氮化鋁鎵薄膜表面六角丘狀（Hexagonal Hillock）結構之研究

國立交通大學

電子物理研究所

碩士論文

氮化鋁鎵薄膜表面

六角丘狀

（Hexagonal Hillock）

結構之研究

Studies of hexagonal hillocks

on

AlxGa1-xN thin film

研究生：顏國錫

指導教授：李明知 教授

氮化鋁鎵薄膜表面六角丘狀

（Hexagonal Hillock）

結構之研究

Studies of hexagonal hillocks

on

AlxGa1-xN thin film

研 究 生：顏國錫

指導教授：李明知 教授 Advisor： Prof. Ming-Chih Lee

國立交通大學 電子物理研究所

碩士論文

A Thesis

Submitted to Institute of Electrophysics College of Science

National Chiao Tung University in Partial Fulfillment of the Requirements

for the Degree of Master of Physics in

Electrophysics June 2004

Hsinchu, Taiwan, Republic of China