一、 國外相關廢水管制標準
針對美國環保署、美國各州、日本、韓國和中國大陸等國家 對上述兩個主要高科技產業廢水管制方式與標準亦進行探討與分 析如下：
(一) 美國
美國半導體製造產業廢水之排放標準依據 40 CFR 469 (Electrical and Electronic Components)，規範 pH、TTO（Total Toxic Organics）和氟三項水質項目，其單日最大之管制標準 (Maximum for any 1 day) 分 別 為 6.0~9.0 、 1.37 mg/L 和 32.0mg/L；30 日之平均管制標準(Average of Daily Values for 30 Consecutive Days)則僅針對 pH 和氟兩水質項目，管制標準 分別為6.0~9.0 和 17.4 mg/L，TTO 部份則未加規範。
(二) 日本
日本的廢(污)水排放標準管制，係依「水質污濁防治法」
第三條之法令授權，水質污濁防止法於平成13 年 6 月開始進 行管制硼、氟、總氮和亞硝酸鹽氮等，然因部分事業不易達 成一律排水基準，故而有水質污濁防止法暫定標準，放寬相 關管制標準，但於 2007 年 6 月 30 日後，硼及其化合物、氟 及其化合物、氨、胺化物、亞硝酸鹽氮、硝酸鹽氮等排放標 準，回歸至一律排水標準。一律排水基準中除了管制總氮和 總磷外，尚管制多氯聯苯、氯乙烯、四氯乙烯、二氯甲烷、
四氯化碳、1,2-二氯乙烷、1,1-二氯乙烯、硒及其化合物、氟 化物、硼及其化合物等有害物質。
環境省於昭和53 年修訂水質污濁防治法，針對封閉性水 域實施總量管制規定，針對 COD、N 和 P 等項目(稱作指定 項目)之管制値來指定難以達成水質環境基準的水域(稱作指 定水域)及與該水域水質有關之地區(稱作指定地區)，制定相 關基本方針來削減指定項目之污染負荷總量；都道府縣政府 需遵照此方針，以削減指定地區的污染負荷量為執行目標，
目前以東京灣、伊勢灣及瀨戶內海(大阪灣)為指定水域。平成 21 年(2009 年)為第 6 次總量管制規定的目標年，以 COD、N、
P 等為指定項目，推進全面性污染負荷管制對策。日本環境 省針對 COD、氮和磷部分，特別採取總量管制，且於各縣府，
可因應轄區內之水質性質，對 COD、氮、磷訂定較嚴之標準。
(三) 韓國
韓國目前針對半導體和光電產業並無特別訂定廢水管制 標準，相關排放標準係依據其水質保育法，該法主要目的是 為了要使得全國人民有健康以及舒適的生活環境，保護潛在 危害、公共健康以及環境免於受到水污染的傷害。水質保育 法第二章為廢水排放標準之相關規定，包括第 8 條之可允許 污染物排放標準。以下茲針對韓國現行廢水排放標準加以說 明：
依據韓國環保部資料顯示，韓國廢水排放標準依時程訂 定不同標準，此外針對不同區域與廢水量大小亦訂定不同管 制標準(BOD、COD 和 SS)，其中以特殊區域管制最嚴格，特 殊區域係指為環保部認定之工業廢水處理區域。除了傳統項 目外，尚管制砷、鉻、鎘等重金屬，以及酚、多氯聯苯、三
氯乙烯和四氯乙烯等有機物，於 2008 年，除砷和鉛兩項管制 濃度加嚴，更增列苯與二氯甲烷兩管制項目。
(四) 新加坡
新加坡於1999 年 4 月 1 日正式開始執行環境污染控制法 案(EPCA)，其中於水污染控制方面，目前新加坡全部工業和 絕大部分住宅區的廢水均納入其公共污水下水道系統，工業 廢水需經過前處理至特定標準才可排放至下水道或河道中 (無公共污水下水道之地區)，該標準係用於保護下水道系統、
污水處理廠和水體生態環境。事業廢水需先申請放流水排放 許可，依據其BOD 和 SS 含量超過容許限值之程度，繳納公 共污水下水道處理費。
(五) 新加坡
新加坡公共污水下水道納管標準和放流水標準，工業廢 水納入公共污水下水道之SS、BOD 和 COD 容許限值分別為 400、400 和 600mg/L；若自行處理排入地面水體者，區分為 一般水體和控制水體兩部份，一般水體SS、BOD 和 COD 容 許限值分別為 50、50 和 100mg/L，控制水體 SS、BOD 和 COD 容許限值分別為 30、20 和 60mg/L；公共污水下水道納管標 準尚包含氯離子、硫酸鹽、TDS、色度、硫化物、氰化物、
界面活性劑和油脂等水質管制；至於直接排入承受水體部 分，針對硝酸鹽和正磷酸鹽有不同管制限值。此外，針對砷、
鋇、錫、鐵、鈹、硼、錳、鎘、總鉻、銅、鉛、汞、鎳、硒、
銀、鋅、鈣、鎂等重金屬有不同之納管或放流水標準，並針 對鎘、總鉻、銅、鉛、汞、鎳、硒、銀與鋅等重金屬濃度總 和規範「總重金屬」濃度限值 (環保署，2007。)。
(六) 中國大陸
中國大陸在執行污水排放時，以行業別為優先標準，當 行業別未獨立規範時，方適用污水綜合排放標準。目前中國 大陸地區已具備國家行業排放標準包括：造紙工業、船舶工 業、海洋石油開發工業、紡織染整工業、肉類加工工業、合 成氨工業、鋼鐵工業、航太推進劑使用、兵器工業、磷肥工 業、燒鹼/聚氯乙烯工業等。
目前中國大陸半導體和光電產業廢水仍依據「污水綜合 排放標準」管理，該標準依其排入水體之不同，區分為三級 標準。
此標準將排放之污染物依其性質和控制方式分為第一類 和第二類兩種污染物，其中第一類污染物不分行業和污水排 放方式，也不受承受水體的功能類別限制，不管建設時間先 後，均須遵守一定管制標準；第二類管制之污染物種類與標 準，則依據建設時間不同，有不同管制標準項目與濃度，1998 年 1 月 1 日後建設之相關單位，有機物管制項目較先前多，
計有三氯甲烷、四氯化碳、三氯乙烯、四氯乙烯、苯和甲苯 等。
(七) 歐洲國家(以德國為例)
歐盟執委會對晶圓及半導體等產業之廢水管理管理措施 政策，係由各會員國自主辦理，歐盟執委會不特別另訂規範 管理。
以德國為例，依聯邦環境、自然保育和核能安全署之廢 水排入水體相關法令條例，相關規定中針對不同行業廢水有 不同管制項目與限值，其中針對「半導體元件製造」有特別
訂定規範，該項係含括半導體元件和太陽能電池前處理、中
資料來源：德國聯邦環境、自然保育和核能安全署(Federal Ministry for the Environment, Nature Conservation and Nuclear Safety)網站，
http://www.bmu.de/english/aktuell/4152.php。
二、 國內相關廢水管制標準
目前我國半導體產業廠商之分布狀況而言，大部分廠商集中 於科學工業園區，依「科學工業園區污水處理及污水下水道使用 管理辦法」第五條規定：「園區內公民營事業及機關學校之廢(污) 水符合下水道可容納排入之水質標準(以下簡稱容許標準)者，始得 排入污水下水道；未符合容許標準者，應設置預先處理設施，處 理至符合容許標準後，始得排入污水下水道，前項容許標準由管 理局擬訂，報請縣(市)主管機關核定後公告之」；亦即園區內事業 單位應先自行將廠區內所產生之廢水處理至符合園區下水道可容 納排入之水質標準後，才能將廢水排入園區之污水下水道。而且 現階段國內三大科學園區皆已設有污水處理廠，因此對於放流水 之水質控制部份也較可為大眾所接受，水質之排放亦皆委託特定 之代操作廠商定期進行查核與檢驗，對環境之污染衝擊自然較傳 統產業或中小型工業低。目前國內新竹科學工業園區、中部科學 工業園區、南部科學工業園區三大科學工業園區的下水道容許排 放最大值(納管標準)及水污染防治法所公告的放流水標準比較詳 列於表 2.3-3。
三大園區納管水質項目之標準差異不大，較特別的為南部科 學工業園區將水質化學需氧量、生化需氧量、懸浮固體物濃度訂 定較嚴格的標準為450 mg/L、250 mg/L、250 mg/L，相較於竹科 及中科都加嚴了 50 mg/L 的濃度範圍。南科並將光電廠廢水中常 出現的氫氧化四甲基銨(TMAH，顯影劑)訂出納管水質標準 60 mg/L，限制此項目亦可同時控制水質氨氮濃度。竹科未限制水質 透視度及真色色度，中科及南科則是訂定了相同的納管標準分別
為15 公分及 550 mg/L；在農藥等有機化合物項目中，竹科多以未 定標準，或不得檢出作為規範，而中科及南科則多以字面上較為 嚴苛的「完全禁止」訂定標準。整體而言，由於竹科設立較早，
廠商入駐時間較早期，因此在低濃度的毒化物部分及水質外觀的 納管水質標準較中科南科為寬鬆，而中科設立在南科之後，納管 水質標準多以南科為參考目標，但設計了處理能力足夠的污水處 理廠，在COD、BOD、SS 三項放流水質一般最常關注的項目中，
廠商端納管標準則遵循竹科的標準。在 TMAH 的納管標準訂定 中，南科對於園區中光電廠所排放的較大量顯影劑及相對產生的 高濃度氨氮有了較先覺的預防措施，訂定了納管標準。中科與南 科都有相似的進流水質狀態，即都以光電廠排放水為最大宗，但 目前尚未針對TMAH 定出管制標準。
而各科學園區由於污水處理廠處理功能的規劃設計，除 SS、
COD、BOD 等項目具有處理效能之外，其餘重金屬等物質並不具 加強處理的效能，因此針對重金屬及特殊物質部份，目前三大科 學園區的納管水質項目皆大致與放流水標準相同，主要仍依賴廠 商端的前處理。
表 2.3-3 國內三大科學園區納管水質標準及放流水標準列表
水質項目 下水道可容許排入最大限值
表 2.3-4 國內外高科技產業廢水管制標準比較 Part469 半導體及