國
立
交
通
大
學
工學院專班半導體材料與製程設備組
碩
士
論
文
結合鎳金屬吸附的製程技術搭配具有加厚之汲/
源極與薄通道低溫複晶矽薄膜電晶體之研究
Fabrication of MILC Bottom Gate TFT with
Ni-Gettering and Raised Source/Drain Structure
研 究 生：曾卿杰
指導教授：吳耀銓 博士
結合鎳金屬吸附的製程技術搭配具有加厚之汲/源極與薄通道低溫複 晶矽薄膜電晶體之研究
Fabrication of MILC Bottom Gate TFT with Ni-Gettering and Raised Source/Drain Structure 研 究 生：曾卿杰 Student：Ching-Chieh Tseng 指導教授：吳耀銓 Advisor：YewChung Sermon Wu Ph.D. 國 立 交 通 大 學 工學院專班半導體材料與製程設備組 碩 士 論 文 A Thesis
Master Degree Program of Construction Technology and Management College of Engineering
National Chiao Tung University in Partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of Master of Science
in
Program of Semiconductor Material and Processing Equipment
July 2008
Hsinchu, Taiwan, Republic of China
