高科技產業廢水污染防治技術

高科技產業製程會產生大量的廢水，必須小心地處理，以免 危害環境。一般而言，廢水的來源可以分成製程廢水、超純水的

製造排水與排氣洗淨水等三大類。如果依性質分類可以分成酸鹼 廢水、含氟廢水、氰化物廢水、研磨廢水與重金屬廢水等五大類。

(1) 酸鹼廢水

酸鹼性廢水的污染物較為單純，處理方式可以先經調勻槽將 水量與水質加以調勻之後，再送至中和池加藥調節 pH 值於 中性即可以放流。

(2) 含氟廢水

有關含氟廢水的處理上，目前常使用處理的方法可分為化學 沉澱法、化學沉澱混凝法與離子交換法。

1.化學沉澱法：化學沉澱法為利用化學藥劑與溶解的離子發 生化學反應產生不溶解性沉澱物，含氟廢水的處理即利用鈣 離子與氟離子發生反應結合成氟化鈣粒子沉澱去除之。

2.化學沉澱混凝法：此方法與化學混凝方法的不同之處，為 於化學沉澱過程中同時加入混凝劑，以凝聚氟化鈣晶體成為 較大膠羽而加速沉澱，所形成的膠羽也能吸附其他的污染物。

3.離子交換法：在一固體(樹脂)與液體(水溶液)之間進行可逆 的相互交換反應，即不溶性的固體樹脂顆粒可從電解質水溶 液中將正電荷或負電荷的離子吸收，同時將其他等當量的相 同電荷離子釋入水溶液中，以達到離子與水溶液分離的目的。

2. 氰化物廢水

氰化物廢水的處理方法，大部份均以氧化處理為主。大概可 以分為五種氧化處理方法，氯氧化法、次氯酸根氧化法、臭氧氧 化法、電解氧化法與濕式氧化法。

(1) 氯氧化法：

就是使用氯來氧化含氰化物的廢水，於鹼性的條件下加 氯能將氰化物轉換成毒性較低的氰酸鹽，再度加氯氧 化，就能轉變為無毒的CO2及 N2氣體的最終產物。

(2) 次氯酸根氧化法：

就是使用次氯酸氧化氰化物，分成兩階段進行，最初反 應氰化物先生成氯化氫及氰酸鹽，而最終則生成無毒的 CO₂及N₂氣體。

(3) 臭氧氧化法：

臭氧的氧化力極強，而且由其還原性生成物是氧分子這 方面看來，臭氧實在是很良好的氧化劑選擇。

(4) 電解氧化法：

此方法即利用電極氧化處理含氰化物的廢水。最大特點 為在使安定的氰化物錯離子完全的分解，其中包括一般 化學方法無法處理的鐵氰化物與亞鐵氰化物離子在內。

(5) 濕式氧化法：

此方法為將高濃度氰系廢液及空氣在高壓(70~150 大氣 壓)與高溫(200~340°C)的密閉反應器中通入蒸氣，使其 在液相內加速其反應的方式。

3. 研磨廢水

研磨廢水中最主要的污染物就是矽晶粉末，其他還有一 些金屬剝落物等等，去除的方法與重金屬廢水相同，為化學 混凝沉澱去除法。

4. 重金屬廢水

含重金屬的廢水多是採用重金屬混凝法，於廢水之中添 加 NaOH、Ca(OH)₂等鹼劑，利用酸鹼中和的原理，調整酸鹼 值使廢水之中的重金屬離子形成不溶性的氫氧化物後，再加 入助凝劑使形成粗大的膠羽，再以沉降分離的方式加以去 除。目前此法算是最為實用與普遍的處理方法。

光電業所使用及可能排放之主要化學物質種類繁多（詳如表 2.2-1 所 示 ） ， 其 中 去 光 阻 劑 之 主 成 份 DMSO （ dimethyl sulfuroxide）、MEA（methyl ethyl amide）和 NMP 是屬於硫類和 銨類之有機物，其沸點高，屬在高溫下較不穩定之有機溶劑，且 具有惡臭特性。

表 2.2-1 中部科學園區產業污染特性

SS、COD、pH、As、Ga。

光 電 產 (Ambient Air Level