晶圓製造階段規劃過程與結果

晶圓製造階段規劃流程有以下六個部分：產能需求估算、粗略產能分 析、多廠間產能分配模式、生產週期時間檢測、工單可交貨時程表排定，

以下將一一說明。

4.2.1.1.1.1 晶圓製造階段產能需求估算

根據上層規劃結果，本規劃週期內晶圓製造階段需生產的工單如表4 - 12 所示。

表4 - 12 晶圓製造階段工單需求

產品 A1N A2H A2R A3R A3N

工單數 35 6 2 10 32

批數 210 6 12 60 192

產品 B1H B1R B2R B2N C2R

工單數 6 2 10 87 2

批數 6 12 60 522 12

產品 C2N C3N D1R D1N E3N

工單數 21 22 6 54 20

批數 126 132 36 324 120

4.2.1.1.1.2 晶圓製造階段粗略產能分析

表4 - 14 晶圓製造階段各機群各工單之最大可生產數

4.2.1.1.1.3 晶圓製造階段多廠間產能分配模式

步驟三： 算出前一步驟找到工作站之可用產能。本文在此假定晶圓製

表4 - 16 晶圓製造階段第二個月多廠間產能分配模式之結果（續）

機群 工單 數量

廠一機群3 A3N 6

廠一機群3 C3N 14

廠一機群3 E3N 2

廠二機群1 A2H 5

廠二機群1 B2R 2

廠二機群1 B2N 36

廠二機群2 A3R 7

廠二機群2 A3N 26

廠二機群2 C3N 8

廠二機群2 E3N 18

廠三機群1 B1H 3

廠三機群1 D1N 54

廠三機群2 A2H 1

廠三機群2 A2R 2

廠三機群2 B2R 8

廠三機群2 B2N 15

廠三機群2 C2R 1

廠三機群2 C2N 21

4.2.1.1.1.4 晶圓製造階段生產週期時間檢測

將 晶 圓 製 造 階 段 多 廠 間 產 能 分 配 模 式 之 結 果 ， 代 入 陳 氏[43] 之 BBCT-MP 估算式，求得各廠各類型工單之生產週期時間估算結果，結果 如表4 - 17 所示。

表4 - 17 晶圓製造階段第二個月各廠各類型工單生產週期時間估算結果 機群 工單 純製程時間

(分)

生產週期時間

(分) X-Factor 廠一機群1 A1N 11075 16079 1.451828442 廠一機群1 B1H 11942 13952 1.168313515 廠一機群1 B1R 11942 16210 1.357394071 廠一機群1 D1R 12532 18117 1.445659113 廠一機群2 B2N 11986 17403 1.451943935

表4 - 17 晶圓製造階段第二個月各廠各類型工單生產週期時間估算結果

（續）

機群 工單 純製程時間 (分)

生產週期時間

(分) X-Factor 廠一機群2 C2R 11140 15950 1.431777379 廠一機群3 A3R 11135 15391 1.382218231 廠一機群3 A3N 11135 16355 1.468792097 廠一機群3 C3N 11159 16848 1.509812707 廠一機群3 E3N 12632 18928 1.498416719 廠二機群1 A2H 11087 12692 1.144764138 廠二機群1 B2R 11954 16237 1.358290112 廠二機群1 B2N 11954 17108 1.431152752 廠二機群2 A3R 11185 15075 1.347787215 廠二機群2 A3N 11185 15782 1.410996871 廠二機群2 C3N 11205 16346 1.45881303 廠二機群2 E3N 12678 18304 1.443760846 廠三機群1 B1H 11948 13175 1.102695012 廠三機群1 D1N 12544 18850 1.502710459 廠三機群2 A2H 11129 12254 1.10108725 廠三機群2 A2R 11129 15392 1.383053284 廠三機群2 B2R 12002 16486 1.373604399 廠三機群2 B2N 12002 17241 1.436510582 廠三機群2 C2R 11153 16250 1.457007083 廠三機群2 C2N 11153 16738 1.500762127

因為晶圓製造階段已是半導體製造供應鏈的最上游，所以不存在著和 上游配合的問題，故本次規劃將略過工單承接機制部分，直接進行工單可 交貨時程表排定。

4.2.1.1.1.5 晶圓製造階段工單可交貨時程表

工單可交貨時程表主要是提供各產品各世代各等級工單的可交貨時 程資訊，提供後續製程階段作為需求分析、產能分配、工單承接的依據。

工單可交貨時點的推估為投料時點加上寬放後之生產週期時間。各類型工

單之生產週期時間已由生產週期時間檢測步驟算出，而在此則需要求算出

計算 hot 與 rush 等級工單投料時點 以 hot 等級工單為例

步驟一： 求算該時段所有等級 pri（=hot 或 rush）的工單數量，並將 規劃週期時間長度除以該等級工單總數，求得所有等級 pri 工單在本製程階段的平均投料間隔時間。以 hot 工單為例，

本週期之 hot 工單總共有 A2H 和 B1H 各 6 張。

∑∑

= ^I

i G

g pri t k

g i pri

t

k TT n

d ^,, _,^,, 式4 - 9

(

)

24

1 28

, ,

1^t = × × + =

d （分）

步驟二： 將所有等級 pri 工單先就產品別均勻分佈在規劃週期內，各 產品內再就世代別均勻分佈，求得各工單的排序後，排序第 SEQ 的工單，其投料時點即為規劃週期開始時點加上SEQ−1 個平均投料間隔時間。以 hot 工單為例。

(

) ( )

在知道各工單投料時點後，便可求算各工單的可交貨時點。其算法是

表4 - 18 晶圓製造階段第二個月廠一機群 2 之 B2N 工單可交貨時程表（續）

順序 投料時點 可交貨時點

10 35 00:00:00 48 21:33:00 11 35 18:40:00 49 16:13:00 12 36 13:20:00 50 10:53:00 13 37 08:00:00 51 05:33:00 14 38 02:40:00 52 00:13:00 15 38 21:20:00 52 18:53:00 16 39 16:00:00 53 13:33:00 17 40 10:40:00 54 08:13:00 18 41 05:20:00 55 02:53:00 19 42 00:00:00 55 21:33:00 20 42 18:40:00 56 16:13:00 21 43 13:20:00 57 10:53:00 22 44 08:00:00 58 05:33:00 23 45 02:40:00 59 00:13:00 24 45 21:20:00 59 18:53:00 25 46 16:00:00 60 13:33:00 26 47 10:40:00 61 08:13:00 27 48 05:20:00 62 02:53:00 28 49 00:00:00 62 21:33:00 29 49 18:40:00 63 16:13:00 30 50 13:20:00 64 10:53:00 31 51 08:00:00 65 05:33:00 32 52 02:40:00 66 00:13:00 33 52 21:20:00 66 18:53:00 34 53 16:00:00 67 13:33:00 35 54 10:40:00 68 08:13:00 36 55 05:20:00 69 02:53:00

表4 - 19 晶圓製造階段第二個月廠一機群 1 之 B1H 工單可交貨時程表 順序 投料時點 可交貨時點

1 30 08:00:00 40 23:47:00 2 39 16:00:00 50 07:47:00 3 49 00:00:00 59 15:47:00

步驟二： 將所有機群的同類型工單之可交貨時點彙整，即可得該類型 工單於此製程階段之可交貨時程總表。以B2N 為例，將 B2N 在廠一機群2、廠二機群 1 和廠三機群 2 的可交貨時點彙整，

即可得 B2N 工單在此階段的可交貨時程表。另外，由於晶 圓製造階段是半導體供應鏈第一個製程階段，工單將於此階 段以投料順序來其 授予一流水號以作為其於半導體供應鏈 流通之識別。以 B2N 工單為例，第一個投料之工單其流水 號即為B2N02001，其中 02 表示為第二個規劃幅度。如表 4 - 20 所示。

表4 - 20 晶圓製造階段第二個月 B2N 工單可交貨時程表 工單流水號 機群 投料時點 可交貨時點

B2N02001 廠二機群 1 28 00:00:00 41 15:54:00 B2N02002 廠三機群 2 28 00:00:00 41 18:27:00 B2N02003 廠一機群 2 28 00:00:00 41 21:33:00 B2N02004 廠二機群 1 28 18:40:00 42 10:34:00 B2N02005 廠一機群 2 28 18:40:00 42 16:13:00 B2N02006 廠二機群 1 29 13:20:00 43 05:14:00 B2N02007 廠一機群 2 29 13:20:00 43 10:53:00 B2N02008 廠三機群 2 29 20:48:00 43 15:15:00 B2N02009 廠二機群 1 30 08:00:00 43 23:54:00 B2N02010 廠一機群 2 30 08:00:00 44 05:33:00 B2N02011 廠二機群 1 31 02:40:00 44 18:34:00 B2N02012 廠一機群 2 31 02:40:00 45 00:13:00 B2N02013 廠三機群 2 31 17:36:00 45 12:03:00 B2N02014 廠二機群 1 31 21:20:00 45 13:14:00 B2N02015 廠一機群 2 31 21:20:00 45 18:53:00 B2N02016 廠二機群 1 32 16:00:00 46 07:54:00 B2N02017 廠一機群 2 32 16:00:00 46 13:33:00 B2N02018 廠二機群 1 33 10:40:00 47 02:34:00 B2N02019 廠一機群 2 33 10:40:00 47 08:13:00 B2N02020 廠三機群 2 33 14:24:00 47 08:51:00 B2N02021 廠二機群 1 34 05:20:00 47 21:14:00 B2N02022 廠一機群 2 34 05:20:00 48 02:53:00

表4 - 20 晶圓製造階段第二個月 B2N 工單可交貨時程表（續）

表4 - 20 晶圓製造階段第二個月 B2N 工單可交貨時程表（續）

工單流水號 機群 投料時點 可交貨時點 B2N02059 廠二機群 1 46 16:00:00 60 07:54:00 B2N02060 廠三機群 2 46 16:00:00 60 10:27:00 B2N02061 廠一機群 2 46 16:00:00 60 13:33:00 B2N02062 廠二機群 1 47 10:40:00 61 02:34:00 B2N02063 廠一機群 2 47 10:40:00 61 08:13:00 B2N02064 廠二機群 1 48 05:20:00 61 21:14:00 B2N02065 廠一機群 2 48 05:20:00 62 02:53:00 B2N02066 廠三機群 2 48 12:48:00 62 07:15:00 B2N02067 廠二機群 1 49 00:00:00 62 15:54:00 B2N02068 廠一機群 2 49 00:00:00 62 21:33:00 B2N02069 廠二機群 1 49 18:40:00 63 10:34:00 B2N02070 廠一機群 2 49 18:40:00 63 16:13:00 B2N02071 廠三機群 2 50 09:36:00 64 04:03:00 B2N02072 廠二機群 1 50 13:20:00 64 05:14:00 B2N02073 廠一機群 2 50 13:20:00 64 10:53:00 B2N02074 廠二機群 1 51 08:00:00 64 23:54:00 B2N02075 廠一機群 2 51 08:00:00 65 05:33:00 B2N02076 廠二機群 1 52 02:40:00 65 18:34:00 B2N02077 廠一機群 2 52 02:40:00 66 00:13:00 B2N02078 廠三機群 2 52 06:24:00 66 00:51:00 B2N02079 廠二機群 1 52 21:20:00 66 13:14:00 B2N02080 廠一機群 2 52 21:20:00 66 18:53:00 B2N02081 廠二機群 1 53 16:00:00 67 07:54:00 B2N02082 廠一機群 2 53 16:00:00 67 13:33:00 B2N02083 廠三機群 2 54 03:12:00 67 21:39:00 B2N02084 廠二機群 1 54 10:40:00 68 02:34:00 B2N02085 廠一機群 2 54 10:40:00 68 08:13:00 B2N02086 廠二機群 1 55 05:20:00 68 21:14:00 B2N02087 廠一機群 2 55 05:20:00 69 02:53:00

本規劃週期其餘工單之工單可交貨時程表請見附錄A.1。