等)、破真空裝置等。

¾ 化學品洩漏:雙套管、洩漏偵測器、防液堤、承液盤、緊急遮 斷閥、灑水系統、沖淋設施、通風排氣裝置等。

61

現有防護措施-工程控制 (續二)

¾ 墜落/滾落:護欄/護圍、安全網、安全母索、安全上下設備、

高空作業車、移動式施工架等。

¾ 衝撞:護欄/護圍、接觸預防裝置(包含警報、接觸停止裝置

¾ 衝撞 護欄/護圍 接觸預防裝置(包含警報 接觸停止裝置

)等。

¾ 物體飛落:護欄/護圍/護網、防滑舌片、過捲揚預防裝置等。

¾ 被夾、被捲:護欄/護圍、制動裝置、雙手操作式安全裝置、

光感式安全裝置、動力遮斷裝置、接觸預防裝置等。

¾ 與有害物等之接觸:雙套管、洩漏偵測器、防液堤、承液盤、

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沖淋設施、通風排氣裝置等。

¾ 感電:防止電擊裝置、漏電斷路器、接地設施等。

(32)

現有防護措施-管理控制 (續三)

¾ 教育訓練

¾ 各類合格證

¾ 健康檢查

¾ 緊急應變計畫或程序

¾ 工作許可

¾ 上鎖/掛牌

¾ 各種標準作業程序(SOP)或工作指導書(WI)

(須標註其名稱或編號)

¾ 日常巡檢、定期檢查

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日常巡檢 定期檢查

¾ 承攬管理

¾ 採購管理

¾ 變更管理

¾ 人員全程監視

¾ ‥ ‥

63

現有防護措施-個人防護具 (續四)

¾呼吸方面:如簡易型口罩、防塵口罩、濾毒罐呼 吸防護具、濾毒罐輸氣管面罩、自給式空氣呼吸 吸防護具 濾毒罐輸氣管面罩 自給式空氣呼吸 器(SCBA)等。

¾防護衣:一般分為A/B/C/D級,依所需防護等級 予以選用。

¾防護手套:防火手套、防凍手套、耐酸鹼手套、

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絕緣手套等。

¾其他:安全面罩、安全眼鏡、護目鏡、安全鞋、

安全帶、安全帽等

(33)

風 險 評 估

風險為後果發生之可能性( Likelihood )與嚴重度 ( Severity )的組合,可以用一個二元函數描述:

風 險 險 = 嚴重度 × 可能性 可能性 R

R S S L

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風險的大小或高低與風險事件發生的可能性成正比,

也與風險事件對的影響嚴重度成正比。

65

3.2.1 嚴重度之分級基準參考例

等級 人員傷亡 危害影響範圍

S1 重大

造成一人以上死亡、三 人以上受傷或無法復原

大量危害物質洩漏;

危害影響範圍擴及廠外,對環境 之職業病的災害 及公眾健康有立即及持續衝擊

S2 高度

造成永久失能、或可復 原之職業病的災害

中量危害物質洩漏;

危害影響範圍擴及廠內,對環境 及公眾健康有暫時性衝擊 S3 中度 須外送就醫,且造成工

時損失之災害

少量危害物質洩漏;

危害影響限於工廠局部區域

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S4 輕度

輕度傷害:

僅須急救處理,或外送 就醫,但未造成工時損 失之災害

微量危害物質洩漏;

危害影響限於局部設備附近,或 無明顯危害

備註:上述分級基準可須依實際需求予以調整。

(34)

3.2.2可能性之分級基準參考例

等級 預期危害發生之可能性 保護設施之完整性及有效性

P1 極可能

每年1次(含)以上;

在製程、活動或服務之生命週

未設置必要的防護設施,或 所設置之防護設施並無法發 期內可能會發生5次以上 揮其功能 揮其功能

P2 較有可能

每1-10年1次;

在製程、活動或服務之生命週 期內可能會發生2至5次以上

僅設置部分必要的防護設施,

或對已設置之防護設施,未 定期維護保養或監督查核

P3 有可能

每10-100年1次;

在製程、活動或服務之生命週 期內可能會發生1次

已設置必要的防護設施,且 有定期維護保養或監督查核 使其維持在可用狀態

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期內可能會發生1次 使其維持在可用狀態

P4 不太可能

低於100年1次;

在製程、活動或服務之生命週 期內不太會發生

除已設置必要的防護設施外,

另增設其他防護設施,且有 定期維護保養或監督查核,

以維持其應有的功能

備註:1. 上述分級基準可擇一使用,並依實際需求予以調整。

2. 上述所稱必要的防護設施,係指勞工安全衛生法規規定必須設置或採取的安全防 護設備或措施。

在任何情況下,此風險 皆無存在的理由,必須 採取防止或降低風險值 的改善措施

不可容忍區域 (Unacceptable region)

風險強度 (Risk Magnitude)

10

-3~-4

/yr

風險基準之ALARP

僅當技術不可行(不切 實際)或降低風險花費 極高但降低風險程度 低到不成比例時,可 容忍此風險但需嚴格 監控此區域的風險 低至合理行的區域

(As Low As Reasonably Practicable Region)

10

-6

/yr 10 /yr

風險基準上限

風險基準下限

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明確可接受區域 (Broadly Acceptable Region)

必須持續維持此運作以 確保風險值保持在此區 域內

(35)

常用風險等級之分級基準

可能性等級

P1 P2 P3 P4

嚴重度 等級

S1 1 2 2 3

S2 2 2 3 3

S3 2 3 3 4

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S4 3 3 4 5

ALARP

改善建議

改善建議--降低風險之控制措施 降低風險之控制措施

在決定控制設施時,須依下列順序考量風險降低設施:

(1)消除-例如採用本質安全防爆型電氣設備,以防止電氣火花引起火 災爆炸等。

(2)取代-例如採用低毒性之化學物質或低噪音之機械,以降低危害性 化學物質及機械可能引起的危害等。

(3)工程控制-例如裝設高壓連鎖停機系統或安全閥以防止容器或儲槽 之高壓危害;增設氣體洩漏偵測器,以及時發現危害情 況,並採取相關因應對策等

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(4)管理控制-制定動火工作許可以防止發生火災爆炸;制定緊急應變 計畫,以降低緊急狀況下所導致的後果等。

(5)個人防護具-例如配戴安全帽可防止頭部受傷;呼吸防護具可防止

吸入化學物質蒸氣或粉塵之危害等。

(36)

易燃氣體 洩漏現場

嚴重危害後果於緊急應變應用

第二階段ERC

第三階段ERC

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東北風緊急逃生路線 西南風緊急逃生路線

東北風避難及 疏散集合地點 西南風避難及

疏散集合地點

四、製程安全評估報告書

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(37)

申請審查及檢查時應檢附之資料

¾申請書(橫式)/聲明書/工廠登記證、營利 事業登記證

事業登記證

¾第一章 安全衛生管理基本資料

¾第二章製程安全評估報告書

¾第三章製程修改安全計畫

¾第四章緊急應變計畫

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¾第四章緊急應變計畫

¾第五章稽核管理計畫

製程安全評估報告書(1/4)

(一)製程說明:

1.工作場所流程圖

(1)製程方塊圖或PFD圖說明(列出各製程單元名稱並說明其功能) (2)製程P&ID圖說明(註明壓力、溫度、流量、內容物、狀態、內容

( )(

積等重要操作參數、控 制設備及安全或連鎖裝置等) 2.製程設計規範

(1)製程設計選用之依據、製程設備、結構、安全防護設施所參考之 國內外規範說明

(2)危險性設備本體構造及竣工檢查之合格證明文件及清單

(3)高壓氣體設備應檢附常用壓力1.5倍耐壓試驗或常用壓力之氣密試 驗相關證明文件

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驗相關證明文件

(4)處理能力計算等相關資料說明(丙類)

(5)劃分電氣防爆區域等級、範圍,並檢附危險場所範圍區分圖(可能 存有可燃性氣體或蒸氣之場所)

(6)製程有化學反應者,應說明其反應方程式,如屬放熱反應者應檢

附其質能平衡資料

(38)

製程安全評估報告書(2/4)

3.機械設備規格明細

(含製程相關機械設備編號、名稱、容積、設計溫度、設計壓力、

內容物、相變化等) 內容物 相變化等) 4.製程操作手冊

(說明各設備操作手冊名稱及相關標準作業程序並檢附目錄或清 單)

5.維修保養制度

(1)機械設備維護保養計畫及手冊清單

(2)維持系統安全運轉及重要設備之分級保養制度,並包含進行

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(2)維持系統安全運轉及重要設備之分級保養制度,並包含進行 大修、開槽等作業之安全管理機制說明(含負責單位、人員、稽 核及檢查方法、頻率、使用之表單等)

SiH4 Room

防爆區域劃分

Zone0

Zone1

Zone2

Zone 0:鋼瓶內和輸送管路內 Zone 1:氣瓶櫃排氣管路內、Burn

box排放出口周圍3m半徑區

依據CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用 電機設備第 部

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box排放出口周圍3m半徑區

Zone 2:除Zone 1 外,所有SiH4 room的區域,Burn box外 體及其管路周圍1.5m半徑區 域(ANSI/CGA G13建議)

電機設備第10 部:

危險區域劃分

參考文獻

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