第二章 超音波系統與有限元素分析簡介
2.3 振動分析原理簡介
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在等向性固體材料裡,傳遞的波速可由以下兩近似理論得到 [13,19]:
(1)自由音場內的縱波:
) 2 1 )(
1 (
) 1 (
E
c
(式 2-7)(2)在細於波長之柱狀體內傳播的縱波:
c E
(式 2-8)
其中c 為音速、E 為楊氏係數、ρ 為密度、ν 為蒲松比。
一旦求出固體內音速,再代入波長(λ)與波速關係式:
f
c
(式 2-9)使用縱向波模態的超音波振幅放大器,其長度必須為音波在固體 內傳遞縱波波長的一半,或半波長之整數倍。由式 2-9 即可求得給定 頻率(f)及材料下的超音波縱波波長,進而計算出振幅放大器的理論長 度,但隨著放大器溫度分佈的改變,上述參數也會有所變化,使用理 論來求得放大器長度也變得較困難。因此,本研究將結合實驗量測與 有限元素分析,來探討溫度與共振頻率之間的關係。
2.3 振動分析原理簡介
大部分的結構系統都不希望有振動發生,振動會造成結構疲勞而 破壞,故其共振頻率與模態皆為機械結構設計必須了解的特性之一,
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進而避免外力頻率和結構共振頻率相同,以防止共振現象。但本研究 將超音波振動應用於製程中,故系統的共振頻率需符合電子訊號產生 器之頻率,以達到共振現象。
2.3.1 模態分析原理簡介
模態分析(Modal Analysis)屬於結構動力學的一種,可以分析一個 結構在無負載狀態下之振動情形,也可以對有預應力的結構進行分析,
分析結果可得知其共振頻率、振動形態、相對位移分佈等資訊。當自 由振動下,且系統無阻尼時,其最基本的運動方程式如下[20,21]:
0 ) ( ) ( )
( t kx t F t
m x
(式 2-10)其中m 為質量、x 為位移、k 為彈性係數。
令共振頻率為:
m
k
(式 2-11)則上述ODE 解為:
t c
t c t
x( ) 1sin
2cos
(式 2-12)模態分析屬於線性分析,主要探討結構的自然頻率與振動模態,
不論是否有阻尼,最後皆會化成
A
u u 之標準特徵值與特徵向量 問題。有限元素分析軟體ANSYS 會針對不同系統與解題需求,有各 種不同的數值分析方法[22],一般的分析方法是使用 Block lanczos
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method,此方法可用於結構系統具有阻尼現象,但計算效率比阻尼法 (Damped method)快,可在模態座標系統中求共振頻率。除此之外還 有非對稱法(Unsymmetrical method)、降階法(Reduced householder method)、次空間法(Subspace method)等、指數動力法(Power dynamics method)。
2.3.2 頻率響應分析原理簡介
頻率響應(Harmonic response)是對結構施加正弦波的負載,分析 計算出在不同的頻率下此結構的穩態響應,進而得知響應值與頻率之 間的關係,由此關係曲線可找到峰值響應,並可進一步觀察此頻率對 應的位移、應力等。當系統有阻尼、且外力為一弦波外力時,其運動 方程式為[20,21]:
t F
t kx t x c t x
m
( )
( ) ( )
0cos
(式 2-13)其中m 為質量、x 為位移、k 為彈性係數、c 為阻尼常數。
考慮其穩態反應,其解為:
t B t A t
x
p( ) cos
sin
(式 2-14) 其共振頻率m
k
0
(式 2-15)
) cos(
)
( t X
t
x
p (式 2-16)式2-16 中,X 為振幅、ψ為相位角,可求得:
M X
<0.05)時
Q
Amplitude 位移位置與
力與反應相
,共振發生
Q
子(Quality 如圖 2-11
阻尼比。其
e ratio),δ 與外力之
相位示意圖 生於靠近
y factor),
1,圖形如 2-10
22)
振幅 尼大
則會影響鐘
為頻寬(Ban 力點(Half p
,式2-25 之
22 n 4
與頻寬[20]
ndwidth),
power poi
之2為頻
2
n
其振幅比 ints),此時
(式